本发明专利技术公开了一种柔性基板及其制作方法、显示装置，包括：在刚性基板上设置可拆卸层，将柔性衬底通过所述可拆卸层固定在刚性基板上，其中，所述可拆卸层包括网状层和设置在所述网状层的网孔中的多个相互独立的支撑部；在所述柔性衬底上形成功能层，以获得柔性基板；通过外力作用于所述网状层，使所述柔性基板与所述刚性基板分离。本发明专利技术使柔性基板制作完成后更容易剥离，提高了生产良率，并且，本发明专利技术具备普通产线的工艺兼容性，节约了成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性基板及其制作方法、以及包括该柔性基板的显示装置。
技术介绍
随着显示技术的日趋发达，显示产品日趋多样化和人性化。其中，柔性显示是一个重要的发展方向。目前已有的基于玻璃衬底的柔性基板加工方法是将柔性基板直接贴合在玻璃基板上，需要剥离时，通过紫外光分解方法或热软化方法使贴合胶变性，从而剥离。直接将柔性基板贴合在玻璃基板上的工艺具有较多的问题，如:紫外光分解方法会对液晶造成不可逆的损坏，不适用于液晶滴入(ODF)工艺，需要重新解决真空入液晶的问题；热软化方法需要考虑柔性基板的材料和工艺制程的温度，效果不理想。此外，直接将柔性基板贴合在玻璃基板上的工艺还具有黏附力不足、无法生产大型化基板、剥离过程容易使柔性基板破损等缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性基板及其制作方法、显示装置，以使柔性基板制作完成后更容易剥尚，提尚生广良率。为解决上述技术问题，作为本专利技术的第一个方面，提供一种柔性基板的制作方法，包括:S1、在刚性基板上设置可拆卸层，将柔性衬底通过所述可拆卸层固定在刚性基板上，其中，所述可拆卸层包括网状层和设置在所述网状层的网孔中的多个相互独立的支撑部；S2、在所述柔性衬底上形成功能层，以获得柔性基板；S3、通过外力作用于所述网状层，使所述柔性基板与所述刚性基板分离。优选地，所述步骤SI包括:S11、在刚性基板上形成具有网状层的第一光刻胶层；S12、对所述第一光刻胶层进行曝光、显影，形成多个支撑部，所述支撑部位于所述网状层的网孔中；S13、将所述柔性衬底与多个所述支撑部相粘结；所述步骤S3包括:S31、对所述刚性基板进行切割，以暴露所述网状层的边缘；S32、通过外力作用于所述网状层，以使得所述柔性基板与所述刚性基板分离。优选地，所述步骤Sll包括:在所述刚性基板上形成第一光刻胶层，并对所述第一光刻胶层进行预固化；将所述网状层压印在预固化后的第一光刻胶层中，并进行后烘，形成内部设置有网状层的第一光刻胶层。优选地，对所述第一光刻胶层进行预固化的温度为30_50°C，持续时间为10-15min，进行后烘的温度为80_90°C，持续时间不低于20min。优选地，所述步骤S13包括:在所述柔性衬底的朝向所述刚性基板的一侧形成第二光刻胶层，并对所述第二光刻胶层进行预固化；使所述柔性衬底上形成有所述第二光刻胶层的一侧与所述刚性基板上形成有所述支撑部的一侧相贴合，并进行后烘，使所述第二光刻胶层与多个所述支撑部相粘结。优选地，对所述第二光刻胶层进行预固化的温度为30_50°C，持续时间为10-15min，进行后烘的温度为80_90°C，持续时间不低于30min。优选地，所述步骤S32包括:对所述刚性基板加热，使所述柔性基板与所述支撑部相粘结部位的胶体软化，同时提拉所述网状层的边缘，以使得所述柔性基板与所述刚性基板分离。优选地，所述刚性基板由能够发生弹性形变的材料制成，所述步骤S32包括:在所述刚性基板背离所述柔性基板的一侧形成低温收缩材料层或高温收缩材料层；降低环境温度，使所述低温收缩材料层发生收缩形变，或者，升高环境温度，使所述高温收缩材料层发生收缩形变，同时拉伸所述网状层，其中，所述外力为所述低温收缩材料层或所述高温收缩材料层发生收缩形变时产生的力。优选地，所述刚性基板由热塑性材料制成，所述步骤S32包括:对所述刚性基板进行加热，使所述刚性基板发生弯曲形变，同时拉伸所述网状层，其中，所述外力为所述刚性基板发生弯曲形变时产生的力。优选地，所述网状层的厚度小于所述第一光刻胶层的厚度。优选地，所述刚性基板上待固定所述柔性衬底的一侧设置有第一对位标记，所述第一对位标记能够与所述柔性衬底上的第二对位标记相匹配，以使得所述柔性衬底与所述刚性基板准确对位。优选地，所述第一对位标记上方还设置有保护层，制作所述保护层的材料包括硅的氧化物和/或硅的氮化物。优选地，所述网状层的网孔密度小于180目。作为本专利技术的第二个方面，还提供了一种柔性基板，所述柔性基板采用上述制作方法制作形成。优选地，所述柔性基板为柔性触控基板，所述功能层包括触控感应电极。优选地，所述柔性基板为柔性阵列基板，所述功能层包括像素电路；或者所述柔性基板为柔性彩膜基板，所述功能层包括色阻阵列。作为本专利技术的第三个方面，还提供了一种显示装置，所述显示装置包括本专利技术所提供的上述柔性基板。本专利技术设计的网点连接结构降低了相邻两层之间的粘结力，外力作用于网状层时相当于作用于各个接触面积很小的支撑部上，从而降低了剥离难度，使柔性基板制作完成后更容易剥离。并且，本专利技术在剥离过程中不依赖于紫外光或化学液体，不依赖于无法量化的手动剥离方法，避免了对柔性基板造成损伤的风险，提高了生产良率，并且本专利技术方法可应用于制作大型化的柔性基板，可减少对人工等不确定性因素的依赖。相对于柔性产线中的卷对卷工艺来说，本专利技术方法基于刚性基板来制作柔性基板，具备普通产线的工艺兼容性，节约了成本。【附图说明】附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。图1是本专利技术方法的流程示意图之一；图2是本专利技术方法的流程示意图之二 ；图3a-图3c分别是刚性基板的俯视图、仰视图和侧视图；图4a和图4b是本专利技术实施例中柔性衬底固定过程中的正视图和侧视图；图5是本专利技术实施例中柔性基板分离过程中的侧视图。在附图中，1-刚性基板；2_第一对位标记；3_保护层；4_第一光刻胶层；5_网状层；6_支撑部；7_柔性衬底；8_第二光刻胶层；9_第三光刻胶层；10_柔性基板；11_离型膜。【具体实施方式】以下结合附图对本专利技术的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。本专利技术提供了一种柔性基板的制作方法，如图1所示，所述制作方法包括以下步骤:S1、在刚性基板上设置可拆卸层，将柔性衬底通过所述可拆卸层固定在刚性基板上，其中，所述可拆卸层包括网状层和设置在所述网状层的网孔中的多个相互独立的支撑部；S2、在所述柔性衬底上形成功能层，以获得柔性基板；S3、通过外力作用于所述网状层，使所述柔性基板与所述刚性基板分离。需要说明的是，本专利技术中提到的“功能层”是指能够使柔性基板实现显示、触控等功能的结构层，例如:像素电路层、触控电极层、彩色滤光层等。本专利技术中提到的“柔性衬底”可以是单纯的柔性材料层，然后在所述柔性材料层上进一步制作所述功能层，以得到具有实际功能的“柔性基板”，或者，所述“柔性衬底”包括柔性材料层和设置在所述柔性材料层上的功能原料层，例如，已经设置有一层电极材料层，只需进行图形化当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：S1、在刚性基板上设置可拆卸层，将柔性衬底通过所述可拆卸层固定在刚性基板上，其中，所述可拆卸层包括网状层和设置在所述网状层的网孔中的多个相互独立的支撑部；S2、在所述柔性衬底上形成功能层，以获得柔性基板；S3、通过外力作用于所述网状层，使所述柔性基板与所述刚性基板分离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王俊伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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