用于泵吸轻气体的泵站以及泵站的使用制造技术

一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：与待抽真空的腔室(10)连接的干燥压缩的第一泵(12)以及与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)。泵站同样具有其它的与这些泵并联地或串联地设置的干燥压缩的泵。为了避免由于设有油密封的泵或者由于提供吹扫气体而引起对轻气体的污染，根据本发明专利技术，其是干燥压缩的泵，所述干燥压缩的泵相对于周围环境是气密密封的，使得能够在待抽真空的腔室(10)中产生低的过程压强。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于泵吸轻气体如氦、氢或其同位素的泵站。此外本专利技术涉及用于泵吸这类轻气体的泵站的使用。
技术介绍
在泵吸轻气体时存在下述问题:这些气体由于在泵内部存在的不密封性而回流。例如螺旋泵在螺旋状的泵元件和壳体之间具有间隙，轻气体能够通过所述间隙回流。为了减少轻气体的回流，已知的是，将待泵吸的轻气体与吹扫气体混合。此外已知的是，通过下述方式提高泵的内部的密封性:使用流体如油以进行内部的密封。使用吹扫气体还有使用油密封的泵具有下述缺点:泵吸的轻气体被污染。这导致:必须耗费地清洁气体。相应的清洁在技术上是困难的并且是昂贵的。当泵吸的轻气体循环使用并且例如应再次输送给制造过程时，这尤其是不利的。在此，相应的轻气体的少量的污染已经能够导致过程中的有害的变化。例如在核聚变实验中输送轻气体氚时少量的污染就已经是有害的。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一种用于泵吸轻气体的泵站，借助于所述泵站，在进气压强小的情况下在实现高的抽吸能力的同时避免轻气体的污染。尤其，本专利技术的目的是，提供一种用于泵吸轻气体的泵站，借助于所述泵站，能够在待抽真空的腔室中实现小于10mbar的压强。尤其，本专利技术的目的是，在进气压强为10mbar至0.1mbar时实现足够的抽吸能力。根据本专利技术，所述目的通过根据权利要求1的泵站的特征或者通过根据权利要求12的泵站的使用的特征实现。根据本专利技术的用于泵吸轻气体的泵站具有干燥压缩的第一泵。第一泵的入口优选直接与待抽真空的腔室或者接受器连接。干燥压缩的第二泵尤其直接与干燥压缩的第一泵连接、即尤其直接与通向干燥压缩的第一泵的出口连接。干燥压缩的泵尤其是螺旋泵或者罗茨泵(Rootspumpen)，其中所述泵的所需要的密封性不通过油等来实现而是根据高精度的制造来实现。为了能够根据本专利技术在待抽真空的腔室或者接受器中实现低的、尤其是小于10mbar的过程压强并且在此附加地避免泵吸的轻气体因吹扫气体或者油密封的泵而受到污染，干燥压缩的泵根据本专利技术相对于周围环境气密密封地构成。气密性的密封在此被定义为在真空泵内部的气体混合物与真空泵外部的气体混合物的空间上的分离。经由密封防止环境气体将待泵吸的气体混合物污染，使得其显著影响应用。由此，根据本专利技术重要的是，使用干燥的、间隙密封的真空泵。这类泵的密封在没有油或者摩擦的/滑动的密封件的情况下进行。尤其，真空泵是螺旋泵。通过使用这类泵避免了润滑剂或者密封件的组成部分进入所输送的气体中。在一个尤其优选的实施方式中，另一个干燥压缩的第三泵与干燥压缩的第一泵并联地设置。该第三泵同样与待抽真空的腔室或者接受器连接。优选的是，这两个彼此并联地设置的干燥压缩的螺旋泵此后共同与设置在下游的干燥压缩的第二螺旋泵连接。优选的是，干燥压缩的第一和第三泵的两个出口优选汇聚到一起并且共同与干燥压缩的第二螺旋泵的入口连接。通过三个干燥压缩的螺栓泵的这种设置方式，在小于10bar的较低的压强的情况下进一步提尚整体抽吸能力是可能的。在一个替选的实施方式中，三个干燥压缩的泵串联地依次设置，使得干燥压缩的第二泵直接与另一个干燥压缩的泵连接。由此，在接受器中即使在不使用油密封的泵的情况下以及即使在不使用吹扫气体的情况下也能够在小于10mbar的低的压强的情况下尤其针对氢和氢同位素实现高的抽吸能力。显然也可能的是，将两个干燥压缩的泵并联连接并且之后沿着泵吸方向将两个另外的干燥压缩的泵串联设置。在总计四个干燥压缩的泵的这种设置方式中，能够在小于10mbar的低的压强的情况下尤其针对氢和氢同位素实现非常高的抽吸能力。为了进一步减小在接受器中可达到的压强，能够与沿着泵吸方向的最后的干燥压缩的泵、即根据实施方式所设置的第二或第四干燥压缩的泵一起设有相对于大气进行泵吸的前级真空泵。前级真空泵例如是干燥的容积式真空泵，尤其是罗茨泵、爪式泵、活塞泵和/或螺旋泵。前级真空泵根据本专利技术构成为干燥压缩的泵，以便避免污染待泵吸的轻气体。尤其，通过根据本专利技术仅设置干燥压缩的泵并且由于弃用吹扫气体，基于使用相对于周围环境气密密封的泵而可行的是，以高的效率泵吸轻气体以在接受器中实现低的过程压强。因为气体未被污染，所以避免了耗费的清洁，使得尤其可能的是，被泵吸的气体例如再次在循环系统中使用。根据实施方式优选的是，第一和/或第三泵直接与待抽真空的腔室或接受器连接。此外，根据实施方式优选的是，第二泵直接与第一和/或第三泵连接。此外优选的是，所有所使用的干燥压缩的泵构成为螺旋泵。尤其优选的是，整个泵站形成对外气密密封的系统。借助于根据本专利技术的泵站，能够以非常有效的方式泵吸轻气体，其中在此避免气体的污染。轻气体尤其是氢、氢同位素、氘，氚，氦，氦同位素或者其混合物。根据本专利技术的用于泵吸轻气体的泵站尤其能够用于在抽吸能力充分有效的情况下压缩纯真空的轻气体、即从大约0.0lmbar压缩至大约Ibar的环境压强上。此外，本专利技术涉及具有至少两个干燥压缩的泵的泵站的使用，所述泵相对于周围环境气密密封，以便泵吸轻气体。所使用的泵站如在上文中所描述的那样有利地改进并且尤其是泵吸在上文中所提及的轻气体。【附图说明】在下文中根据不同的实施方式参考附图详细阐述本专利技术。附图示出:图1至3示出根据本专利技术的泵站的不同的示意图。【具体实施方式】根据第一优选的实施方式，待抽真空的腔室或者接受器10尤其直接与构成为螺旋泵的干燥压缩的第一泵12的入口连接。螺旋泵12的出口在所示出的实施例中与同样构成为螺旋泵14的干燥压缩的第二泵的入口连接。干燥压缩的第二泵14的出口能够通过设施的其它元件或者经由线路16与未示出的前级真空泵连接。在第一实施例中所设置的这两个干燥压缩的螺旋泵分别构成为相对于周围环境气密密封的泵。在图1中示出的实施方式的根据图2的改进方案中，与干燥压缩的第一螺旋泵12并联地设有干燥压缩的第三螺旋泵18。干燥压缩的螺旋泵18直接与接受器10连接。螺旋泵12、18的这两个出口汇聚在一起并且此后共同与螺旋泵14的入口连接。螺旋泵14的出口在线路16上与大气连接或者与未示出的前级真空泵连接。本专利技术的根据图3的另一个优选的实施方式是在图1和2中所示出的实施方式的组合。根据该实施方式，接受器10直接与这两个彼此并联地设置的螺旋泵12、18连接。这两个螺旋泵12、18的出口汇聚在一起并且共同与螺旋泵14的入口连接。另一个干燥压缩的第四泵20与螺旋泵14的出口连接，所述第四泵优选同样是螺旋泵。第四螺旋泵20的出口在所示出的实施例中经由线路16与前级真空泵22连接，所述前级真空泵随后相对于大气进行泵吸。在所有的实施例中，将螺旋泵设置作为干燥压缩的泵，其中这些螺旋泵始终相对于周围环境气密密封。前级真空泵22也是干燥压缩的泵，使得避免污染待泵吸的轻气体。【主权项】1.一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有: 与待抽真空的腔室连接的干燥压缩的第一泵(12);和 与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)， 其特征在于， 干燥压缩的这些泵(12，14)相对于周围环境气密密封并且不设有吹扫气体供给。2.根据权利要求1所述的泵站，其特征在于，与干燥压缩的所述第一泵(12)并联地设置有干燥压缩的第三泵(18)，所述第三泵与待抽真空的所述腔室(10)连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：与待抽真空的腔室连接的干燥压缩的第一泵(12)；和与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)，其特征在于，干燥压缩的这些泵(12，14)相对于周围环境气密密封并且不设有吹扫气体供给。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：迪尔克·席勒，丹尼尔·施奈登巴赫，托马斯·德赖费特，
申请(专利权)人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE