除湿系统技术方案

设置干燥腔(S2)，并设置主除湿单元(40)和终端除湿单元(50)，能够实现干燥无尘室用除湿系统(10)的节能化和低成本化，其中，湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气湿度的空气被供往干燥腔(S2)，上述主除湿单元(40)将空气供往干燥无尘室(S1)，上述终端除湿单元(50)对从干燥无尘室(S1)供往干燥腔(S2)的空气进行处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种除湿系统，包括将除湿空气供往干燥无尘室(S1)的除湿装置(40、50)，上述除湿系统的特征在于：上述除湿系统包括干燥腔(S2)，供往上述干燥腔(S2)的空气的湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气的湿度，上述除湿装置(40、50)包括：设置在将空气供往干燥无尘室(S1)的供气通路(20)上的主除湿单元(40)；以及处理供往干燥腔(S2)的空气的终端除湿单元(50)，主除湿单元(40)包括切换为吸附部和再生部的第一吸附部件(43、44)、第一吸附部件(45)，终端除湿单元(50)包括第二吸附部件(51、52)，上述第二吸附部件(51、52)切换为将干燥无尘室(S1)的空气除湿后供往干燥腔(S2)的除湿部和利用干燥无尘室(S1)的空气再生的再生部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中山浩，夏目敏幸，藤田尚利，大久保英作，松井伸树，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，株式会社大金应用系统，
类型：发明
国别省市：日本;JP