一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其包括：一激光发射装置；一聚焦透镜，所述的聚焦透镜位于所述激光发射装置后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述聚焦透镜的后方；一移动机台，所述的移动机台可沿X和Y轴方向移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，所述的激光发射装置发射出的激光光束依次经过聚焦透镜、楔形镜片，最后直接作用于放置在移动机台上的待加工件，所述的楔形镜片随转动马达转动调节激光光束的入射角度，从而改变在待加工件上的加工部位。本实用新型专利技术的一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，模组结构简单，只需一个光学器件。可与常规激光加工集成，易于制作，成本低，光路调节变得容易。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光加工装置
，尤其涉及一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置。
技术介绍
激光加工的基本原理就是将激光聚焦在材料表面，使激光与材料的相互作用，激光光束的高斯分布以及激光与物体相互作用的机制，激光与材料作用后在物体上形成正锥形的沟槽。现有技术中，使用高斯光束加工，要实现零锥度或倒锥沟槽加工，激光光束要倾斜入射到样品表面。有两种基本的办法：一种是倾斜样品，另外一种是倾斜激光光束。倾斜样品会给加工带来很大的不方便。因此倾斜激光光束的方发被广泛采用。目前有两种操纵方法来实现激光光束的倾斜：方法1：使用全反射镜,通过转动反射镜，改变激光和反射镜夹角来改变激光束入射到样品票面表面的角度。方法2：使用棱镜，通过改变激光入射棱镜的角度来改变入射样品的角度。基于这两种原理的加工技术已经发展起来并且商品化形成特殊的光学模组。但是，这两种方法都有其不足之处。首先，价格高，因为特殊的光学模 组很难与常规的激光加工系统集成，必须单独使用。其二，系统复杂，使用多个光学器件，要达到加工的要求，需要两套对两轴piezo-振镜或Gavo-振镜。其三，调节难度大，由于此特殊光学模组的位置在透镜之前，因此任何偏差会导致在焦点出的偏差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，用于解决现有技术中零锥度激光加工装置集成不方便，加工过程复杂的问题。为达到上述目的，本技术所提出的技术方案为：本技术的一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其包括：一激光发射装置；一聚焦透镜，所述的聚焦透镜位于所述激光发射装置后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述聚焦透镜的后方；一移动机台，所述的移动机台可沿X和Y轴方向移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，所述的激光发射装置发射出的激光光束依次经过聚焦透镜、楔形镜片，最后直接作用于放置在移动机台上的待加工件，所述的楔形镜片随转动马达转动调节激光光束的入射角度，从而改变在待加工件上的加工部位。一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其包括：一激光发射装置；一振镜装置；一场镜，所述的场镜位于所述振镜装置的后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述的场镜后方；一移动机台，所述的移动机台可 沿X轴和Y轴移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，所述的激光发射装置发射出的激光光束依次经过所述的振镜装置，场镜，楔形镜片，最后直接作用于放置在移动机台上的待加工件，所述的楔形镜片随转动马达转动调节激光光束的入射角度，从而改变在待加工件上的加工部位。其中，所述的场镜与楔形镜片之间还设有一聚焦透镜。其中，所述的楔形镜片的转动与移动机台的移动同步进行。其中，所述的转动马达为一振镜马达。其中，所述的楔形镜片的厚度为10毫米至100毫米。与现有技术相比，本技术的一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，模组结构简单，只需一个光学器件。可与常规激光加工集成，易于制作，成本低，光路调节变得容易。附图说明图1为本技术可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第一实施方式的结构图；图2为本技术可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第二实施方式的结构图；图3为本技术的可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第三实施方式的结构图；图4为本技术的可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的零锥度结构图；图5为本技术的可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的倒锥沟槽结构图。具体实施方式以下参考附图，对本技术予以进一步地详尽阐述。请参阅图1至附图3，本技术一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的三种不同实施方式。请参阅附图1，其为本技术一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第一种实施方式，由附图1可见，该可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置包括：一激光发射装置(该装置为常见设备，图中并未示出)，所述的激光发射装置所发射的激光光束经过一楔形光学模组作用于待加工件13的表面。所述的楔形光学模组包括：一聚焦透镜11，一楔形镜片12，其中，所述的激光光束为图中箭头指向，所述的楔形镜片12位于所述聚焦透镜11的后方，即激光光束线经过聚焦透镜11聚焦之后，进入所述的楔形镜片12。优选的，所述的楔形镜片12的中线与所述的聚焦透镜11的轴线处于同一直线上。并且，所述的楔形镜片12的斜面一侧与所述聚焦透镜11正对安装。一移动机台14，所述的移动机台14可沿X和Y轴方向移动。所述的移动机台14上放置一待加工件13，该待加工件13随所述的移动机台14移动，从而配合楔形镜片12的扫面对待加工件13进行加工。需要说明的是，所述的楔形镜片12与一转动马达连接，可随着所述的转动马达改变与激光光束的 入射角。优选的，所述的转动马达为一振镜电机。图中虚线的楔形镜片121为旋转至另外一角度时的激光光束光路示意图。通过改变楔形镜片12的角度改变激光光束的入射角，从而改变作用于待加工件13表面的位置。从而实现零锥度和倒锥沟槽的加工。需要说明的是，所述的楔形光学模组装置可以与静态聚焦透镜和移动平台同步使用来实现加工不同锥度的沟槽。请参阅附图2，其为本技术可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第二种实施方式，其包括：一激光发射装置；一振镜装置21。所述的激光发射装置发射的激光光束经过所述的振镜装置21之后射出。一场镜22，所述的场镜22镜面与所述激光光束垂直。其中，激光光束为带箭头的直线。一楔形镜片23，所述的楔形镜片23位于所述所述场镜22的正后方。其中所述的楔形镜片23上连接有一转动马达，可随转动马达转动，从而实现与激光光束的入射角的调节。所述的激光光束透过所述的楔形镜片23之后，作用于待加工件24。一移动机台25，所述的待加工件24放置于该移动机台25上，该移动机台25可X和Y向移动，待加工件24随移动机台25一起移动，完成激光加工。需要说明的是，所述的楔形光学模组装置可以与振镜扫描和场镜同步使用来实现加工不同锥度的沟槽，也可以与振镜扫描和场镜以及移动平台同步使用来实现加工不同锥度的沟槽。请参阅附图3，其为本技术可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置的第三种实施方式，其包括：一激光发射装置；一振镜装置31。所述的激光发射装置发射的激光光束经过所述的振镜装置31之后射出。一场镜32， 所述的场镜32镜面与所述激光光束垂直。其中，激光光束为带箭头的直线。一聚焦透镜33，所述的聚焦透镜33与所述的场镜32的轴心线重合。即所述的场镜32和所述的聚焦透镜33的镜片相互平行。一楔形镜片34，所述的楔形镜片34位于所述所述场镜42的正后方。其中所述的楔形镜片34上连接有一转动马达，可随转动马达转动，从而实现与激光光束的入射角的调节。所述的激光光束透过所述的楔形镜片34之后，作用于待加工件35。一移动机台36，所述的待加工件35放置于该移动机台36上，该移动机台36可沿X和Y向移动，待加工件35随移动机台36一起移动，完成激光加工。需要说明的是，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其特征在于，包括：一激光发射装置；一聚焦透镜，所述的聚焦透镜位于所述激光发射装置后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述聚焦透镜的后方；一移动机台，所述的移动机台可沿X和Y轴方向移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，所述的激光发射装置发射出的激光光束依次经过聚焦透镜、楔形镜片，最后直接作用于放置在移动机台上的待加工件，所述的楔形镜片随转动马达转动调节激光光束的入射角度，从而改变在待加工件上的加工部位。
【技术特征摘要】
1.一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其特征在于，包括：一激光发射装置；一聚焦透镜，所述的聚焦透镜位于所述激光发射装置后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述聚焦透镜的后方；一移动机台，所述的移动机台可沿X和Y轴方向移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，所述的激光发射装置发射出的激光光束依次经过聚焦透镜、楔形镜片，最后直接作用于放置在移动机台上的待加工件，所述的楔形镜片随转动马达转动调节激光光束的入射角度，从而改变在待加工件上的加工部位。
2.一种可实现零锥度和倒锥沟槽加工的激光装置，其特征在于，包括：一激光发射装置；一振镜装置；一场镜，所述的场镜位于所述振镜装置的后方；一楔形镜片，所述的楔形镜片位于所述的场镜后方；一移动机台，所述的移动机台可沿X轴和Y轴移动；其中所述的楔形镜片上还连接有一转动马达，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓杰，张杰，
申请(专利权)人：深圳英诺激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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