压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表制造技术

本发明专利技术题为压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。提供提高振动臂部的基部侧的厚度方向的弯曲刚性且在基部侧的端部中容易在槽部的内壁形成激振电极的压电振动片及压电振动器。另外，提供具备这种压电振动器并且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。本发明专利技术的压电振动片的一个方式，其特征在于，包括：基部；以及与基部连接并且沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部，在振动臂部的主面，沿着振动臂部的长度方向形成槽部，在槽部内部的基部侧，设有从槽部的底部向主面侧突出的突出部，突出部与槽部的侧壁分离地设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。
技术介绍
为了降低等效串联电阻的值、即Cl (晶体阻抗:Crystal Impedance)值，已知在音叉臂部(振动臂部)形成槽部的音叉型弯曲振动器。在这样的音叉型弯曲振动器中，由于在音叉臂部形成有槽部，会降低音叉臂部在厚度方向的弯曲刚性。由此，出现这样的情况，即音叉臂部向厚度方向弯曲从而发生振动偏移，使得音叉型弯曲振动器的振动特性不稳定。针对该问题，提出了通过形成从音叉基部的一端向槽部突出的加强壁部，谋求提高音叉型弯曲振动器中的音叉臂部的弯曲刚性的结构(例如，专利文献I)。现有技术文献专利文献 专利文献1:日本特开2009 - 60347号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题 然而，例如，在如上述专利文献I所示的音叉型弯曲振动器(压电振动片)中，由于加强壁部从音叉基部的一端向槽部突出地设置，所以音叉基部侧的端部中槽部的宽度变小。因此，难以在音叉基部侧的端部中槽部的内壁形成激振电极，有在音叉基部侧的端部中的槽部的内壁中激振电极的形成不充分的担忧。由此，有激振电极的电场形成的反压电效应下降，音叉型弯曲振动器的振动特性会下降的情况。本专利技术的一个方式，鉴于上述问题点而完成，其目的之一是提供提高振动臂部的基部侧的厚度方向的弯曲刚性，并且，容易在基部侧的端部中槽部的内壁形成激振电极的压电振动片及压电振动器。另外，本专利技术的一个方式的目的之一是提供具备那样的压电振动器并且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。用于解决课题的方案 本专利技术的压电振动片的一个方式，其特征在于，包括:基部；以及与所述基部连接并且沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部，在所述振动臂部的主面，沿着所述振动臂部的长度方向形成有槽部，在所述槽部的内部的所述基部侧，设有从所述槽部的底部向所述主面侧突出的突出部，所述突出部与所述槽部的侧壁分离地设置。也可以为所述突出部设置在所述槽部的内部的所述基部侧的端部附近的结构。也可以为设在一对所述振动臂部的所述突出部彼此通过一对所述振动臂部彼此之间的所述宽度方向的中心，并且，相对于与所述长度方向平行的中心线而线对称设置的结构。本专利技术的压电振动器的一个方式，其特征在于，包括:封装件，具有基底部件和盖部件，所述盖部件叠合于所述基底部件而接合并且在与所述基底部件之间形成气密密封的空腔；以及上述压电振动片，装配于所述基底部件中的安装面，并容纳于所述空腔内。本专利技术的振荡器的一个方式，其特征在于，具备上述压电振动器，所述压电振动器作为振子电连接到集成电路。本专利技术的电子设备的一个方式，其特征在于，具备上述压电振动器，所述压电振动器与计时部电连接。本专利技术的电波钟表的一个方式，其特征在于，具备上述压电振动器，所述压电振动器与滤波器部电连接。专利技术效果 依据本专利技术的一个方式，提供提高振动臂部的基部侧的厚度方向的弯曲刚性，并且，容易在基部侧的端部中槽部的内壁形成激振电极的压电振动片及压电振动器。另外，依据本专利技术的一个方式，提供具备那样的压电振动器并且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。【附图说明】图1是示出本实施方式的压电振动器的分解立体图； 图2是示出本实施方式的压电振动器的截面图； 图3是示出本实施方式的压电振动片的平面图； 图4是不出本实施方式的压电振动片的图，是图3中的IV — IV截面图； 图5是示出本实施方式的压电振动片的图，是图3中的V — V截面图； 图6是示出本实施方式的压电振动片的图，是图3中的V1- VI截面图； 图7是用于说明本实施方式的效果的说明图； 图8是示出振荡器的实施方式的一个例子的图； 图9是示出电子设备的实施方式的一个例子的图； 图10是示出电波钟表的实施方式的一个例子的图。【具体实施方式】以下，参照附图，对本专利技术的实施方式所涉及的压电振动片及压电振动器进行说明。此外，本专利技术的范围，不限定于以下的实施方式，在本专利技术的技术思想的范围内可进行任意变更。另外，在以下的附图中，为了容易理解各结构，有使实际的构造和各构造中的比例尺、数量等不同的情况。 图1及图2是示出本实施方式的压电振动器I的图。图1是分解立体图。图2是截面图。图3到图6是示出本实施方式的压电振动片100的图。图3是平面图。图4是图3中的IV — IV截面图。图5是图3中的V — V截面图。图6是图3中的VI — VI截面图。此外，在以下的说明中，设定XYZ轴，并参照该XYZ坐标系，说明各部件的位置关系。此时，将压电振动器I (参照图1)的厚度方向设为Z轴向、压电振动器I的长度方向设为Y轴向、压电振动器I的短边方向设为X轴向。本实施方式的压电振动器1，如图1所示，是外形大致为长方体状的所谓的陶瓷封装型的表面安装型振动器。压电振动器I具备具有气密地密封的空腔Cl的封装件2和容纳于空腔Cl的压电振动片100。如图1所示，封装件2具备封装件主体(基底部件)3和封口板(盖部件)4。封装件主体3是具有有底的凹部3a的部件。凹部3a由后述的密封圈52的内侧面52a、形成在后述的第2基底基板51上的贯通孔51a的内侧面、和后述的第I基底基板50的上表面50a构成。封口板4堵塞封装件主体3的凹部3a的开口，与封装件主体3接合。空腔Cl相当于封装件主体3的凹部3a的内侧的内部空间，通过封装件主体3和封口板4而与封装件2的外部隔开。封装件主体3包含:第I基底基板50 ;配置在第I基底基板50上的第2基底基板51 ；以及配置在第2基底基板51上的密封圈52。第I基底基板50和第2基底基板51分别为俯视(XY面视)下外形大概长方形的板状部件。第2基底基板51在俯视(XY面视)下外形尺寸与第I基底基板50大致相同。第I基底基板50和第2基底基板51分别是陶瓷制的。第I基底基板50和第2基底基板51的形成材料例如既可为以氧化铝为主成分的高温烧制陶瓷(HTCC:High Temperature Co-Fired Ceramic)，也可为玻璃陶瓷等的低温烧制陶瓷(LTCC:LowTemperature Co-Fired Ceramic)。在第I基底基板50中，第2基底基板51侧(+ Z侧)的上表面50a的一部分，相当于封装件主体3的凹部3a的底面。第2基底基板51重叠到第I基底基板50，通过烧结等与第I基底基板50结合。即，第2基底基板51和第I基底基板50被一体化。如图1及图2所示，在第2基底基板51形成有贯通孔51a。贯通孔51a的内侧面构成封装件主体3的凹部3a的侧壁的一部分。在贯通孔51a的短边方向的一侧(一 X侧)的内侧面，向贯通孔51a突出地设有安装部55。在贯通孔51a的短边方向的另一侧(+ X侦D的内侧面，向贯通孔51a突出地设有安装部56。安装部55和安装部56以互相对置地设置。贯通孔51a的俯视(XY面视)形状为从矩形除去安装部55、56的俯视(XY面视)形状的形状。安装部55、56的密封圈52侧(+ Z侧)的面是装配压电振动片100的安装面55a、56a。在安装面55a设有电极焊盘53。在安装面56a设有电极焊盘54。安装部55、56的俯视(XY面视)形状，在本实施方式中，例如为矩形状。如图2所示，安装部55、56经由电极焊盘53、54本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动片，其特征在于，包括：基部；以及一对振动臂部，与所述基部连接并且沿宽度方向并排地配置，在所述振动臂部的主面，沿着所述振动臂部的长度方向形成有槽部，在所述槽部的内部的所述基部侧，设有从所述槽部的底部向所述主面侧突出的突出部，所述突出部与所述槽部的侧壁分离地设置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：市村直也，
申请(专利权)人：精工电子水晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP