麦克风组件制造技术

麦克风组件。一种麦克风组件，包括：盖，耦接到该盖的基座，布置在该基座上的微机电系统MEMS装置。在基座中形成开口，并且，该MEMS装置被布置在该开口上方。该基座包括挡板，该挡板延伸跨过开口，并且能渗透声音。该基座的剩余部分没有延伸跨过开口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】具有阻止污染物渗透的挡板的麦克风组件相关申请的交叉引用本专利在35U.S.C § 119(e)下要求2012年8月10日提交的名为“MicrophoneAssembly with Barrier to Prevent Contaminant Infiltrat1n，，的美国丨临时申请N0.61/681685的优先权，其内容通过引用整体上并入本文。
本申请涉及声学装置，并且更具体地，涉及阻止污染物渗透到这些装置内的挡板。
技术介绍
举两个示例来说，微机电系统(MEMS)组件包括麦克风和扬声器。这些MEMS装置可以被用于诸如助听器和蜂窝电话之类的多种应用。在MEMS麦克风的情形中，声能典型地进入组件中的声音端口，使隔膜振动，并且这种活动引起了隔膜和布置在隔膜附近的背板之间的电势(电压)方面的相应改变。这种电压表示已接收的声能。典型地，电压信号然后被传送到电路(例如，诸如专用集成电路(ASIC)之类的集成电路)。可以在电路上对该信号执行进一步的处理。例如，可以由集成电路对该电压信号执行放大或滤波功能。如所述，声音通过开口或端口典型地进入组件。当使用端口时，这个开口还允许其它不想要的或者不希望的物品进入该端口。例如，各种类型的污染物(例如，举几个可能的例子，焊料、焊剂、灰尘和唾液)会通过该端口进入。一旦这些物品进入组件内，它们会损害该组件的内部部件，诸如MEMS装置和集成电路。之前的系统有时采用特定的过滤器来阻止某些类型的碎肩进入组件。不幸地是，这些过滤器往往不利地影响麦克风的工作。例如，当使用这些先前技术时，麦克风的性能有时会变得显著退化。由于退化的性能，麦克风消费者在他们的应用中常常不会选择使用这样的麦克风。【附图说明】为了更详细地理解本公开，将对以下详细说明和附图进行参考，其中:图1是根据本专利技术各种实施例的MEMS组件的透视图；图2是根据本专利技术各种实施例的沿着线A-A的图1的MEMS组件的横截面图；图3包括根据本专利技术各种实施例的MEMS组件的透视图；图4包括根据本专利技术各种实施例的图3的组件的内部的顶视图；图5包括根据本专利技术各种实施例的沿着图3和4的挡板的线B-B的横截面图；图6包括根据本专利技术各种实施例的MEMS组件的透视图；图7包括根据本专利技术各种实施例的图6的组件的基部的顶视图；图8包括根据本专利技术各种实施例的沿着图6和7的挡板的线C-C的横截面图；图9包括根据本专利技术各种实施例的MEMS组件的透视图；图10包括根据本专利技术各种实施例的图9的组件的基部的顶视图；图1lA包括根据本专利技术各种实施例的沿着图9和10的挡板的线D-D的横截面图；图1lB包括根据本专利技术各种实施例的隔板的一个示例的横截面图；图1lC包括根据本专利技术各种实施例的隔板的另一示例的横截面图；图12包括根据本专利技术各种实施例的在端口上具有挡板的MEMS组件的透视图；图13包括根据本专利技术各种实施例的图12的组件的基部的顶视图；图14包括根据本专利技术各种实施例的沿着图12和13的挡板的线E-E的横截面透视图；图15包括根据本专利技术各种实施例的在端口上具有挡板的MEMS组件的透视图；图16包括根据本专利技术各种实施例的图15的组件的基部的顶视图；图17包括根据本专利技术各种实施例的沿着图15和16的挡板的线F-F的横截面透视图；图18包括根据本专利技术各种实施例的在端口上具有挡板的MEMS组件的透视图；图19包括根据本专利技术各种实施例的图18的组件的基部的顶视图；图20包括根据本专利技术各种实施例的沿着图18和19的挡板的线G-G的横截面透视图；图21包括根据本专利技术各种实施例的在端口上具有挡板的MEMS组件的透视图；图22包括根据本专利技术各种实施例的图21的组件的基部的顶视图；图23包括根据本专利技术各种实施例的沿着图21和22的挡板的线H-H的横截面透视图；图24包括根据本专利技术各种实施例的具有不带端口的挡板的MEMS组件的透视图；图25包括根据本专利技术各种实施例的图24的盖的基部的顶视图；图26包括根据本专利技术各种实施例的沿着图24和25的挡板的线1_1的横截面透视图；图27包括根据本专利技术各种实施例的具有不带端口的挡板的MEMS组件的透视图；图28包括根据本专利技术各种实施例的图27的组件的基部的顶视图；图29包括根据本专利技术各种实施例的沿着图27和28的挡板的线J-J的横截面透视图；图30包括根据本专利技术各种实施例的具有不带端口的挡板的MEMS组件的透视图；图31包括根据本专利技术各种实施例的图27的组件的基部的顶视图；图32包括根据本专利技术各种实施例的图30和31的挡板的底视图；图33包括根据本专利技术各种实施例的用于图30-32的组件的制造方法的图。本领域技术人员应当意识到，为了简明和清楚图示了图中的元素。应当进一步意识到，可以按照事件的特定次序描述或者描绘某些动作和/或步骤，同时本领域技术人员应当理解实际上并不需要这种关于顺序的专一性。还应当理解的是，本文使用的术语和措辞具有与相对于它们查询和研宄的相应各自领域的这些术语和措辞一致的普通含义，除非本文另外阐述具体含义。【具体实施方式】提供声学组件(例如，麦克风组件)，其中，配置外界挡板以降低或消除外界污染物渗透进这些组件的内部。在这方面，本文提供的结构显著降低或消除有害的外界污染物(例如，流体和微粒)从组件外部侵入组件内部，可以容易且便宜地制造，并且就灵敏度而言没有显著降低麦克风性能(并且在某些方面，改善了一些方面的麦克风性能，例如，音频带中的平坦灵敏度响应)。在一些这些实施例中，麦克风组件包括基座和连接到基座的盖。在盖和基座之间形成内部腔，在其中布置MEMS设备。基座或者盖具有在其中延伸的端口。在基座或者盖中嵌入挡板以延伸穿过端口。该挡板阻止至少一些污染物进入组件的内部以及损害布置在其中的诸如MEMS设备的部件。在一些方面中，嵌入的挡板是多孔薄膜，过滤器或网孔，并且在其它方面中，该挡板是具有布置在其中的开口的图案化的柔性电路。在其它这些实施例中，麦克风组件包括基座和盖。在盖和基座之间形成内部腔，在其中布置MEMS设备。在基座内形成第二腔。在基座中的第一开口或孔允许外部声音从组件外部进入第二腔，并且在基座中的第二开口或孔允许声音从第二腔移到布置在组件的内部腔中的MEMS设备。在基座中的开口和第二腔形成隔板结构，其有效地阻止至少一些污染物使用间接路径进入组件的内部。在其它这些实施例中，麦克风组件包括基座和盖。在盖和基座之间形成内部腔，在其中布置MEMS设备。端口延伸通过基座，并且MEMS设备布置在组件的内部且在端口之上。挡板也布置在端口之上。在一些方面中，该挡板包括构成弯曲(例如，扭曲)路径的隧道，用于在MEMS设备接收到声音之前，声音进入端口进行来回移动。在其它方面中，该挡板由多孔材料构成，并且声音继续穿过挡板在MEMS设备接收。然而，弯曲路径有效地阻止至少一些污染物进入组件的内部。在其它这些实施例中，麦克风组件包括基座和盖。在盖和基座之间形成内部腔，在其中布置MEMS设备。MEMS设备布置在腔内的组件的内部。在该组件中，端口孔不是完全开放的孔。相反，声音进入盖的部分。在一方面中，该盖包括声音经由其进入组件内部的部分熔融的区域，以及声音不能进入组件的高度熔融的区域。盖的非熔融部分有效地阻止至少一些污染物进入组件的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种麦克风组件，所述麦克风组件包括：盖；耦接到所述盖的基座；布置在所述基座上的微机电系统(MEMS)装置；在所述基座中的开口，并且其中，所述MEMS装置被布置在所述开口上方；其中，所述基座包括挡板，所述挡板延伸跨过所述开口，并且能渗透声音，并且其中，所述基座的剩余部分没有延伸跨过所述开口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·V·洛佩特，R·M·麦考尔，D·吉塞克，S·F·沃斯，J·B·斯切赫，桑·博克·李，P·范凯塞尔，
申请(专利权)人：美商楼氏电子有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US