高精度晶体提升装置制造方法及图纸

技术编号:11891691 阅读:113 留言:0更新日期:2015-08-14 21:42
本实用新型专利技术公开了一种高精度晶体提升装置,采用了减速机通过传动轴驱动卷丝轴提升,通过链条同步带动丝杆螺母驱动的拉线位移传感器,以精确反馈晶绳和晶棒状态。本晶体提升装置可保持晶绳下放位置固定,提升速度精确调整,实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度,为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息,使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及到单晶炉设备领域,具体涉及到高精度晶体提升装置
技术介绍
晶棒的生长的均匀性与晶体提升装置的精确程度有直接的联系。传统的晶体提升装置虽然可以做到匀速提升晶棒,但在产品调整和工艺调整,或者拉晶出现意外情况下,操作人员需要凭借个人经验以及对单晶炉的大量观察来收集信息,做出应对方案和调整。这样做可能对于拉晶的精度造成影响,并且可能由于人员的经验不足造成不必要的损失。
技术实现思路
为解决上述问题,本新型提供一种高精度晶体提升装置,提高单晶炉拉晶速度的调整灵活性,降低工艺调整难度,降低拉晶过程中出现意外情况时的处理难度,提高单晶品质,提高单晶炉的容错性。为实现以上目的,采用以下技术方案:高精度晶体提升装置,其特征在于,传动轴一端通过链轮安装在减速机上,传动轴的另一端安装轴承座,卷丝轴安装在传动轴上,卷丝轴通过传动螺母安装在轴承座上;丝杆一端安装在一个链轮上,丝杆的另一端安装有拉线位移传感器,滑块安装在丝杆上,拉纤位移传感器的线头连接到滑块;传动轴端的链轮与丝杆端链轮通过链条联接。所述的卷丝轴的螺纹和传动螺母的螺纹相同。本技术益效果:本新型可保持晶绳下放位置固定,提升速度精确调整,实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度,为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息,使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。【附图说明】图1是本技术的结构示意图;如图所示:1、减速机;2、传动轴;3、卷丝轴;4、传动螺母;5、轴承座;6、拉线位移传感器;7、滑块;8、丝杆;9、链条。【具体实施方式】实施例如图1所示,传动轴(2) —端通过链轮安装在减速机(I)上,传动轴(2)的另一端安装轴承座(5 ),卷丝轴(3 )安装在传动轴(2 )上,并且卷丝轴(3 )通过传动螺母(4)安装在轴承座(5)上;丝杆(8) —端安装在一个链轮上,丝杆(8)的另一端安装有拉线位移传感器(6),滑块(7)安装在丝杆(8)上,拉线位移传感器(6)的线头连接到滑块(7);传动轴(2)端的链轮与丝杆(8)端链轮通过链条(9)联接。卷丝轴(3)的螺纹与传动螺母(4)的螺纹相同。由减速机(I)驱传动轴(2),带动卷丝轴(3)旋转,由于4传动螺母(4)位置固定,卷丝轴(3)在随着螺纹沿轴向做前后运动。由于卷丝轴(3)大端和小端以及传动螺母(4)的螺纹相同,所以转动线速度均匀即可保证晶绳(10)提升速度均匀。同时,传动轴(I)带动链条(9),进而驱动丝杆(8)转动,滑块(7)随之移动,拉线位移传感器(6)的线头连接到滑块(7)上,通过初始位置设置和速比设置,即可随时反应出晶绳、晶棒的运动情况,结合称重模块,就可以精确定位晶棒的长度,位置。【主权项】1.高精度晶体提升装置,其特征在于,传动轴(2)—端通过链轮安装在减速机(I)上,传动轴(2)的另一端安装轴承座(5),卷丝轴(3)安装在传动轴(2)上,并且卷丝轴(3)通过传动螺母(4)安装在轴承座(5)上;丝杆(8) —端安装在一个链轮上,丝杆(8)的另一端安装有拉线位移传感器(6),滑块(7)安装在丝杆(8)上,拉线位移传感器(6)的线头连接到滑块(7 );传动轴(2 )端的链轮与丝杆(8 )端链轮通过链条(9 )联接。2.根据权利要求1所述的高精度晶体提升装置,其特征在于,所述的卷丝轴的螺纹和传动螺母的螺纹相同。【专利摘要】本技术公开了一种高精度晶体提升装置,采用了减速机通过传动轴驱动卷丝轴提升,通过链条同步带动丝杆螺母驱动的拉线位移传感器,以精确反馈晶绳和晶棒状态。本晶体提升装置可保持晶绳下放位置固定,提升速度精确调整,实时监控。并且可以随时判断晶绳下端的垂直高度,为工艺调整和拉晶过程中出现意外情况的处理提供准确的炉内信息,使单晶炉具有更高的可靠性和更灵活的可控制性。【IPC分类】C30B15-30【公开号】CN204550787【申请号】CN201520136994【专利技术人】曹玉宝, 黎志欣, 理查德·韦伯, 刘二飞 【申请人】大连连城数控机器股份有限公司【公开日】2015年8月12日【申请日】2015年3月11日本文档来自技高网...

【技术保护点】
高精度晶体提升装置,其特征在于,传动轴(2)一端通过链轮安装在减速机(1)上,传动轴(2)的另一端安装轴承座(5),卷丝轴(3)安装在传动轴(2)上,并且卷丝轴(3)通过传动螺母(4)安装在轴承座(5)上;丝杆(8)一端安装在一个链轮上,丝杆(8)的另一端安装有拉线位移传感器(6),滑块(7)安装在丝杆(8)上,拉线位移传感器(6)的线头连接到滑块(7);传动轴(2)端的链轮与丝杆(8)端链轮通过链条(9)联接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:曹玉宝黎志欣理查德·韦伯刘二飞
申请(专利权)人:大连连城数控机器股份有限公司
类型:新型
国别省市:辽宁;21

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