一种单晶炉导流筒制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉导流筒，包括由上而下开口逐渐缩小的筒体、以及筒体外侧环绕固定的封闭式保温箱、以及筒体内设置的数组开口调节装置；开口调节装置包括开口调节缸和调节板组；保温箱中空的腔体内填充有保温材料；调节板组包括上调节板和下调节板；下调节板下端转动的连接在筒体开口的下端，其上端与上调节板的下端转动连接；开口调节缸伸出杆前端铰接在上调节板的上端。本实用新型专利技术中的开口调节装置的结构设计合理，不会发生气流的突然转向而形成旋流，能对气流起到均匀的导向和调节。同时，保温箱为整体式结构设计，能够提高导流筒筒体的保温效果，还对导流筒筒体起防护作用，保温箱可以整体拆卸，实现重复利用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶炉设备
，尤其是涉及一种单晶炉导流筒。
技术介绍
现有的单晶炉导流筒的结构通常为逐渐减小直径的圆筒状结构，起高温气体导流的作用，高温气体一般为氩气流，在氩气流动过程中，不断的从晶体表面带走热量，因此，氩气流对晶体表面的吹拂对于晶体中的径向和纵向温度分布有着重要的影响，而温度梯度又对晶体中的杂质状况，原生缺陷的形成以及电阻率和氧含量的径向分布，有着密切的关系。但现有的这种结构，因为高温气体在导流筒中流动的速度快，流动阻力小，所以晶体生长过程中固液界面凹向固体的一侧，如果凹陷过大，就会弓I起径向含氧量、电阻率、原生缺陷的起伏过大，使晶体参数均匀性变差。一些单晶炉导流筒的开口处虽然设置挡板，但其结构设计不合理，挡板的折角位置为死角，容易引起高温气体的气流回旋，这样虽然增设了挡板，但是不能均匀的控制导流筒中气体的流速，难以保证晶体质量。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种单晶炉导流筒，能够均匀的控制导流筒中气体的流速，并能够为导流筒保温，并且保温箱为一体式结构，能够重复利用。为解决上述技术问题，本技术的技术方案是这样实现的:一种单晶炉导流筒，包括由上而下开口逐渐缩小的筒体、以及筒体外侧环绕固定的封闭式保温箱、以及筒体内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸和调节板组；所述保温箱中空的腔体内填充有保温材料；所述调节板组包括上调节板和下调节板；所述下调节板下端转动的连接在筒体开口的下端，其上端与上调节板的下端转动连接；所述开口调节缸伸出杆前端铰接在上调节板的上端。进一步的，所述保温箱横截面呈梯形，其斜边贴附于筒体外壁，保温箱的外轮廓为圆柱形结构。进一步的，所述保温箱的外壁对称的设有至少两个吊耳。进一步的，所述开口调节装置沿筒体中心均布设置。进一步的，所述开口调节缸为电动缸。进一步的，所述上调节板和下调节板均为带弧度的弯板，且上调节板与开口调节缸连接的一端设有铰轴。进一步的，所述保温箱的各棱角均倒圆角。本技术具有的优点和积极效果是:I)开口调节装置的结构设计适应气体流动特点，上调节板和下调节板各连接处均无死角，不会因气流的突然转向而形成旋流，能够均匀的对气流起到导向和流速调节作用。2)保温箱为整体式结构设计，能够提高导流筒的保温效果，同时对导流筒起防护作用，防止导流筒受外力冲击损坏，并且，保温箱可以整体拆卸，重复利用。3)保温箱外形为圆柱状，其上设有吊耳，易于安装和吊运。4)开口调节缸为电动缸，有利于自动化控制，同时精确度高，可以实现定量调节。【附图说明】图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中保温箱的结构示意图；图3是本技术中上调节板的结构示意图。图中:1-筒体；2_保温箱；3_开口调节缸；4_调节板组；5_保温材料；6_上调节板-J-下调节板;8_吊耳;9_铰轴;10_斜边;11_圆角ο【具体实施方式】需要说明的是，在不相冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图对本技术的具体实施例做详细说明。一种单晶炉导流筒，如图1所示，包括由上而下开口逐渐缩小筒体1、以及筒体I外侧环绕固定的封闭式保温箱2、以及筒体I内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸3和调节板组4 ;所述保温箱2中空的腔体内填充有保温材料5 ;所述调节板组4包括上调节板6和下调节板7 ;所述下调节板7下端转动的连接在筒体I开口的下端，其上端与上调节板6的下端转动连接；所述开口调节缸3伸出杆前端铰接在上调节板6的上端。其中，如图1和图2所示，所述保温箱2横截面呈梯形，其斜边10贴附于筒体I外壁，保温箱2的外轮廓为圆柱形结构，外形规则，易于整体结构的布局。实际生产中，可以在所述保温箱2的外壁对称的设置至少两个吊耳8，这样，易于保温箱2以及装配好的整个导流筒的安装和吊运。其中，所述开口调节装置沿筒体I中心均布设置，实现高温气流均匀的经过，气流稳定，能有效控制晶体固液界面结晶潜热的挥发。其中，所述开口调节缸3为电动缸。有利于自动化控制，同时控制精度高，可以实现定量调节。其中，如图3所示，所述上调节板6和下调节板7均为带弧度的弯板，且上调节板6与开口调节缸3连接的一端设有铰轴9。需要说明的是，通常上调节板6和下调节板7的弯曲弧度凹向下，这样，气流经过更加的顺畅，导向效果更佳。另外，设置的铰轴9应避免在安装开口调节缸3后发生干涉。其中，所述保温箱2的各棱角均倒圆角11，在安装筒体I时，可以避免刮伤筒体I。当开口调节缸3的伸出杆向下伸出时，上调节板6上端逐渐向下移动，同时上调节板6和下调节板7像合页一样逐渐闭合，而上调节板6和下调节板7相连接位置被逐渐推向靠近筒体I中心的位置，使筒体I下端的开口逐渐减小，起到导向和调节气流的效果。本技术中的开口调节装置的结构设计适应气体流动特点，上调节板6和下调节板7各连接处均无死角，不会因气流的突然转向而形成旋流，能够均勾的对气流起到导向和流速调节作用。同时，保温箱2为整体式结构设计，能够提高导流筒筒体I的保温效果，同时对导流筒筒体I起防护作用，防止筒体I受外力冲击损坏，并且，保温箱2可以整体拆卸，重复利用。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。【主权项】1.一种单晶炉导流筒，其特征在于:包括由上而下开口逐渐缩小的筒体、以及筒体外侧环绕固定的封闭式保温箱、以及筒体内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸和调节板组；所述保温箱中空的腔体内填充有保温材料；所述调节板组包括上调节板和下调节板；所述下调节板下端转动的连接在筒体开口的下端，其上端与上调节板的下端转动连接；所述开口调节缸伸出杆前端铰接在上调节板的上端。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述保温箱横截面呈梯形，其斜边贴附于筒体外壁，保温箱的外轮廓为圆柱形结构。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述保温箱的外壁对称的设有至少两个吊耳。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述开口调节装置沿筒体中心均布设置。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述开口调节缸为电动缸。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述上调节板和下调节板均为带弧度的弯板，且上调节板与开口调节缸连接的一端设有铰轴。7.根据权利要求1所述的一种单晶炉导流筒，其特征在于:所述保温箱的各棱角均倒圆角。【专利摘要】本技术提供一种单晶炉导流筒，包括由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉导流筒，其特征在于：包括由上而下开口逐渐缩小的筒体、以及筒体外侧环绕固定的封闭式保温箱、以及筒体内设置的数组开口调节装置；所述开口调节装置包括开口调节缸和调节板组；所述保温箱中空的腔体内填充有保温材料；所述调节板组包括上调节板和下调节板；所述下调节板下端转动的连接在筒体开口的下端，其上端与上调节板的下端转动连接；所述开口调节缸伸出杆前端铰接在上调节板的上端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡治军，
申请(专利权)人：安徽中晶光技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34