数据传送方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种数据传送方法和装置。其中，数据传送方法包括：获取被传送数据的总字节数，其中，总字节数为被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据总字节数，建立字节型数组；根据目标参数，对字节型数组的数组元素赋值；定义目标变量，将目标变量发送至目的端，其中，目标变量的赋值为赋值后的字节型数组。通过本发明专利技术，解决了现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题，进而达到了缩短PECVD设备中传送数据的时间，并且提高实时性的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及数据处理领域，具体而言，涉及一种数据传送方法和装置。
技术介绍
在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n，等离子体增强化学气相沉积法)设备中执行复杂的工艺时，会分为多个工艺步骤。每个工艺步骤中涉及多种工艺参数及每种工艺参数的多个分段变化值，其中，每个分段变化值都包括起始值、终止值和持续时间三部分数据。例如，某个工艺步骤中包含的多种工艺参数为工艺的温度、压力、电源的功率和各种气体的流量以及上述每个工艺参数的多个分段变化值，上述工艺步骤中的工艺数据需要由上位机(工艺控制系统)传送至下位机(工艺执行系统)。现有技术中PECVD设备中的数据传送方法是工艺步骤中的工艺参数一个分段变化值中的一部分数据(例如:起始值)占用上位机驱动程序中的一个变量，上位机将变量一个一个的传送至下位机。由于每次驱动程序都是一个变量对应一个下位机的地址逐个寻址逐个写入，所以对于一个工艺步骤而言，需要占用较长时间来进行工艺参数的传递，从而执行工艺所需时间较长，导致实时性差。并且，需将要传送的工艺参数名称及其对应在下位机中的地址逐一列在驱动程序的通讯驱动中，不便于工艺的保密性。针对现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种数据传送方法和装置，以解决现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种数据传送方法。根据本专利技术的数据传送方法包括:获取被传送数据的总字节数，其中，所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据所述总字节数，建立字节型数组；根据所述目标参数，对所述字节型数组的数组元素赋值；以及定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端，其中，所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。进一步地，所述被传送数据为工艺步骤，所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数，其中，获取被传送数据的总字节数包括:获取所述工艺步骤中的所述工艺参数；遍历全部所述工艺参数，获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值；以及根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。进一步地，根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数包括:统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量；以及根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。进一步地，在获取工艺步骤的总字节数之前，所述数据传送方法还包括:接收所述工艺参数添加指令；以及根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。为了实现上述目的，根据本专利技术实施例的另一方面，提供了一种数据传送装置。根据本专利技术的数据传送装置包括:获取单元，用于获取被传送数据的总字节数，其中，所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数；建立单元，用于根据所述总字节数，建立字节型数组；赋值单元，用于根据所述目标参数，对所述字节型数组的数组元素赋值；以及发送单元，用于定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端，其中，所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。进一步地，所述被传送数据为工艺步骤，所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数，其中，所述获取单元包括:第一获取模块，用于获取所述工艺步骤中的所述工艺参数；第二获取模块，用于遍历全部所述工艺参数，获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值；以及确定模块，用于根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。进一步地，所述确定模块包括:统计子模块，用于统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量；以及确定子模块，用于根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。进一步地，所述数据传送装置还包括:接收单元，用于在获取工艺步骤的总字节数之前，接收所述工艺参数添加指令；以及确定单元，用于根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。进一步地，所述被传送数据为工艺步骤，所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数，其中，在根据所述总字节数，建立字节型数组之后，所述数据传送装置还包括:拆解单元，用于将所述工艺参数按照预设格式进行拆解，以得到每个所述工艺参数在所述字节型数组中的排放位置；所述赋值单元包括赋值模块，用于根据所述工艺参数，对每个所述工艺参数在所述字节型数组中的所述排放位置对应的所述数组元素进行赋值。进一步地，所述数据传送装置还包括:还原单元，用于在定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端之后，根据所述预设格式对接收到的所述字节型数组进行还原。根据专利技术实施例，采用获取被传送数据的总字节数，其中，总字节数为被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据总字节数，建立字节型数组；根据目标参数，对字节型数组的数组元素赋值；以及定义目标变量，将目标变量发送至目的端，其中，目标变量的赋值为赋值后的字节型数组。通过获取被传送数据的总字节数，实现了字节型数组中数组元素数量的确定，进而建立关于被传送数据的字节型数组，再根据被传送数据中的参数对数组中的数组元素进行赋值，将赋值后的数组作为一个变量的变量赋值传送至目的端。由于向目的端传送数据时只占用一个变量，所以只需寻址一次，并且被传送的数据在下位机中的地址连续，所以数据传送速度极快，解决了现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题，进而达到了缩短PECVD设备中传送数据的时间，并且提高实时性的效果。【附图说明】构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中:图1是根据本专利技术实施例的数据传送方法的流程图；以及图2是根据本专利技术实施例的数据传送装置的示意图。【具体实施方式】为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。实施例1根据本专利技术实施例，提供了一种可以用于实施本申请装置实施例的方法实施例，需要说明的是，在附图的流程图示出的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数据传送方法，其特征在于，包括：获取被传送数据的总字节数，其中，所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据所述总字节数，建立字节型数组；根据所述目标参数，对所述字节型数组的数组元素赋值；以及定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端，其中，所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马峥，
申请(专利权)人：北京精诚铂阳光电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11