本实用新型专利技术公开了一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体，所述过滤腔体包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与反应腔体的反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口，所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材以及一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，所述过滤材用以进行粉尘的过滤，所述承载隔板用以承载并间隔至少一过滤材。本实用新型专利技术方便安装，废气处理效果好。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及环保工程
，具体涉及一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体。
技术介绍
半导体制程机在制程过程中往往会产生许多的废气以及有毒的气体，因而必须经过废气处理机做进一步的处理才能释放于大气中。进行扩散制程时，会产生硅甲烷，其为不稳定性以及可燃性的气体，因而必须经过燃烧反应生成毒性较低或无毒的气体及粉尘。现有技术的处理效果不佳，且容易排放出有害气体，不利于环境保护。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体，以解决所述技术问题。为解决所述技术问题，本技术的实施例提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体的过滤腔体，所述过滤腔体包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与反应腔体的反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口，所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材以及一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，所述过滤材用以进行粉尘的过滤，所述承载隔板用以承载并间隔至少一过滤材。本技术的所述技术方案的有益效果如下:利用将所述过滤腔体的顶部连接于所述反应腔体，降低所述过滤腔体与所述反应腔体的对应设置位置，可降低整体装置的高度，方便安装于厂区内。【附图说明】图1为本技术的洗涤装置的结构示意图。图2为本技术的洗涤装置的气体流动示意图。图3为本技术的洗涤装置的粉尘堆积示意图。图4为本技术的洗涤装置的气体流动及水流清洗示意图。【具体实施方式】为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。如图1至图4所示，本技术提供一种环保型粉尘过滤洗涤装置，包括一反应腔体10、一与所述反应腔体10连接的过滤腔体20、一粉尘检查部30，以及连接于所述粉尘检查部30的一废气处理件40与一废水沉淀部50。所述反应腔体10进行废气的过滤并反应生成一粉尘60，并具有一供所述粉尘60输出的反应输出口 11，本实施例中，所述反应腔体10为一燃烧反应腔体，将半导体制程中反应生成的有毒物体如硅甲烷进行燃烧反应，借此降低毒性或形成无毒的气体61及所述粉尘60。所述过滤腔体20包括一顶部21、一相对所述顶部21的底部22、一设置于所述顶部21并与所述反应输出口 11连通的粉尘输入口 23、一设置于所述顶部21的喷水系统24，以及一设置于所述底部22的粉尘输出口 25，由于所述过滤腔体20相邻设置于所述反应腔体10旁，因此不会有高度增加的问题，所述过滤腔体20中内容置有至少一过滤材26以及一设置于所述顶部21与所述底部22之间的承载隔板27，所述过滤材26用以进行所述粉尘60的过滤，所述承载隔板27用以承载并间隔至少一过滤材26。所述粉尘检查部30具有一连通所述粉尘输出口 25的转接通道31以及一连接于所述转接通道31的透明检查部32，使用者可通过所述透明检查部32检视位于所述转接通道31内的粉尘60堆积状况。所述转接通道31具有一位于所述转接通道31的底侧的废水排放口 311以及一相对远离所述废水排放口 311的废气排放口 312。所述废气处理件40与所述废气排放口 312连接，所述废水沉淀部50与所述废水排放口 311连接，所述废气处理件40具有一与所述废气排放口 312连接的垂直通管41，在本实施例中，所述垂直通管41的高度至少高于所述过滤腔体20的顶部21。所述废水沉淀部50具有一储水槽51、一储存于所述储水槽51内的废水52以及一连通所述废水排放口 311的废水连通管53，所述废水连通管53远离所述废水排放口 311的一端深入于所述废水52中，所述废水沉淀部50还具有一与所述储水槽51连接的废水输出通管54，所述废水输出通管54具有一 U形段54。本技术的粉尘60过滤过程为:对经过所述反应腔体10的粉尘60及气体61经过所述过滤腔体20进行过滤，所述过滤腔体20利用至少一过滤材26进行所述粉尘60的过滤，所述过滤材26被所述承载隔板间隔于所述顶部21与所述底部22之间，最后经过所述转接通道31以及所述垂直通管41后被吸入所述废气处理件40内。在经过所述垂直通管41时，大部分的粉尘60由于地心引力的作用而不会随着所述废气处理件40的吸引而通过，一般情况下，所述粉尘60均会掉落于所述转接通道31内，或者附着于所述垂直通管41的内壁面上，等到一定程度的累积之后再掉落于所述转接通道31内。由所述透明检查部32进行所述粉尘60堆积状况的检查，当所述粉尘60堆积的数量达到一定程度后，开启所述喷水系统24，由所述喷水系统24产生清洗水62进行所述粉尘60的清洗，并通过所述废水排放口 311进行输出所述清洗水62至所述废水沉淀部50。通过所述废水连通管53深入于所述废水沉淀部50的废水52内，可避免废气直接通过所述废水沉淀部50进行废气散发，造成有毒气体的散发。综上所述，本技术具有下列特点:1、利用将所述过滤腔体的顶部连接于所述反应腔体，降低所述过滤腔体与所述反应腔体的对应设置位置，可降低整体装置的高度，方便安装于厂区内。2、将所述过滤腔体的底部连接于所述粉尘检查部，并通过所述粉尘检查部的透明检查部可供使用者进行粉尘累积状况的查看，具有较佳的使用方便性。3、所述喷水系统设置的位置远离所述废气处理件，因而所述喷水系统所产生的水气不会顺着气流吸引而被吸入所述废气处理件内，造成所述废气处理件的损坏。4、利用所述废水连通管深入于所述废水内，可避免废气直接通过所述废水沉淀部进行气体散发。5、利用所述废水输出管的U形段而具有水封的效果，同样可避免气体的散发问题。6、利用所述垂直通管的设置，使所述粉尘会直接滑落或掉落于所述转接通道内，避免通道过于弯曲造成粉尘堆积的问题。7、利用所述垂直通管的设置，使气流方向相反于重力方向，通过重力沉降原理，提升粉尘去除效率。以上所述是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。【主权项】1.一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体，其特征在于，所述过滤腔体包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与反应腔体的反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口，所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材以及一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，所述过滤材用以进行粉尘的过滤，所述承载隔板用以承载并间隔至少一过滤材。【专利摘要】本技术公开了一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体，所述过滤腔体包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与反应腔体的反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口，所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材以及一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，所述过滤材用以进行粉尘的过滤，所述承载隔板用以承载并间隔至少一过滤材。本技术方便安装，废气处理效果好。【IPC分类】F23G7-06, B01D50-00【公开号】CN204522656【申请号】CN201520221612【专利技术人】胡增浩 【本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种环保型粉尘过滤洗涤装置的过滤腔体，其特征在于，所述过滤腔体包括一顶部、一相对所述顶部的底部、一设置于所述顶部并与反应腔体的反应输出口连通的粉尘输入口、一设置于所述顶部的喷水系统，以及一设置于所述底部的粉尘输出口，所述过滤腔体中内容置有至少一过滤材以及一设置于所述顶部与所述底部之间的承载隔板，所述过滤材用以进行粉尘的过滤，所述承载隔板用以承载并间隔至少一过滤材。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡增浩，
申请(专利权)人：胡增浩，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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