掩模板制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种掩模板。包括：框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。本实用新型专利技术制作成本低廉；避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；同时预防了由于重力作用所致的掩模板变形。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及掩模板制作
，特别是涉及一种掩模板。
技术介绍
OLED生产过程中最重要的一环节就是将有机层按照驱动矩阵的要求涂敷到基层上，形成关键的发光显示单元。而高精度的涂敷技术是制约OLED产品化的关键因素。目前在OLED生产中，主要采用的蒸镀工艺，是至关重要的，即将有机材料通过真空蒸镀高精度涂覆到基板上，形成发光显示单元，这一过程必须要使用高精度金属掩膜板。蒸镀工艺中用到的金属掩膜板有开放式掩模板(Open Mask)和精细金属掩模板(Fine Metal Mask)。传统工艺在制作掩模板时，主要包括:首先，如图1所示，经过光刻刻蚀工艺制作出图案金属膜I。然后，如图2所示，用高精度的张网机设备将图案金属膜I张到精确位置时再焊接到金属框架2上。但是，传统工艺在制作掩模板时，很容易产生张力F不均的情况，或着焊接产生的热应力等问题，这都会造成图案金属膜位置精度不高，影响制得的掩模板的图形精度。另夕卜，对于大尺寸掩模板，由于图案金属膜的质量较大，从而会在其自身重力作用下产生凹陷下垂，导致图形扭曲，这对精度要求较高的蒸镀过程而言，是极为不利的。鉴于此，业内亟需一种能够解决此问题的技术方案。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种掩模板，提高掩模板的精度。为解决上述技术问题，本技术提供一种掩模板，包括:框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。可选的，对于所述的掩模板，所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条位于图案金属膜中央区域下方，所述第二支撑条围绕所述图案金属膜边缘一周。可选的，对于所述的掩模板，所述第二支撑条围绕呈矩形。可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条包括横向第一支撑条和纵向第一支撑条，所述横向第一支撑条和纵向第一支撑条交叉相连接。可选的，对于所述的掩模板，所述横向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的一组对边，所述纵向第一支撑条的两端连接至呈矩形的第二支撑条的另一组对边，所述横向第一支撑条、纵向第一支撑条及第二支撑条连接呈矩形形状。可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条和第二支撑条朝向图案金属膜的一面共平面。可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条的厚度小于第二支撑条的厚度。可选的，对于所述的掩模板，所述第一支撑条的厚度为5-80_，所述第二支撑条的厚度为10-100mm。可选的，对于所述的掩模板，所述图案金属膜的厚度为20-200 μ m。本技术提供的掩模板，所述框架镂空以形成有支撑条，所述图案金属膜附在所述框架上，相比现有技术，本技术具有以下一个或多个优点:(I)避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；(2)通过支撑条的存在，预防了由于重力作用所致的掩模板变形；(3)无需高精度张网设备，因此降低了制作成本和难度；(4)可灵活变更设计，不需要额外的光刻掩模板，因此也降低了成本。【附图说明】图1-图2为现有技术中的掩模板制造过程中的结构示意图；图3为本技术实施例中的掩模板的结构示意图图4-图9为本技术实施例中的掩模板在制造过程中的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的掩模板进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。本技术的中心思想是:提供一种掩模板，包括:框架，所述框架镂空以形成有支撑条；然后将图案金属膜附在所述框架上。由此，本技术一方面避免了焊接工艺对掩模板造成的形变；另一方面由于支撑条的存在，预防了由于重力作用所致的掩模板变形。从而有效提尚了掩t旲板的精度。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。下面对本技术做详细介绍。请参考图3，本技术的掩模板包括:框架11，所述框架11镂空以形成有支撑条；以及图案金属膜13，图案金属膜13具有开口 131，图案金属膜13附在所述框架11上，所述支撑条与开口 131相对应且暴露出开口 131。具体的，所述支撑条包括第一支撑条(112、113)和第二支撑条111，所述第一支撑条(112、113)位于图案金属膜13中央区域下方，第二支撑条111围绕所述图案金属膜13边缘一周，较佳的，第二支撑条111围绕呈矩形。进一步的，第一支撑条包括横向第一支撑条112和纵向第一支撑条113，横向第一支撑条112和纵向第一支撑条113交叉相连接。横向第一支撑条112的两当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩模板，其特征在于，包括：框架，所述框架镂空以形成有支撑条；以及图案金属膜，所述图案金属膜具有开口，所述图案金属膜附在所述框架上，所述支撑条与所述开口相对应且暴露出所述开口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：辛宇，叶添昇，
申请(专利权)人：上海天马有机发光显示技术有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31