用于对腔室抽真空的真空泵系统以及用于控制真空泵系统的方法技术方案

一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有主泵系统(12，14)，所述主泵系统与腔室(10)连接。辅助泵系统(20)与主泵系统(12，14)连接，其中辅助泵系统(20)具有喷射泵。借助于根据本发明专利技术的方法，根据在主泵系统(12，14)的出口(16)或入口(50)处测量的压强，调节主泵系统(12，14)的至少一个泵的转速。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于对腔室抽真空的真空泵系统以及用于控制真空泵系统的方法
本专利技术涉及一种用于对腔室抽真空或用于将腔室保持在尤其小于10mbar的预设的负压上的真空泵系统以及一种用于控制这种真空泵系统的方法。
技术介绍
真空泵系统具有多个真空泵。在此已知的是，主泵系统设有一个或多个真空泵，所述主泵系统由辅助泵系统来支持。通常，辅助泵系统沿运送方向设置在主泵系统的下游或者与主泵系统的出口连接。辅助泵系统克服大气压泵送气体并且降低主泵系统的出口区域中的压强，使得主泵系统不必克服大气压来运送。由此可行的是，在要抽真空的腔室或容器中实现极其低的最终压强。这种真空泵系统例如在WO03/023229、US5,709,537或WO03/093678中描述。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提高用于对腔室抽真空的真空泵系统的能量效率。所述目的通过真空泵系统来实现，所述真空泵系统用于对腔室抽真空，所述真空泵系统具有：主泵系统，所述主泵系统与所述腔室连接；和辅助泵系统，所述辅助泵系统与所述主泵系统的出口连接；与所述辅助泵系统并联的阀装置，其中所述辅助泵系统具有喷射泵，其特征在于，设有测量所述辅助泵系统和所述阀装置之间的压差的压差测量器；或所述目的通过用于控制真空泵系统的方法来实现，该方法用于控制对腔室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有：主泵系统，所述主泵系统与所述腔室连接；和辅助泵系统，所述辅助泵系统与所述主泵系统的出口连接，所述方法具有如下步骤：确定所述主泵系统的出口中的和/或入口区域中的压强；根据测量的压强来调节所述主泵系统的至少一个泵的转速；和当所述压强低于辅助泵系统和与所述辅助泵系统并联设置的阀装置之间的压差的极限值时，切断所述辅助泵系统。根据本专利技术的用于对腔室或容器抽真空的真空泵系统具有主泵系统，所述主泵系统与腔室尤其直接地连接。在此，主泵系统能够具有至少一个、尤其多个真空泵。设置在主泵系统中的真空泵优选为螺旋真空泵或罗茨泵。特别地，在主泵系统中使用具有高的内部压缩率的泵。内部压缩率描述在压缩之前在泵入口处的体积与在压缩之后在泵出口处的体积的比值。通过例如为1:10的高的内部压缩率可能的是，运送大的气体体积。在抽真空开始时，在短时间内运送大体积的泵是非常好地适合的。在达到腔室中的最终压强时，这种大体积的泵为了维持腔室中的小的压强必须继续在高的功率消耗下运行，以便维持真空或小的最终压强。因为尤其在最终压强的范围中由主泵系统必须仅还运送小的气体量，所以设有在主泵系统的下游连接的辅助泵系统，所述辅助泵系统与主泵系统的出口连接。根据本专利技术，辅助泵系统具有喷射泵。喷射泵尤其在真空系统在最终压强范围中运行时具有如下优点：通过所述喷射泵，能够在能量需求小的情况下运送剩余的相对小的气体量。这具有根据本专利技术的主要优点：可能的是，通过在辅助泵系统中设有喷射泵，在最终压强范围中，降低主泵系统的至少一个泵的转速。由此显著地降低主泵系统的所述泵的能量消耗。因此，通过在辅助泵系统中设有喷射泵，能够显著地提高能量效率。喷射泵能够为液体或气体喷射泵。根据使用领域，在运送气体时，设置气体喷射泵能够是有利的，其中液体喷射泵一方面具有如下优点：液体能够以简单的方式与运送的气体再次分开。借助于根据本专利技术的真空泵系统可能的是，在高效的抽吸能力的情况下，实现低的入口压强或者维持所述低的入口压强。尤其优选的是，使用真空泵系统，以便在对腔室抽真空之后，即在已经将腔室从例如环境压强抽真空到尤其小于10mbar的低的压强上之后，在更长的过程时间段期间保持所述低的压强。根据本专利技术，与喷射泵并联地设有阀装置。阀装置在此例如能够具有可开关的阀或例如弹簧加载的止回阀。设置这种阀装置具有如下优点：尤其在运送大的气体量的抽真空开始时，主泵系统直接克服大气运送要运送的介质。这尤其在抽真空开始时是可能的，因为压差还相对小。经由阀装置运送具有如下优点：能够运送如下气体量，所述气体量由于受限的通过量无法由喷射泵运送。根据本专利技术的真空泵系统的主要优点在于，通过设置喷射泵来降低主泵系统的出口区域中的压强。这引起降低主泵系统的至少一个泵的入口和出口之间的压差，由此改进泵的密封性。特别地，由此改进相应的泵的密封间隙的密封性。根据本专利技术，设有压差测量器，所述压差测量器测量辅助泵系统和阀装置之间的压差。由此可能的是，在低于预设的压差时，辅助泵系统完全地或部分地切断。这尤其在抽真空开始时是有利的，因为在该时间点还不需要辅助泵系统并且通过切断辅助泵系统能够降低总系统的功率消耗。因此，根据本专利技术，辅助泵系统在超过一定压差时才接入，使得能够进一步改进能量效率。此外，优选的是，尤其在主泵系统的出口区域中设有压强传感器。由此可能的是，例如在达到尤其位于计划的最终压强附近的极限压强时，降低主泵系统的至少一个泵的转速。尤其地，当在主泵系统的出口区域中已经存在相对小的压强时，要运送的气体量相对小。这引起：在转速低的情况下也能够由主泵系统的至少一个泵运送该气体量，尤其能够以简单的方式由喷射泵运送所述气体量。主泵系统的至少一个泵的转速的随后可能的降低引起显著的能量节约。在此有利的是，在转速低的情况下也不出现运送介质的回流。替代在主泵系统的出口区域中设置压强传感器，也可能的是，在主泵系统的入口区域中设有压强传感器。这尤其在与同喷射泵并联设置的可开关的阀组合的情况下是有利的。在阀打开的情况下，主泵系统的出口区域中的压强降低，使得在该区域中的压强测量仅还具有小的说服力。就此而言，优选的是，在设置可开关的阀的情况下，根据主泵系统的泵中的一个泵的入口区域或主泵系统的入口区域中的压强来控制阀的开关。在另一个优选的改进形式中，设有控制装置，其中优选为共同的中央控制装置，借助所述中央控制装置控制主泵系统的以及辅助泵系统的全部的泵。此外，优选通过所述控制装置来控制必要时设置的可开关的阀。特别地，通过控制装置根据由至少一个压强传感器测量的压强来控制主泵系统的至少一个泵的转速。此外，本专利技术涉及一种用于控制对腔室抽真空的真空泵系统的方法。这种泵系统具有主泵系统，所述主泵系统与腔室连接。辅助泵系统与主泵系统的出口连接。真空泵系统如在上文中描述的那样优选有利地改进，然而为了实现根据本专利技术的方法在辅助泵系统中不一定必须具有喷射泵。根据本专利技术的方法，在主泵系统的入口区域和/或出口区域中确定压强。于是，根据测量的压强，调节主泵系统的至少一个泵的转速。为了执行该方法步骤优选的是，泵系统在入口区域中和/或在出口区域中具有压强传感器。特别地，借助于根据本专利技术的方法可能的是，在真空泵系统在最终压强范围中运行时，提高能量效率。在最终压强范围中，仅还必须运送非常少量的气体，使得能够降低主泵系统的至少一个泵的转速。要运送的气体尤其也通过辅助泵运送，其中辅助泵的功率消耗显著小于主泵系统的功率消耗。优选地，在低于预设的压强极限值时，降低主泵系统的至少一个泵的转速。此外，可能的是，在压强继续降低时限定另一个更低的压强极限值，其中于是重新降低转速。特别地，主泵系统的至少一个泵的转速变化也能够无级地进行。为了补偿压强传感器的不精确性和/或压强波动，优选的是，在预设的时间段之后才降低转速。在根据本专利技术的方法一个优选的改进形式中，确定辅助泵系统和与辅助泵系统并联设置的阀装置之间的压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有：主泵系统(12，14)，所述主泵系统与所述腔室(10)连接；和辅助泵系统(20)，所述辅助泵系统与所述主泵系统(12，14)的出口(16)连接，其特征在于，所述辅助泵系统(20)具有喷射泵，尤其是气体喷射泵。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.11.09 DE 102012220442.31.一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有：主泵系统(12，14)，所述主泵系统与所述腔室(10)连接；和辅助泵系统(20)，所述辅助泵系统与所述主泵系统(12，14)的出口(16)连接；与所述辅助泵系统(20)并联的阀装置(22)，其中所述辅助泵系统(20)具有喷射泵，其特征在于，设有测量所述辅助泵系统(20)和所述阀装置(22)之间的压差的压差测量器(48)。2.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述喷射泵是气体喷射泵。3.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述阀装置(22)具有止回阀。4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵系统，其特征在于，设有确定所述主泵系统(12，14)的出口(16)中的压强的压强传感器(30)。5.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵系统，其特征在于，设有确定入口区域(50)中的压强的压强传感器(52)。6.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵系统，其特征在于，所述主泵系统(12，14)具有螺旋真空泵(14)和/或罗茨泵(12)。7.根据权利要求4所述的真空泵系统，其特征在于，设有控制装置(56)，以用于根据由至少一个所述确定所述主泵系统(12，14...

【专利技术属性】
技术研发人员：迪尔克·席勒，丹尼尔·施奈登巴赫，托马斯·德赖费特，马格努斯·亚尼茨基，
申请(专利权)人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE