本实用新型专利技术涉及一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。本实用新型专利技术的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。
【技术实现步骤摘要】
:本技术涉及一种冷却装置，尤其是一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却 目.0
技术介绍
:单晶铜键合线从退火机被抽出后，由于自身温度较高，如果在空气中其表面容易被氧化，严重影响其质量。因此，在对单晶铜键合线进行降温的同时，还要防止单晶铜键合线被氧化。传统的冷却装置是采用循环方式，虽然能够冷却单晶铜键合线，但缺点是:循环过程中会不断产生冷却液的沉淀物和外界的灰尘等赃物，这些赃物会沾污单晶铜键合线表面而使单晶铜键合线的质量降低。
技术实现思路
:为了克服现有技术的不足，本技术提供一种降温速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通。冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵。冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。进一步的，所述绕线箱为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管与绕线箱相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。本技术的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。【附图说明】:下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图。图中冷却管、2进气管、3回气管、4冷却室、5气泵、6氮气补充罐、7绕线箱。【具体实施方式】:如图1所示，一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室(4)、气泵(5)、氮气补充罐(6)和绕线箱(7)，冷却管(I)的一端与绕线箱(7)相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管⑴与回气管(3)的一端相连通，回气管(3)的另一端与冷却室(4)相连通。冷却管(I)距离绕线箱(7)较近的一端与进气管(2)相连通，进气管(2)的另一端与冷却室(4)相连通，在进气管(2)上设有气泵(5)。冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室(4)和气泵(5)组成一个氮气循环系统。在冷却室(4)的一侧设有与冷却室(4)相连通的氮气补充罐(6)，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。所述绕线箱(7)为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管(I)与绕线箱(7)相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。工作原理及操作方法:工作时，先向冷却管(1)、进气管(2)、回气管(3)、冷却室(4)内充满氮气，作为冷却气体，氮气在冷却室(4)内冷却后经气泵(5)、进气管(2)进入冷却管(I)对拉出的单晶铜键合线进行冷却，带走单晶铜键合线的热量后经回气管(3)进入冷却室(4)再进行冷却，然后再被气泵(5)送入冷却管(I)，如此往复循环流动。在冷却的过程中，由较少一部分氮气经绕线箱(7)前面的进线孔进入绕线箱(7)，所损失的氮气由氮气补充罐(6)及时给予补充。在绕线箱(7)顶板上设有玻璃窗，便于观察内部绕线装置的运行情况，当绕线结束后，打开绕线箱(7)的密封门，取下线轴即可。本技术的优点是:1.冷却管⑴、进气管(2)、回气管⑶、冷却室(4)和气泵(5)组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用，节约氮气，降低生产成本。2.单晶铜键合线完全在密闭的冷却管⑴中进行冷却，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。3.整个绕线过程在绕线箱(7)内完成，能防止单晶铜键合线表面被空气中的灰尘沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。【主权项】1.一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通，冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵，在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐。2.根据权利要求1所述的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统。3.根据权利要求1所述的单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于:所述绕线箱为方形，内部设有绕线装置，在前箱板上设有一个进线孔，通过进线孔使冷却管与绕线箱相连通，在左箱板上设有便于开关的密封门，在顶板上设有便于观察内部绕线装置的玻璃窗。【专利摘要】本技术涉及一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。本技术的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。【IPC分类】C30B33-02, C22F1-08【公开号】CN204529944【申请号】CN201520205221【专利技术人】田鹏, 李勇, 赵峰 【申请人】滕州晨晖电子集团有限公司【公开日】2015年8月5日【申请日】2015年4月1日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于：包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通，冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵，在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：田鹏，李勇，赵峰，
申请(专利权)人：滕州晨晖电子集团有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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