显微镜载片台制造技术

本发明专利技术提供一种显微镜载片台，涉及半导体芯片生产制造领域；主要包括载片台(1)，其中载片台(1)上铣有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；载片台(1)四周通过防护板螺纹孔(7)与防护板固定；载片台(1)的两侧开有第一燕尾槽轨(8)，第一燕尾槽轨(8)和第一燕尾槽(13)滑动连接；第一燕尾槽架(9)两端的下底面与第二燕尾槽架(12)两端上顶面固定在一起；第二燕尾槽(14)和第二燕尾轨(17)滑动连接，第二燕尾轨(17)在第二燕尾槽轨架(16)上，第二燕尾槽轨架(16)固定在显微镜上；本发明专利技术能够有效防止由于载片台快速移动而造成的芯片滑落现象，从而提高产品成品率。

【技术实现步骤摘要】
显微镜载片台
本专利技术涉及半导体芯片生产制造领域，具体涉及一种显微镜载片台。
技术介绍
在现代半导体芯片生产制造过程中，在进行MESA光刻、ITO光刻、SIO2等光刻后显影完都需要使用特殊的化学药液去除芯片表面的保护胶、每一道光刻去胶工序后都需要人工进行检查。目前通常工人检查工具就是普通显微镜，而显微镜的载片台也是普通的开长方形板。对芯片进行检查时载片台快速移动，边缘芯片容易从载片台上滑落到桌面或地面上，造成产品污染、损伤或报废。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种显微镜载片台，使得待检查芯片能够牢固地放在芯片槽上，从而防止由于载片台快速移动而造成的芯片滑落现象，提高产品成品率。(二)技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：本专利技术提供的一种显微镜载片台，主要包括载片台，优选的，所述的载片台上铣有第一芯片槽和/或第二芯片槽；所述的载片台四周通过防护板螺纹孔与防护板固定；优选的，所述载片台的两侧开有第一燕尾槽轨，第一燕尾槽架上开有第一燕尾槽；所述第一燕尾槽轨和所述第一燕尾槽滑动连接；所述的第一燕尾槽架两端的下底面与第二燕尾槽架两端上顶面固定在一起；所述第二燕尾槽架上开有第二燕尾槽；所述第二燕尾槽和第二燕尾轨滑动连接，所述第二燕尾轨在第二燕尾槽轨架上，第二燕尾槽轨架固定在显微镜上。优选的，所述的载片台上铣有至少一个第一芯片槽。优选的，所述的载片台上铣有至少一个第二芯片槽。优选的，所述的第一芯片槽的边缘上的左右两侧均开有取片孔。优选的，所述的第二芯片槽的边缘上开有取片孔。优选的，所述的取片孔的深度尺寸大于所述的第一芯片槽、所述第二芯片槽的深度尺寸。优选的，所述的第一燕尾槽架与载片台接触的上平面铣有轴承槽。优选的，所述的轴承槽内安装有轴承，所述轴承能够在所述的轴承槽内转动。优选的，所述轴承的直径大于所述轴承槽的深度尺寸。优选的，所述第一燕尾槽轨的两端安装有防脱轨圆柱。(三)有益效果本专利技术提供了一种显微镜载片台，由于在载片台上铣有固定尺寸的LED芯片槽，查检时将芯片放在芯片槽上，且载片台的四周均设有高出载片台的防护板，从而能够有效防止由于载片台快速移动而造成的芯片滑落现象，提高产品成品率。本专利技术前后固定支架与载片台之间采取燕尾槽式连接，固定支架上面和载片台背侧采用可滚动的轴承接触，载片台在左右快速移动或停留在极限位置时，可以保证载片台处于水平位置，从左到右观察芯片时无需不停调整显微镜焦距，提高工作效率。同时，由于芯片固定在芯片槽内，检查时芯片与载片台不发生相对移动，节省操作人员对焦所用时间，能够提高芯片检查的效率。此外，在每个LED芯片槽上的最左侧和最右侧都铣有深度大于芯片槽的小孔，因此惯用左、右手的操作人员都可以顺利将芯片从载物台上取出。本专利技术前后固定支架与载片台之间采取燕尾槽式连接，固定支架上面和载片台背侧采用可滚动的轴承接触，载片台在左右快速移动或停留在极限位置时，可以保证载片台处于水平位置，从左到右观察芯片时无需不停调整显微镜焦距，提高工作效率；附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为显微镜载片台的俯视图；图2为载片台的装配示意图；图3为显微镜载片台的左视图；图4为显微镜滑轨支架的俯视图；图5为显微镜滑轨支架的主视图；图6为显微镜滑轨支架的左视图；图7为燕尾槽主视图；其中，1-载片台，2-第一芯片槽，3-第二芯片槽，4-取片孔，6-显微镜视野范围，7-防护板固定螺纹孔，8-第一燕尾槽轨，9-第一燕尾槽架，10-轴承槽，11-轴承，12-第二燕尾槽架，13-第一燕尾槽，14-第二燕尾槽，15-防脱轨圆柱，16-第二燕尾槽轨架，17-第二燕尾槽轨。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供的一种显微镜载片台，包括载片台1，其中所述的载片台1上铣有至少一个相同直径尺寸的第一芯片槽2和至少一个相同直径尺寸的第二芯片槽3；第一芯片槽2和第二芯片槽3的直径尺寸不同；所述的载片台1四周通过防护板螺纹孔7与防护板固定；所述的所述载片台1的两侧开有第一燕尾槽轨8；所述的载片台1通过第一燕尾槽轨8与第一燕尾槽架9连接；两个所述的第一燕尾槽架9两端的下底面与两个第二燕尾槽架12两端上顶面焊接在一起；所述两个第二燕尾槽架12上开有第二燕尾槽14；所述的第二燕尾槽架12通过第二燕尾槽14安装在显微镜上；如上所述，第一芯片槽2和第二芯片槽3用于放置不同尺寸的待检芯片，由于能够固定在槽内，且在载片台1的四周安装了防护板，使得载片台在移动时，可防止产生芯片滑落的现象，避免产品因滑落而产生的损伤、损坏，能够提高产品的成品率，提高产品的质量。载片台1上铣有至少一个第一芯片槽2和至少一个第二芯片槽3，能够增加一次检查的芯片数量，从而提高检查效率。第一芯片槽2最左端和最右端和第二芯片槽3最左端和最右端都开有取片孔4，能够方便操作人员取放待检芯片。第一燕尾槽架9与载片台1接触的上平面铣有轴承槽10，轴承槽10内安装有轴承11，所述轴承11能够在所述的轴承槽10内转动。所述轴承11的上端高于第一燕尾槽架9的上平面。由于在第一燕尾槽架9的上平面内开有轴承槽10，并安装有轴承11，且燕尾槽架与载片台1通过燕尾槽连接，接触面积大，因此当载片台1在左右移动时，能够保证载片台1始终保持在水平面内，减少操作人员在检查芯片时的对焦次数，能够缩短检查时间，提高检查效率。第一燕尾槽轨8的两端安装有防脱轨圆柱15，当载片台1移动到极限位置时，防脱轨圆柱15会阻挡载片台1继续移动，从而防止载片台1产生脱轨事故，保护产品及操作人员安全。在现有技术中，载片平台的导轨架上的左右移动是通过手柄带动皮带移动的，导轨架和显微镜本体上的前后滑动也是通过手柄带动皮带移动的；本专利技术中对于载片台的前后移动、左右移动的控制也采取了相同的方案，因此，载片台1在第一燕尾槽架9上的左右移动是通过手柄带动皮带移动的，第二燕尾槽轨架在显微镜上的前后移动也是通过手柄带动皮带移动的。实施例1以2寸LED芯片为例，作进一步阐述，本专利技术实施例包括，载片台1、第一芯片槽2、第二芯片槽3、取片孔4、防护板固定螺纹孔7、第一燕尾槽轨8、第一燕尾槽架9、轴承槽10、轴承11、第二燕尾槽架12、第一燕尾槽13、第二燕尾槽14、防脱轨圆柱15；其中，载片台1上铣有第一芯片槽2和第二芯片槽3，第一芯片槽2用于固定2寸LED芯片，第一芯片槽2的深度为0.4mm，直径为51mm；在对2寸的LED芯片检查时，能够保证对2寸LED芯片的固定，使其在载片台1快速移动时不发生相对移动。载片台1上平面的四周开有防护板固定螺纹孔，在载片台的左右两侧边缘通过螺栓固定有两块200本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显微镜载片台，包括载片台(1)，其特征在于：所述的载片台(1)上铣有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；所述的载片台(1)四周通过防护板螺纹孔(7)与防护板固定；所述载片台(1)的两侧开有第一燕尾槽轨(8)，第一燕尾槽架(9)上开有第一燕尾槽(13)；所述第一燕尾槽轨(8)和所述第一燕尾槽(13)滑动连接；所述的第一燕尾槽架(9)两端的下底面与第二燕尾槽架(12)两端上顶面固定在一起；所述第二燕尾槽架(12)上开有第二燕尾槽(14)；所述第二燕尾槽(14)和第二燕尾轨(17)滑动连接，所述第二燕尾轨(17)在第二燕尾槽轨架(16)上，第二燕尾槽轨架(16)固定在显微镜上。

【技术特征摘要】
1.一种显微镜载片台，包括载片台(1)，其特征在于：所述的载片台(1)上铣有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；所述的载片台(1)四周通过防护板螺纹孔(7)与防护板固定；所述载片台(1)的两侧开有第一燕尾槽轨(8)，第一燕尾槽架(9)上开有第一燕尾槽(13)；所述第一燕尾槽轨(8)和所述第一燕尾槽(13)滑动连接；所述的第一燕尾槽架(9)两端的下底面与第二燕尾槽架(12)两端上顶面固定在一起；所述第二燕尾槽架(12)上开有第二燕尾槽(14)；所述第二燕尾槽(14)和第二燕尾轨(17)滑动连接，所述第二燕尾轨(17)在第二燕尾槽轨架(16)上，第二燕尾槽轨架(16)固定在显微镜上。2.如权利要求1所述的一种显微镜载片台，其特征在于：所述的载片台(1)上铣有至少一个第一芯片槽(2)。3.如权利要求1所述的一种显微镜载片台，其特征在于：所述的载片台(1)上铣有至少一个第二芯片槽(3)。4.如权利要求2所述的一种显微镜载...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁维才，冯靖，吴化胜，
申请(专利权)人：合肥彩虹蓝光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34