搬运机构制造技术

本发明专利技术提供搬运机构，即使在将存在翘曲的晶片搬运到保持工作台的情况下，保持工作台也能够抽吸保持晶片。搬运机构向抽吸保持晶片的保持工作台搬运晶片，其中，该搬运机构具备保持头(12)和保持头移动构件(13)，保持头具备：多个抽吸保持部(24a～24c)，它们抽吸保持晶片；和多个按压部件(25a～25c)，它们能够在将载置于保持工作台(50)上的晶片的外周部朝向保持工作台按压的按压位置、和不与被抽吸保持部保持的晶片接触的退避位置之间移动，所述保持头移动构件使保持头相对于保持工作台接近和离开，即使在晶片的外周部分向上翘曲的情况下，也能够在保持工作台上矫正晶片的翘曲，消除与保持工作台之间的间隙，来抽吸保持晶片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将晶片搬运至保持工作台的搬运机构。
技术介绍
在对晶片进行各种加工的加工装置中，存在具备对作为加工对象的晶片进行保持的保持工作台的加工装置(例如，参照专利文献I)。在具备这样的保持工作台的加工装置中，通常具备在保持工作台和其他部位之间搬运晶片的搬运机构(例如，参照专利文献2)。专利文献1:日本特开平11-284056号公报专利文献2:日本特开2013-144323号公报但是，存在这样的情况:在薄化后的晶片、层叠有玻璃、硅或密封树脂等材质的层叠晶片上产生有翘曲。当将这些产生了翘曲的晶片载置于保持工作台时，在保持工作台的保持面和晶片之间存在间隙，因此存在即使利用负压抽吸晶片也可能无法保持晶片这样的冋题。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于:即使在将存在翘曲的晶片搬运到保持工作台的情况下，保持工作台也能够抽吸保持晶片。本专利技术为一种搬运机构，其向抽吸保持晶片的保持工作台搬运晶片，其中，所述搬运机构具备保持头和保持头移动构件，所述保持头具备:多个抽吸保持部，所述多个抽吸保持部抽吸保持晶片；和多个按压部件，所述多个按压部件能够在将载置于该保持工作台上的晶片的外周部朝向该保持工作台按压的按压位置、和不与被该抽吸保持部保持的晶片接触的退避位置之间移动，所述保持头移动构件使该保持头相对于该保持工作台接近和离开。优选的是，所述多个抽吸保持部被配设成能够在比所述按压部件靠内侧的内侧位置、和与该按压部件处于同一个圆周上的外侧位置之间移动。根据本专利技术的搬运机构，多个按压部件朝向保持工作台按压晶片的外周部分，因此即使在晶片的外周部分向上翘曲的情况下，也能够在保持工作台上矫正晶片的翘曲，消除与保持工作台之间的间隙，来抽吸保持晶片。并且，如果抽吸保持部能够在内侧位置和外侧位置之间移动，则在晶片的外周部分向上翘曲的情况下，通过将抽吸保持部配置在外侧位置，由此不仅能够利用按压部件，也能够利用抽吸保持部朝向保持工作台按压晶片的外周部分。并且，在晶片的外周部分向下翘曲的情况下，通过将抽吸保持部配置在内侧位置，由此，能够一边利用按压部件按压晶片的外周部分，一边利用抽吸保持部朝向保持工作台按压晶片的中央部分。由此，无论是在晶片的外周部分向上翘曲的情况下还是向下翘曲的情况下，都能够矫正晶片的翘曲，消除与保持工作台之间的间隙，从而保持工作台能够抽吸保持晶片。【附图说明】图1是示出搬运机构的立体图。图2是示出搬运机构保持晶片的样子的侧剖视图。图3是示出搬运机构将晶片载置于保持工作台的样子的侧剖视图。图4是示出搬运机构将晶片向保持工作台按压的样子的侧剖视图。图5是示出搬运机构保持晶片的样子的侧剖视图。图6是示出搬运机构将晶片向保持工作台按压的样子的侧剖视图。标号说明10:搬运机构；12:保持头；21:中央部；22a ?22c、23a ?23c:臂部；24、24a?24c:抽吸保持部；25,25a ?25c:按压部件；26、26a?26c:按压移动构件；13:保持头移动构件；31:支承部；32:臂；33:轴部；41、43:抽吸源；42、44:止回阀；50:保持工作台；51:保持面；60:晶片。【具体实施方式】图1所示的搬运机构10是组装在例如对晶片进行加工的加工装置中的机构，该搬运机构10例如将载置于在加工前临时载置晶片的临时载置工作台上的晶片搬运到在加工时保持晶片的保持工作台上。保持工作台对由搬运机构10搬运来的晶片进行抽吸保持。保持于保持工作台的晶片例如通过磨削构件或切削构件等加工构件进行加工。搬运机构10具备在搬运过程中保持晶片的保持头12、和使保持头12移动的保持头移动构件13。保持头12具备:与XY平面平行的圆板状的中央部21，其与临时载置工作台及保持工作台的保持面平行；6个臂部22a?22c、23a?23c，它们在与XY平面平行的平面内从中央部21朝向外侧呈放射状延伸；3个抽吸保持部24a?24c，它们设置于各臂部23a?23c ；以及3个按压部件25a?25c和3个按压移动构件26a?26c，它们设置于各臂部22a ?22c。相邻的臂部22a?22c、23a?23c之间的角度均为60度。并且，抽吸保持部24a?24c经由止回阀42与真空源等抽吸源41连接，来抽吸保持晶片。抽吸保持部24a?24c构成为能够沿着臂部23a?23c在径向上移动。保持头12的中心(中央部21的中心轴)和各按压部件25a?25c之间的距离比搬运机构10所要搬运的晶片的半径稍小，并且按压部件25a?25c被配置成对晶片的外周部分进行按压。保持头12的中心和各抽吸保持部24a?24c之间的距离根据抽吸保持部24a?24c的径向移动而变化。在各抽吸保持部24a?24c处于离开保持头12的中心最远的位置的情况下，保持头12的中心和各抽吸保持部24a?24c之间的距离与保持头12的中心和各按压部件25a?25c之间的距离相等，各抽吸保持部24a?24c位于与各按压部件25a?25c相同的圆周上。将此时的抽吸保持部24a?24c的位置称作“外侧位置”。在抽吸保持部24a?24c处于外侧位置的情况下，抽吸保持部24a?24c对晶片的外周部分进行抽吸保持。另一方面，在各抽吸保持部24a?24c处于最接近保持头12的中心的位置的情况下，保持头12的中心和各抽吸保持部24a?24c之间的距离比保持头12的中心和各按压部件25a?25c之间的距离小，各抽吸保持部24a?24c位于比通过各按压部件25a?25c的圆周靠内侧的位置。将此时的抽吸保持部24a?24c的位置称作“内侧位置”。在抽吸保持部24a?24c处于内侧位置的情况下，抽吸保持部24a?24c对晶片的接近中央的位置进行抽吸保持。按压移动构件26a?26c具备:例如在末端与按压部件25a?25c连接的杆；和使杆向与XY平面垂直的土Z方向移动的气缸，通过使杆移动来使按压部件25a?25c向土Z方向移动。气缸例如是能够使杆以2个阶段伸长的两阶段行程气缸。当按压移动构件26a?26c使按压部件25a?25c向+Z方向移动时，按压部件25a?25c退避至不与被抽吸保持部24a?24c抽吸保持的晶片接触的位置。将此时的按压部件25a?25c的位置称作当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运机构，其向抽吸保持晶片的保持工作台搬运晶片，其中，所述搬运机构具备保持头和保持头移动构件，所述保持头具备：多个抽吸保持部，所述多个抽吸保持部抽吸保持晶片；和多个按压部件，所述多个按压部件能够在将载置于该保持工作台上的晶片的外周部朝向该保持工作台按压的按压位置、和不与被该抽吸保持部保持的晶片接触的退避位置之间移动，所述保持头移动构件使该保持头相对于该保持工作台接近和离开。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：茶野伦太郎，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP