本发明专利技术提供即使以低曝光量也能充分固化、能对分隔壁上表面赋予良好的拒墨性的负型感光性树脂组合物、在上表面具有良好的拒墨性的树脂固化膜和分隔壁、以及具有在由分隔壁分隔成的开口部均匀涂布墨而精度良好地形成的点的光学元件。一种负型感光性树脂组合物，其含有：具有烯属双键的碱溶性树脂或碱溶性单体(A)、光聚合引发剂(B)、1分子中具有3个以上巯基的硫醇化合物(C)、以及拒墨剂(D)；一种使用该负型感光性树脂组合物而形成的树脂固化膜和分隔壁；以及一种在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的该分隔壁的光学元件。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁和光学元件。
技术介绍
在有机EL (Electro-Luminescence;电致发光）元件等光学元件的制造中，有时使 用将发光层等有机层作为点、用喷墨（IJ)法进行图案印刷的方法。在上述方法中，沿着想 要形成的点的轮廓设置分隔壁，在由该分隔壁包围而成的分区（以下，也称为"开口部"）内 注入包含有机层的材料的墨，对其进行干燥和/或加热等，由此形成期望的图案的点。 在上述方法中，为了防止相邻的点间的墨的混合以及均匀涂布用于形成点的墨， 需要分隔壁上表面具有拒墨性，另一方面，需要包括分隔壁侧面的由分隔壁包围而成的用 于形成点的开口部具有亲墨性。 因此，为了得到在上表面具有拒墨性的分隔壁，已知使用包含拒墨剂的感光性树 脂组合物并利用光刻法形成与点的图案相应的分隔壁的方法。例如，专利文献1中公开了 包含有机硅系拒墨剂的负型感光性树脂组合物，所述有机硅系拒墨剂包含含氟水解性硅烷 化合物的水解缩合物。另外，在利用使用了感光性树脂组合物的光刻法的分隔壁的制造中，从提高生产 率的观点出发，认为需要以较低的曝光量进行感光性树脂组合物的固化。特别是形成于分 隔壁上表面的具有拒墨性的层若固化不充分，则有时在显影时发生溶出而变得极薄、或者 有时该层自身变得不存在，使其充分固化是重要的。例如，专利文献2中记载了使用特定的 光聚合引发剂的感光性组合物。作为敏化剂，记载了 1官能或2官能的硫醇化合物。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:国际公开第2010/013816号 专利文献2:国际公开第2008/146855号
技术实现思路
专利技术要解决的问题 近年来，以更高的生产率为目标，期望开发出即使在比专利文献2中记载的曝光 条件更低的曝光量下也能充分固化、且能对分隔壁上表面赋予拒墨性的感光性树脂组合 物。 本专利技术的目的在于提供即使以低曝光量也能充分固化、能对分隔壁上表面赋予良 好的拒墨性的负型感光性树脂组合物、使用该组合物而得到的在上表面具有良好的拒墨性 的树脂固化膜和分隔壁。 进而，本专利技术的目的在于提供具有在由分隔壁分隔成的开口部均匀涂布墨而精度 良好地形成的点的光学元件。 用于解决问题的方案 本专利技术具有以下的~的要旨，提供树脂固化膜、负型感光性树脂组合物、 分隔壁和光学元件。 一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的树脂固化膜， 在利用使用了 Ar溅射离子的X射线光电子能谱法（XPS)进行的前述树脂固化膜 的厚度方向的组成分析中， 前述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值ws 0. 100~3. 000,该w大于表层内部区域的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平 均值 m)，其中，所述表层内部区域以距前述树脂固化膜的表面4nm厚的位置作为起点 且以距该表面7nm厚的位置作为终点，并且， 前述树脂固化膜的表面的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值 w、以及前 述树脂固化膜的前述表层内部区域的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值 (ii)为 0? 001 ~0? 050。 -种负型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：具有烯属双键的碱溶性树脂 或碱溶性单体（A)、光聚合引发剂（B)、l分子中具有3个以上巯基的硫醇化合物（C)、以及 拒墨剂（D)。 根据前述所述的负型感光性树脂组合物，其中，在负型感光性树脂组合物 中的全部固体成分中含有5~80质量％具有烯属双键的碱溶性树脂或碱溶性单体（A)、 0. 1~50质量％光聚合引发剂（B)、以及0.01~15质量％拒墨剂（D)。 根据前述或所述的负型感光性树脂组合物，其中，以前述硫醇化合物 (C)所具有的巯基的量相对于前述负型感光性树脂组合物中的全部固体成分所具有的烯属 双键1摩尔为0. 0001~1摩尔的方式含有该化合物。 根据前述~中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述拒墨 剂（D)具有氟原子，前述拒墨剂〇))中的氟原子的含有率为1~40质量％。 根据前述~中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述拒墨 剂（D)为具有烯属双键的化合物。 根据前述~中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述拒墨 剂（D)为水解性硅烷化合物的部分水解缩合物。 根据前述所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述部分水解缩合物为水 解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有氟亚烷 基和/或氟烷基以及水解性基团的水解性硅烷化合物（si)。 根据前述所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述水解性硅烷化合物混 合物还包含在硅原子上键合有4个水解性基团的水解性硅烷化合物（s2)。 根据前述所述的负型感光性树脂组合物，其中，前述水解性硅烷化合物 混合物还包含具有具备烯属双键的基团和水解性基团、且不含氟原子的水解性硅烷化合物 (s3) 〇 根据前述~中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其还包含1分 子中具有2个以上烯属双键、且不具有酸性基团的交联剂（E)。 根据前述~中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其还包含溶剂 (F)。 -种树脂固化膜，其使用前述~中任一项所述的负型感光性树脂组 合物而形成。 -种树脂固化膜，其为形成于基板上的前述所述的树脂固化膜， 在利用使用了 Ar溅射离子的X射线光电子能谱法（XPS)进行的前述树脂固化膜 的厚度方向的组成分析中， 前述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值 WS 0. 100~3. 000,该w大于表层内部区域的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平 均值 m)，其中，所述表层内部区域以距前述树脂固化膜的表面4nm厚的位置作为起点 且以距该表面7nm厚的位置作为终点，并且， 前述树脂固化膜的表面的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值 w以及前 述树脂固化膜的前述表层内部区域的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值 (ii)为 0? 001 ~0? 050。 -种分隔壁，其形成为将基板表面分隔成用于形成点的多个分区的形状，所 述分隔壁包含前述、或所述的树脂固化膜。 -种光学元件，其在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的分隔壁，前述 分隔壁由前述所述的分隔壁形成。 根据前述所述的光学元件，其中，前述点是利用喷墨法而形成的。 专利技术的效果 根据本专利技术，能够提供即使以低曝光量也能充分固化、能对分隔壁上表面赋予良 好的拒墨性的负型感光性树脂组合物。...
【技术保护点】
一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的树脂固化膜，在利用使用了Ar溅射离子的X射线光电子能谱法(XPS)进行的所述树脂固化膜的厚度方向的组成分析中，所述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C](i)为0.100～3.000，该[F/C](i)大于表层内部区域的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[F/C](ii)，其中，所述表层内部区域以距所述树脂固化膜的表面4nm厚的位置为起点且以距该表面7nm厚的位置为终点，并且，所述树脂固化膜的表面的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值[S/C](i)、以及所述树脂固化膜的所述表层内部区域的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[S/C](ii)为0.001～0.050。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：松浦启吾，川岛正行，高桥秀幸，小林大介，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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