磁控镀膜机腔罩结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。本实用新型专利技术机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术公开一种磁控镀膜机腔罩结构，按国际专利分类表(IPC)划分属于磁控镀膜机制造

技术介绍
薄膜技术是表面工程的三大技术之一，而真空镀膜是薄膜技术的主要技术手段。目前，柔性基底材料如聚对苯二甲酸乙二醋(Polyethylene terephthalate，PET)随着触摸屏行业的技术革新而迅速发展起来，柔性基材镀膜一般采用卷绕式镀膜技术实现，现有的卷绕镀膜机结构复杂，尤其是真空腔室内布局不合理，影响镀膜生产良率及质量。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种磁控镀膜机腔罩结构，具有结构合理、镀膜效率高等优点。为达到上述目的，本技术是通过以下技术方案实现的:一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。进一步，所述机壳体靶镀区的侧壁设有多个磁控靶，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。进一步，所述机芯卷绕部分包括放卷传动组件、收卷传动组件和主辊筒，放卷传动组件和收卷传动组件对称设于主辊筒两侧:放卷传动组件包括放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊，按照薄膜输送方向，放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧；收卷传动组件包括第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收料辊，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。本技术机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，使设备上下膜及操作维护更方便。本技术具有结构合理、镀膜效率高等优点。【附图说明】图1是镀膜机示意图。图2是本技术结构图。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作进一步说明:实施例:请参阅图1及图2，一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体1，机壳体I侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体I内上部为收放区11，下部为靶镀区12，所述收放区11与靶镀区12均为弧状空间，收放区11的内径大于靶镀区12内径，靶镀区12与收放区11结合处形成向中心延伸的突台结构100，机壳体I的收放区侧壁设有深冷管2，机壳体顶部设有气流通道3。机壳体I靶镀区的侧壁设有多个磁控靶4，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。机壳体外壁设有多个抽真空用的分子泵，机壳体上还设有观察窗口 101。本技术相配合的机芯卷绕部分包括放卷传动组件5、收卷传动组件6和主辊筒7，放卷传动组件5和收卷传动组件6对称设于主辊筒7两侧:放卷传动组件5包括放料辊51、第一导辊52、放卷张力棍53、第二导棍54和第三导棍55，按照薄膜输送方向，放料棍、第一导棍、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧；收卷传动组件6包括第四导辊61、第五导辊62、收卷张力辊63、第六导辊64和收料辊65，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。本技术机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，使设备上下膜及操作维护更方便。以上所记载，仅为利用本创作
技术实现思路
的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。【主权项】1.一种磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。2.根据权利要求1所述的磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:所述机壳体靶镀区的侧壁设有多个磁控靶，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。3.根据权利要求1或2所述的磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:所述机芯卷绕部分包括放卷传动组件、收卷传动组件和主辊筒，放卷传动组件和收卷传动组件对称设于主辊筒两侧:放卷传动组件包括放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊，按照薄膜输送方向，放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侦h收卷传动组件包括第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收料辊，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。【专利摘要】本技术公开一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。本技术机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。【IPC分类】C23C14-35【公开号】CN204509451【申请号】CN201520063134【专利技术人】闫会朝, 丁磊, 李晓哲 【申请人】厦门玉通光电有限公司【公开日】2015年7月29日【申请日】2015年1月29日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于：包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫会朝，丁磊，李晓哲，
申请(专利权)人：厦门玉通光电有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35