可校正的化学感测装置制造方法及图纸

一种可校正的化学感测装置，包括感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫。感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，第一阻抗元件与第二阻抗元件各自具有第一端与第二端，其中第二阻抗元件的阻抗值不相同。第一接垫用以分别与对应的第一端与第二端耦接。数值读出电路具有第一输入端、第二输入端与输出端。第二接垫用以与对应的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。其中，透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的一感测值。

【技术实现步骤摘要】
可校正的化学感测装置
本专利技术涉及一种化学感测器，特别是一种可校正的化学感测装置。
技术介绍
一般来说，化学感测器随着待测气体或液体的浓度多寡而改变其内部的电阻或电容的物理量，在透过电阻或电容知物理量的变化来反应出所感测知气体或液体的状态。而化学感测气化学感测器常使用于一氧化碳感测器、氧气感测器或湿度感测器等，所以化学感测器的感测信号准确、功能稳定及省电上非常重要。并且，化学感测器的制作上需要透过外加的感测材料，例如金属氧化物(二氧化锡，SnO2；二氧化钨，WO2)与高分子材料(聚亚酰胺，Polyimide)。然而，在制作化学感测器上，当整片晶圆沉积金属或涂布高分子材料不均匀时，会使得化学感测器的初始值产生变异，进而使得化学感测器所输出的电阻或电容的物理量也会产生误差。因此，化学感测器的初始值的控制上仍有改善的空间。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种可校正的化学感测装置，通过校正阻抗初始值，以降低各可校正的化学感测装置之间的误差。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种可校正的化学感测装置，包括感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫。感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，第一阻抗元件与第二阻抗元件各自具有第一端与第二端，其中第二阻抗元件的阻抗值不相同。第一接垫用以分别与对应的第一端与第二端耦接。数值读出电路具有第一输入端、第二输入端与输出端。第二接垫用以与对应的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。其中，透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的感测值。在一实施例中，前述第一阻抗元件为电阻，第二阻抗元件为电容。在一实施例中，前述第一阻抗元件与第二阻抗元件为电阻。在一实施例中，前述数值读出电路为运算放大器。如在一实施例中，前述可校正的化学感测装置还包括印刷电路板。此印刷电路板具有多个第三接垫与多个连接线，其中第三接垫分别与对应的第一接垫与第二接垫耦接，连接线与对应的第三接垫耦接，以调整连接关系。在一实施例中，前述第三接垫分别与对应的第一接垫与第二接垫透过镑线方式进行耦接。本专利技术的技术效果在于：本专利技术的可校正的化学感测装置，通过配置感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫，且感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，而第二阻抗元件的阻抗值不相同，且透过第一接垫分别与对应的第一端与第二端耦接，以及透过第二接垫与对应的数值读区电路的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。接着，再透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的感测值。如此一来，可有效校正阻抗初始值，以降低各可校正的化学感测装置之间的误差。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1为本专利技术一实施例的可校正的化学感测装置的示意图；图2A为图1的可校正的化学感测装置的等效电路图的第一实施范例；图2B为图1的可校正的化学感测装置的等效电路图的第二实施范例；图3为本专利技术另一实施例的可校正的化学感测装置的另一示意图；图4A为图3的可校正的化学感测装置的等效电路图的第一实施范例；图4B为图3的可校正的化学感测装置的等效电路图的第二实施范例。其中，附图标记100、300可校正的化学感测装置110、310感测单元120、320第一阻抗元件121、131、141、151、321、331、341、351第一端122、132、142、152、322、332、342、352第二端130、140、150、330、340、350第二阻抗元件161、162、163、164、165、166、167、168第一接垫170数值读出电路171第一输入端172第二输入端173输出端181、182、183第二接垫190印刷电路板161’、162’、163’、164’、165’、166’、167’、168’、181’、182’、183’第三接垫191连接线具体实施方式下面结合附图对本专利技术的结构原理和工作原理作具体的描述：以下所列举的各实施例中，将以相同的标号代表相同或相似的元件。请参考图1所示，其为本专利技术一实施例的可校正的化学感测装置的示意图。可校正的化学感测装置100包括感测单元110、多个第一接垫(Pad)161、162、163、164、165、166、167、168、数值读出电路170、多个第二接垫181、182、183。并且，本实施例的感测单元110、多个第一接垫(Pad)161、162、163、164、165、166、167、168、数值读出电路170、多个第二接垫181、182、183可以系统晶片(SystemonChip,SOC)的方式实现。感测单元110具有第一阻抗元件120与多个第二阻抗元件130、140、150，第一阻抗元件120具有第一端121与第二端122，第二阻抗元件130具有第一端131与第二端132，第二阻抗元件140具有第一端141与第二端142，第二阻抗元件150具有第一端151与第二端152。并且，第二阻抗元件130、140、150的阻抗值彼此不相同，且阻抗值的大小例如为第二阻抗元件130>第二阻抗元件140>第二阻抗元件150。在本实施例中，第一阻抗元件120例如为电阻，而第二阻抗元件130、140、150例如为电容。第一接垫161、162、163、164、165、166、167、168用以分别与对应的第一端121、131、141、151与第二端122、132、142、152耦接。举例来说，第一接垫161耦接第一端121，第一接垫162耦接第二端122、第一接垫163耦接第一端131，第一接垫164耦接第二端132，第一接垫165耦接第一端141，第一接垫166耦接第二端142，第一接垫167耦接第一端151，第一接垫168耦接第二端152。数值读出电路170具有第一输入端171、第二输入端172与输出端173。在本实施例中，数值读出电路170例如为运算放大器，且数值读出电路170的第一输入端171例如为运算放大器的正输入端，数值读出电路170的第二输入端172例如为运算放大器的负输入端，数值读出电路170的输出端173例如为运算放大器的输出端。第二接垫181、182、183用以与对应的第一输入端171、第二输入端172与输出端173。举例来说，第二接垫181耦接第一输入端171、第二接垫182耦接第二输入端172，第二接垫183耦接输出端173。并且，透过调整第一接垫161、162、163、164、165、166、167、168与第二接垫181、182、183的连接关系，以校正感测单元110的阻抗值。在一实施例中，假设将第一接垫162(即第一阻抗元件120的第二端122)、第一接垫163(即第二阻抗元件130的第一端131)及第二接垫182(即数值读出单元170的第二输入端172)耦接，将第一接垫164(即第二阻抗元件130的第二端132)与第二接垫183(即数值读出单元170的输出端173)耦接，则可校正的化学感测装置100所形成的等效电路如图2A所示。接着，可通过耦接数值读出单元170的输出端173的第二接垫182输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可校正的化学感测装置，其特征在于，包括：一感测单元，具有一第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，该第一阻抗元件与该多个第二阻抗元件各自具有一第一端与一第二端，其中该多个第二阻抗元件的阻抗值不相同；多个第一接垫，用以分别与对应的该多个第一端与该多个第二端耦接；一数值读出电路，具有一第一输入端、一第二输入端与一输出端；以及多个第二接垫，用以与对应的该第一输入端、该第二输入端与该输出端耦接；其中，透过调整该多个第一接垫与该多个第二接垫的一连接关系，以校正该感测单元的阻抗值，并由耦接该输出端的该第二接垫输出对应该感测单元的阻抗值的一感测值。

【技术特征摘要】
2014.01.29 TW 1031035061.一种可校正的化学感测装置，其特征在于，该化学感测装置用以使初始阻抗值等于标准初始阻抗值，包括：一感测单元，具有一第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，该第一阻抗元件与该多个第二阻抗元件各自具有一第一端与一第二端，其中该多个第二阻抗元件的阻抗值不相同；多个第一接垫，用以分别与对应的该多个第一端与该多个第二端耦接；一数值读出电路，具有一第一输入端、一第二输入端与一输出端；以及多个第二接垫，用以与对应的该第一输入端、该第二输入端与该输出端耦接；其中，该化学感测装置藉由调整该多个第一接垫与该多个第二接垫的连接，以校正该化学感测装置的该初始阻抗值，当该多个第一接垫与该多个第二接垫于一连接关系中，使该化学感测装置的该初始阻抗值等于该标准初始阻抗值时，该多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘茂诚，赵晧名，周文介，吕柏纬，翁淑怡，王竣傑，
申请(专利权)人：先技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71