一种推刀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种推刀，其包括：可安装于所述推力测试机上的中心支撑杆，围绕并连接于所述中心支撑杆上的若干个外围支撑杆，分别设置于所述若干个外围支撑杆上的若干个外围推刀，外围支撑杆上还设置有贯通槽，外围推刀位于其对应的所述贯通槽内，并可以沿所述贯通槽滑动，用以实现所述外围推刀相对于所述中心支撑杆的距离改变。利用上述推刀，对于不同尺寸的晶圆，对于晶圆上不同分布类型的测试点，上述推刀均可实现一次性同时对多个测试点进行测试的目的，从而提高推力测试机的作业效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体检测
，尤其涉及一种可安装在推力测试机上的推刀。
技术介绍
目前，在LED晶圆或芯片焊线作业后需通过推力测试机进行推力测试，来确认芯粒电极附着性的强弱。现有的推力测试机上均使用单点式推力作业，人员作业效率和机台产能均较低。而在单个晶圆上通常设置多个测试点，例如5个，进行测试。因此，为了提高机台作业效率，有必要设计一种针对不同尺寸的晶圆、不同分布类型的测试点，可实现一次性对多个测试点同时进行推力测试的推刀器具。
技术实现思路
为解决上述现有推力测试机上推刀的不足，本技术提供了一种可根据晶圆尺寸的大小以及晶圆上测试点分布类型，实现一次对多处或多颗晶圆同时进行推力测试的推刀器具。本技术的技术方案为：一种推刀，应用于推力测试机，其包括：一个中心支撑杆，安装于所述推力测试机上；若干个外围支撑杆，围绕并连接于所述中心支撑杆；若干个外围推刀，分别设置于所述若干个外围支撑杆上；其中，所述外围支撑杆上设置有贯通槽，所述外围推刀位于对应的所述贯通槽内，所述外围推刀沿所述贯通槽滑动。优选的，所述外围推刀端部一侧设置有滑动件，所述滑动件位于对应的所述贯通槽内，使所述外围推刀可沿所述贯通槽滑动；所述滑动件包括固定于外围推刀上的环状结构或支架结构；所述环状结构的外径和所述支架结构的长度均大于所述贯通槽的宽度。优选的，所述支架结构的端部设置有旋紧结构，以及与所述旋紧结构匹配的螺纹结构，使所述外围推刀固定在外围支撑杆上。优选的，所述外围推刀的端部具有旋紧结构，以及与所述旋紧结构匹配的螺纹结构，使所述外围推刀固定在外围支撑杆上。优选的，所述旋紧结构的外径大于所述贯通槽的宽度，以将外围推刀固定在对应的外围支撑杆上。优选的，所述贯通槽边缘设置有刻度，用以计量外围推刀沿所述贯通槽滑动的距离。优选的，所述若干个外围支撑杆中相邻的夹角固定或可调节。优选的，所述中心支撑杆上设置有中心推刀。本技术至少包括以下有益效果：本技术通过设置多个外围推刀，可一次性对晶圆上的多个测试点进行推力测试，提高人员作业效率和机台产能；外围推刀可在外围支撑杆上滑动，针对不同尺寸的晶圆均可进行推力测试；相邻外围推刀之间的夹角可调节，实现了针对不同分布类型的测试点也可进行测试。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。图1为本技术之实施例1中固定推刀俯视图。图2为本技术之实施例1中固定推刀侧视图。图3为本技术之实施例1中设置有测试点的晶圆俯视图。图4为本技术之实施例1中带有中心推刀的固定推刀侧视图。图5为本技术之实施例1中带有中心推刀的固定推刀推动测试点时的侧视图。图6为本技术之实施例1中外围推刀的立体图。图7为本技术之实施例1中可调节式推刀俯视图。图8为本技术之实施例2中外围推刀的立体图。图9为本技术之实施例2中外围推刀的立体图。附图标注：1：中心支撑杆；2：外围支撑杆；31：外围推刀；311：环状结构；312：旋紧结构；313：螺纹结构；314：支架结构；32：中心推刀；4：贯通槽；5：刻度；6：晶圆；61：中心测试点；62：外围测试点。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的具体实施方式进行详细说明。实施例1请参看附图1和附图2，本技术提供的推刀，包括一个中心支撑杆1，安装于推力测试机(图中未示出)上；若干个外围支撑杆2，围绕并连接于中心支撑杆1；若干个外围推刀31，分别设置于若干个外围支撑杆2上，附图1和附图2中均以4个外围支撑杆2和4个外围推刀31为例；外围支撑杆2上设置有贯通槽4，外围推刀31位于对应的所述贯通槽4内，外围推刀31可以沿贯通槽4滑动，用以实现外围推刀31相对于中心支撑杆1的距离调 节。贯通槽4边缘设置有刻度5，用以计量外围推刀31在贯通槽4内滑动的距离，通过读取刻度值，以更方便地将外围推刀31滑动到设定位置。请参看附图3，目前通常在晶圆6上设置多个测试点供推力测试，常用的2寸晶圆，通常设置5个推力测试点，包括中心位置的中心测试点61，以及围绕中心测试点的外围测试点62，并且外围测试点呈十字形分布，因此，针对该种分布类型的测试点，如附图4所示，优选呈十字形的4个外围支撑杆固定在中心支撑杆上的外围，即形成固定推刀，并且在中心支撑杆上设置中心推刀32，同时对4个外围测试点62和1个中心测试点61进行推力测试。请参看附图5，目前常用的另一种4寸晶圆，通常在晶圆上设置5个推力测试点，由于外围测试点62与中心测试点61的距离相对于2寸晶圆增大，需将外围推刀31在贯通槽4内向远离中心支撑杆的方向(附图5中虚线箭头所示)滑动到设定位置并固定在外围支撑杆2上，其滑动的距离可根据贯通槽4边缘的刻度5计量。因此，为了实现外围推刀31的滑动和固定功能，请参考附图6，在外围推刀31的端部一侧设置有滑动件，本实施例中滑动件优选环状结构311，环状结构311位于其对应的贯通槽4内，环状结构311的直径大于贯通槽4的宽度，使外围推刀31可以沿贯通槽4滑动；同时，在外围推刀31的端部设置旋紧结构312及与其匹配的螺纹结构313，旋紧结构312的外径大于贯通槽4的宽度，如此，当旋紧结构312于外围推刀31的端部旋紧时，通过环状结构311和旋紧结构312，将外围推刀31卡紧在外围支撑杆2上。请参考附图7，对其他分布类型的测试点进行测试时，相邻外围支撑杆2之间的夹角的大小可调节(如附图6中虚线所示的夹角)，如此形成可调节式推刀，实现推刀的灵活运用。实施例2请参看附图8，本实施例与实施例1的区别在于，为了达到使外围推刀31在贯通槽4内滑动的目的，外围推刀31的端部一侧可设置支架结构314，支架结构314位于其对应的贯通槽4内，支架结构314的长度大于贯通槽4的宽度，使外围推刀31可以沿贯通槽4滑动。为了固定外围推刀314，外围推刀端部设置旋紧结构312及与其匹配的螺纹结构313，旋紧结构312的外径大于贯通槽4的宽度，如此当旋紧结构312于外围推刀31的端部旋紧时，通过支架结构314和旋紧结构312，将外围推刀31卡紧在外围支撑杆2上。请参看附图9，为了将外围推刀31固定在对应的贯通槽4上的设定位置，还可在支架结构314的端部设置旋紧结构312和与其匹配的螺纹结构313，旋紧结构312和螺纹结构 313各至少1个，旋紧结构312的外径大于贯通槽4的宽度，使外围推刀31可以沿贯通槽4滑动。为了稳固固定外围推刀31，请参看附图6，本实施例优选2个旋紧结构312和螺纹结构313，如此当旋紧结构312于支架结构314端部旋紧时，通过支架结构314两端的旋紧结构312和外围支撑杆2，将外围推刀31卡紧在外围支撑杆2上。应当理解的是，上述具体实施方案为本技术的优选实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种推刀，应用于推力测试机，其包括：一个中心支撑杆，安装于所述推力测试机上；若干个外围支撑杆，围绕并连接于所述中心支撑杆；若干个外围推刀，分别设置于所述若干个外围支撑杆上；其特征在于：所述外围支撑杆上设置有贯通槽，所述外围推刀位于对应的贯通槽内，并沿所述贯通槽滑动。

【技术特征摘要】
1.一种推刀，应用于推力测试机，其包括：
一个中心支撑杆，安装于所述推力测试机上；若干个外围支撑杆，围绕并连接于所述中心支撑杆；若干个外围推刀，分别设置于所述若干个外围支撑杆上；其特征在于：所述外围支撑杆上设置有贯通槽，所述外围推刀位于对应的贯通槽内，并沿所述贯通槽滑动。
2.根据权利要求1所述的一种推刀，其特征在于：所述外围推刀端部一侧设置有滑动件，所述滑动件位于对应的所述贯通槽内，使所述外围推刀沿所述贯通槽滑动。
3.根据权利要求2所述的一种推刀，其特征在于：所述滑动件包括固定于外围推刀上的环状结构或支架结构。
4.根据权利要求3所述的一种推刀，其特征在于：所述环状结构的外径和所述支架结构的长度均大于所述贯通槽的宽度。
5. 根据权利要求3所述的一种推刀，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪莹，徐胜娟，黄照明，余学志，邱树添，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34