废液回收系统技术方案

本发明专利技术提供一种废液回收系统，包括废液传输装置、控制装置、监测装置和至少两个废液接收装置；其中，所述废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道、与所述主管道连通的至少两条支管道；用于监测所述废液传输装置是否出现异常的所述监测装置设置在所述主管道上；用于在所述监测装置监测到当前传输废液的支管道出现异常后，控制所述主管道将废液传输到另一支管道中的所述控制装置与所述监测装置连接；用于接收废液的每个所述废液接收装置分别对应一个所述支管道。本发明专利技术不仅实现了对废液的回收，并通过监测装置对传输废液的支管道进行监测，当该支管道出现异常后利用备用的支管道传输废液，降低废液对环境的不良影响。

【技术实现步骤摘要】
废液回收系统
本专利技术涉及半导体工业生产废水回收技术，尤其涉及一种废液回收系统。
技术介绍
现有半导体设备厂房为了辅助化合反应程序的进行，普遍难免必须应用大量的化学溶液。在半导体生成过程中，这些溶解的化学液体在使用过后必定会残余下若干的化学废液，产生具有排放量大、污染物种类繁多、成分复杂等特点的工业生产废液，是一种处理难度较大的工业废水。由于半导体工业生产废液中含有大量的有毒物质，若将工业生产废液随意倾倒而不加以处理，直接排入地表水体中，不仅污染地表水资源，而且破坏生态环境等不良影响，因此，对半导体生成工业废液回收作为一个重要的研究课题受到广泛关注。
技术实现思路
本专利技术提供一种废液回收系统，用于对废液进行回收，降低废液对环境的不良影响。本专利技术提供的一种废液回收系统，包括：废液传输装置、控制装置、监测装置和至少2个废液接收装置；其中，所述废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道、与所述主管道连通的至少2条支管道；用于监测所述废液传输装置是否出现异常的所述监测装置设置在所述主管道上；用于在所述监测装置监测到当前传输废液的支管道出现异常后，控制所述主管道将废液传输到另一支管道中的所述控制装置与所述监测装置连接；用于接收废液的每个所述废液接收装置分别对应一个所述支管道。本专利技术提供的废液回收系统，包括废液传输装置、控制装置、监测装置和至少2个废液接收装置；其中，所述废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道、与所述主管道连通的至少2条支管道；用于监测所述废液传输装置是否出现异常的所述监测装置设置在所述主管道上；用于在所述监测装置监测到当前传输废液的支管道出现异常后，控制所述主管道将废液传输到另一支管道中的所述控制装置与所述监测装置连接；用于接收废液的每个所述废液接收装置分别对应一个所述支管道。本专利技术不仅实现了对废液的回收，而且通过监测装置对传输废液的支管道进行检测，当该支管道出现异常后利用备用的支管道传输废液，降低废液对环境的不良影响。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种废液回收系统的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种监测装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一种废液回收系统的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例一图1为本专利技术实施例一提供的废液回收系统的结构示意图，如图1所示，该废液回收系统包括：废液传输装置，该废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道11、与所述主管道11连通的至少2条支管道。本实施例中为主管道11设置2条连通的支管道，分别为支管道12和支管道13。另外，该废液回收系统还包括：控制装置2、监测装置3和至少2个废液接收装置4和5。用于监测废液传输装置是否出现异常的监测装置3设置在主管道11上；用于在监测装置3监测到当前传输废液的支管道12出现异常后，控制将主管道11中的废液切换到由另一支管道13进行传输的控制装置2与监测装置3连接；用于接收废液的废液接收装置4和废液接收装置5分别对应支管道12和支管道13。具体的，废液回收系统用于接收废液输出装置排放的废液，如半导体生产设备排放的废液。其中，废液传输装置通过主管道11与废液输出装置连接，从废液输出装置中接收排放的废液。主管道11从与自身连通的支管道中选取一个用于向废液接收装置中输送废液。本实施例中，主管道11与支管道12和支管道13连通，将废液输入到其他中一条支管道12中，通过支管道12将废液输送到与支管道12对应的废液接收装置4中。本实施例中在支管道12向废液接收装置4传输废液的过程中，另一条支管道13处于关闭状态。而当支管道12出现异常时，由控制装置2控制主管道11将废液传输到支管道13中，由支管道13将废液输送到废液接收装置5中。相应地，由控制装置2关闭支管道12。这样当正在传输废液的支管道12出现异常后，利用备用的支管道13来传输废液，保证了废液的正常回收，降低废液对环境的不良影响。为了在监测装置3监测到当前传输废液的支管道12出现异常后，由控制装置2控制主管道将废液传输到支管道13中，本实施例需要在主管道11与支管道12和支管道13的连通处，设置一个支管道切换装置6。当支管道12出现异常后，由控制装置2控制支管道切换装置6打开支管道13，关闭支管道12，这样主管道11中废液将传输到支管道13中。该支管道切换装置6可以为一个电气的双向开关。为了实现当正在传输废液的支管道12出现异常，利用备用的支管道13来传输废液，本实施例中在主管道11上设置一个监测装置3，由该监测装置3监测当前传输废液的支管道12是否出现异常。图2为本专利技术实施例提到的一种监控装置的结构示意图。该监测装置3包括：辅助管道31和液体探测头32。辅助管道31用于在当前传输废液的支管道12出现异常后，接收主管道11回流的废液。液体探测头32监测回流到辅助管道31的废液是否超出预设的液位线。具体地，辅助管道31的至少一端与主管道11连通。优选地，辅助管道31与主管道11平行设置，而辅助管道31的两端与主管道11连通，形成一个环形回路。优选地，为了使回流到辅助管道31中的流动，可以将与主管道11连通的辅助管道31的两端设计为弧形弯曲端。在支管道12出现异常后，由于废液无法输出到废液接收装置4中，这样就会由下往上不断聚集在主管道11中，逐渐进入到辅助管道31中。本实施例中，辅助管道31内设置一个液体探测头32，通过该液体探测器32来探测辅助管道31中的进入的液体的液位。本实施例中，为辅助管道31设置一个预设的液位线，该液体探测头32设置在该预设的液位线附近。辅助管道31中的废液不断上升，当废液的液位上升到预设的液位线后，液体探测头32可以监测到废液，此时该液体探测头32可以判断出当前传输废液的支管道12出现异常，不能正常向废液接收装置输送废液。可选地，监测装置3为一个流速监控传感器，在预设时间内监控到主管道11中废液的流速低于预设的门限值，或者监控到流速为零，监测装置3可以判断出支管道12出现异常，不能正常向废液接收装置输送废液。可选地，辅助管道31中接近支管道的下端与主管道11连通，而辅助管道32远离支管道的上端开口，与空气接触。辅助管道31沿着主管道11方向，向远离支管道的方向延伸。为了保证废液不溢出辅助管道31，辅助管道31的长度根据控制装置2接通支管道13的时间以及废液流速来设置。控制装置2为可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicController，简称PLC），该控制装置2与监测装置3连接，当监测装置3监测到支管道出现异常时，向控制装置2发送指示消息，由控制装置2将主管道11中传输的废液从正在输送废液的支管道12中切换到另一支管道13中。废液接收装置4和废液接收装置5可以为盛装废液的槽罐，或者盛装过相应化学品的空桶或其他相应的槽。本实施例以盛装过化学品的空桶，废液接收装置4放置在支管道12输出端的下方，废液接收装置5放置在支管道13输出端的下方。此处需要说明，用于在当前传输废液的支管道出现异常后，接收主管道回流的废液的辅助管道的设置方法以及辅助管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废液回收系统，其特征在于，包括：废液传输装置、控制装置、监测装置和至少2个废液接收装置；其中，所述废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道、与所述主管道连通的至少2条支管道；用于监测所述废液传输装置是否出现异常的所述监测装置设置在所述主管道上；用于在所述监测装置监测到当前传输废液的支管道出现异常后，控制将所述主管道中的废液切换到由另一支管道进行传输的所述控制装置与所述监测装置连接；用于接收废液的每个所述废液接收装置分别对应一个所述支管道。

【技术特征摘要】
1.一种废液回收系统，其特征在于，包括：废液传输装置、控制装置、监测装置和至少2个废液接收装置；其中，所述废液传输装置包括：与废液输出装置连接的主管道、与所述主管道连通的至少2条支管道；用于监测所述废液传输装置是否出现异常的所述监测装置设置在所述主管道上；用于在所述监测装置监测到当前传输废液的支管道出现异常后，控制将所述主管道中的废液切换到由另一支管道进行传输的所述控制装置与所述监测装置连接；用于接收废液的每个所述废液接收装置分别对应一个所述支管道；所述监测装置包括：用于在所述当前传输废液的支管道出现异常后，接收所述主管道回流的废液的辅助管道和用于监测回流到所述辅助管道的废液是否超出预设的液位线的液体探测头；所述辅助管道的两端与所述主管道连通形成回路，所述液体探测头设置在所述辅助管道内。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11