一种三甲基铝制备方法,在惰性气体保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4~5小时,然后将反应釜釜温调整至45~100℃并保持1~4小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到45~70℃并保持,在真空条件下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,在搅拌条件下加热回流,保持2~3小时;再调整解配釜釜温为85~89℃并保持、在真空度1~50mmHg下保持8~10小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至90~160℃,并在真空条件下保持30~35小时,蒸出三甲基铝。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于有机金属化合物合成
,具体涉及。
技术介绍
高纯三甲基铝等金属有机化合物,是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、化学束外延(CBE)过程中生长光电子材料的最重要、也是目前用量最大的原料,广泛应用于化合物半导体薄膜材料。纯净的三甲基铝在室温下为液体,当用于MOCVD时需要将其封装在钢瓶内,然后控制钢瓶温度,使其蒸气压达到一定值,再通过持续流动的载气,将在使用温度下气一固平衡状态气相中的三甲基铝带入MOCVD或CBE生长系统。三甲基铝的制备方法较多,但能运用到工业化的方法很少,常见的方法即采用工业三乙基铝与卤代烷进行烷基交换反应,但存在以下缺点:1)反应转化效率不高,有大量副产物产生;2)原材料成本高,作为工业化制备路线,三乙基铝价格较高,生产成本极高;3)原料易燃,存在安全隐患,三乙基铝对空气、水汽非常敏感,遇空气自燃,遇水爆炸,使用时灌装、转移、反应等过程存在安全隐患。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种工艺简单、反应平稳、易于工业化生产的三甲基铝制备方法。为实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是,,包括以下步骤:在惰性气体保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4~5小时,然后将反应釜釜温调整至45~100°C并保持1~4小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到45~70°C并保持,在真空度I?10mmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,在搅拌条件下加热回流,保持2~3小时;再调整解配釜釜温为85~89°C并保持、在真空度l~50mmHg下保持8~10小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至90~160°C,并在真空度l~30mmHg下保持30~35小时,蒸出三甲基铝。优选的,所述铝镁合金粉中铝的质量含量为30~42%,余量为镁。优选的,所述卤代烷与铝镁合金粉中铝的摩尔比为3.5?4.5:1。优选的,三正辛胺与铝镁合金粉中铝的摩尔比为I?1.3:1。优选的,所述醚类与铝镁合金粉中铝的摩尔比为4?8:1。优选的,所述醚类为乙醚、四氢呋喃或2-甲基四氢呋喃的任一种。优选的,所述齒代烷为CH3Br、CH3I或CH3Cl中的任一种。本专利技术的制备三甲基铝的反应如下:Al-Mg(alloy) +CH3X — Al (CH3) 3+MgX2 (X 为 Br、I 或 Cl)。本专利技术产生的有益效果是,与三乙基铝置换法相比,材料便宜,由于采用反应釜与解配釜的分离,未反应的合金仍在反应釜中,继续反应,总产率较高,副产物可以回收利用,几乎没有废料;安全性较好,由于反应过程中采用的原料没有自燃物质,反应过程安全,特别适合大规模工业化生产。【具体实施方式】下面结合具体实施例对本专利技术作进一步说明,但本专利技术的保护范围不限于此。实施例1 ,包括以下步骤:在氮气保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,所述醚类与铝镁合金粉中铝的摩尔比为6:1,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4.5小时,然后将反应釜釜温调整至80°C并保持2.5小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到65°C并保持,在真空度50mmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,三正辛胺与铝镁合金粉中铝的摩尔比为1.2:1,在搅拌条件下加热回流,保持2.5小时;再调整解配釜釜温为87°C并保持、在真空度25mmHg下保持9小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至120°C,并在真空度15mmHg下保持32小时,蒸出三甲基铝。所述铝镁合金粉中铝的质量含量为30%,余量为镁。所述卤代烷与铝镁合金粉中铝的摩尔比为4:1。所述醚类为四氢呋喃,所述卤代烷为CH3C1。本实施例中三甲基铝的收率为90% (按金属销计算)。实施例2 ,包括以下步骤:在氮气保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,所述醚类与铝镁合金粉中铝的摩尔比为4:1,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流5小时,然后将反应釜釜温调整至45°C并保持4小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到45°C并保持,在真空度ImmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,三正辛胺与铝镁合金粉中铝的摩尔比为1:1,在搅拌条件下加热回流,保持2小时;再调整解配釜釜温为85°C并保持、在真空度ImmHg下保持8小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至90°C,并在真空度ImmHg下保持30小时,蒸出三甲基铝。所述铝镁合金粉中铝的质量含量为35%,余量为镁。所述卤代烷与铝镁合金粉中铝的摩尔比为3.5:1。所述醚类为乙醚,所述卤代烷为CH3Br。本实施例中的三甲基铝的收率为83% (按金属销计算)。实施例3 ,包括以下步骤:在氮气保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,所述醚类与铝镁合金粉中铝的摩尔比为8:1,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4小时,然后将反应釜釜温调整至100°C并保持I小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到70°C并保持,在真空度10mmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,三正辛胺与铝镁合金粉中铝的摩尔比为1.3:1,在搅拌条件下加热回流,保持3小时;再调整解配釜釜温为89°C并保持、在真空度50mmHg下保持10小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至160°C,并在真空度30mmHg下保持35小时,蒸出三甲基铝。所述铝镁合金粉中铝的质量含量为42%,余量为镁。所述卤代烷与铝镁合金粉中铝的摩尔比为4.5:1。所述醚类为2-甲基四氢呋喃,所述卤代烷为CH3I。本实施例中的三甲基铝的收率为83% (按金属铝计算)。【主权项】1.,其特征在于,包括以下步骤:在惰性气体保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4~5小时,然后将反应釜釜温调整至45~100°C并保持1~4小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到45~70°C并保持,在真空度I?10mmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,在搅拌条件下加热回流,保持2~3小时;再调整解配釜釜温为85~89°C并保持、在真空度l~50mmHg下保持8~10小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至90~160 °C,并在真空度l~30mmHg下保持30~35小时,蒸出三甲基铝。2.如权利要求1所述的三甲基铝制备方法,其特征在于:所述铝镁合金粉中铝的质量含量为30~42%,余量为镁。3.如权利要求1所述的三甲基铝制备方法,其特征在于:所述卤代烷与铝镁合金粉中铝的摩尔比为3.5?4.5:1。4.如权利要求1所述的三甲基铝制备方法,其特征在于:三正辛胺与铝镁合金粉中铝的摩尔比为I?1.3:1。5.如权利要求1所述的三甲基铝制备方法,其特征在于:所述醚类与铝镁合金粉中铝的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种三甲基铝制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在惰性气体保护下,向反应釜中加入铝镁合金粉和醚类,在搅拌条件下滴加卤代烷,在卤代烷滴加过程中保持醚类回流;卤代烷滴加完成后,继续保持醚类回流4~5小时,然后将反应釜釜温调整至45~100℃并保持1~4小时,将醚类蒸出;再将反应釜釜温调整到45~70℃并保持,在真空度1~100mmHg下将三甲基铝与醚类的配合物蒸出;将三甲基铝与醚类的配合物转移至解配釜中,然后加入三正辛胺,在搅拌条件下加热回流,保持2~3小时;再调整解配釜釜温为85~89℃并保持、在真空度1~50mmHg下保持8~10小时,蒸出醚类;再将解配釜釜温升至90~160 ℃,并在真空度1~30mmHg下保持30~35小时,蒸出三甲基铝。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宁红锋,
申请(专利权)人:河南承明光电新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:河南;41
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