在ATE载荷板上用于RF智能自匹配的集成RF MEMS制造技术

本申请涉及在ATE载荷板上用于RF智能自匹配的集成RF MEMS。一种在测试设备中用于实现自动RF端口测试的方法，该方法包括：将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。该方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及计算机系统测试设备。
技术介绍
RF设备持续保持具有多带、多标准以及经常在单个设备上具有多于20个RF端口的高度集成化。当前使用传统手动方式来匹配这样的设备所需的时间可能是两周或三周。将此与今天的ATE大规模并行测试能力(x4、x8、甚至xl6)相结合，适当地匹配遍及多个站点的大约80个或更多的RF端口所需的时间能够轻松地超过几周。RF匹配在过去的几十年中基本保持不变。工程师通常采用将各个LC组件放置或转移到载荷板上的反复的、手动的、时间密集的方式。在每次反复后，采用VNA来测量新的匹配。重复该过程直到找到最佳匹配(通常接近50欧姆)。该方法完全不能缩放以实现满足现代工业生产过程的需求。因此存在对于下一代自动化高速测试的需求。还存在对于能够提供空前的测试时间和测试成本降低的技术的需求。
技术实现思路
在测试设备中，一种用于实现自动RF端口测试的方法，该方法包括:将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。该方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。在一个实施例中，所述测试设备包括RF电子设备。在一个实施例中，多个RF电子设备被同时测试。在一个实施例中，所述载荷板进一步包括RF MEMS阻抗匹配设备。在一个实施例中，其中所述多个RF端口的所述动态调谐是软件控制和配置的。在一个实施例中，所述载荷板进一步包括具有可调谐阻抗匹配电路的RF MEMS阻抗匹配设备。在一个实施例中，所述载荷板进一步包括以CMOS RF MEMS阻抗匹配结构实现的可编程电容元件。在一个实施例中，本专利技术被实现为一种具有计算机可读代码的非暂态计算机可读存储器，所述代码在由计算机系统执行时使得所述计算机系统实现一种用于实现自动RF端口测试的方法，所述方法包括:将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；以及针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚。所述方法进一步包括在所述被测设备上实现RF端口测试过程。以上是一个总结，因此不可避免地包括细节的简化、一般化以及省略；因此，本领域的技术人员将会理解该总结只是示意性的，并且不意为以任何方式来进行限制。如权利要求所唯一限定的那样，本专利技术的其他方面、创造性特征、以及优势将在下面给出的非限制性具体描述中明显示出。【附图说明】本专利技术以附图中的示例的方式进行说明，而不是以限制的方式进行说明，在附图中，相似标号指示相似元件。图1示出了说明本专利技术的实施例所使用的无线标准的速度/距离覆盖的图。图2示出了根据本专利技术的一个实施例的RF MEMS电路的功能框图。图3示出了根据本专利技术的一个实施例的RF MEMS电路设备的原理框图。图4示出了根据本专利技术的一个实施例的标准化目标电容的表征结果图。图5示出了根据本专利技术的一个实施例的集成到长板上的RF MEMS设备的图。图6示出了根据一个实施例的示例性计算机系统600。【具体实施方式】现在详细参照本专利技术的优选实施例，其示例在附图中示出。虽然本专利技术将结合这些优选实施例来进行描述，但应该理解的是，他们不意为将本专利技术限制在这些实施例。相反，本专利技术意为覆盖可能包括在由所附权利要求限定的本专利技术的精神和范围内的替换、修改和等效。此外，在以下对本专利技术的实施例的具体描述中展示了大量具体细节，以提供本专利技术的全面理解。然而，本领域普通技术人员应该意识到，本专利技术可在没有这些具体细节的情况下被实施。在其它示例中，为了不使本专利技术的实施例的方面产生不必要的模糊，熟知的方法、程序、组件和电路没有详细描述。符号和术语以下具体描述的一些部分在以下方面被呈现:程序、步骤、逻辑块、处理以及对计算机存储器中的数据位进行操作的其他符号表示。这些描述和表示是数据处理领域的技术人员用来将其工作的实质最有效地传达给本领域其它技术人员的方式。程序、计算机执行的步骤、逻辑块、处理等在这里且一般被设想为导向预期结果的步骤或指令的自洽序列。步骤是指那些需要的物理量的物理操作。通常，虽然不是必要地，但这些量采用能够被存储、转移、组合、比较以及以其它方式在计算机系统中操作的电信号或磁信号的形式。主要由于常见用法的原因，将这些信号称为比特位、值、元素、符号、字符、术语、数字或者类似物有时被证明是方便的。然而，应该记住的是，所有这些和类似的术语都与适当的物理量相关联，并且仅是应用于这些量的方便标签。除非从以下探讨中可以明显看出的特别说明，否则应该明白的是，贯穿本专利技术，采用术语(例如，“处理”或“访问”或“执行”或“存储”或“致使”等诸如此类)的探讨指的是计算机系统(例如，图4的计算机系统400)或类似的电子运算设备的动作和处理，其对在计算机系统的寄存器和存储器中被表示为物理(电子)量的数据进行操作并将其变换为在计算机系统存储器或寄存器或其它这样的信息存储设备、传送或显示设备中被类似表示为物理量的其它数据。本专利技术的实施例本专利技术的实施例实现了 ATE(Automatic Test Equipment，自动测试设备)载荷板上用于RF智能自匹配的集成RF MEMSo如这里所使用的那样，术语“MEMS”微机电系统(例如，设备和结构)是使用微加工技术制造的。本专利技术的实施例采用RF MEMS以在很大程度上使载荷板上使用的RF匹配过程自动化。RF匹配在过去的几十年中基本保持不变。工程师通常采用将各个LC组件放置或转移到载荷板上的反复的、手动的、时间密集的方式。在每次反复后，采用测量设备来测量新的匹配。重复该过程直到找到最佳匹配(例如，通常接近50欧姆)。对于单端口设备，该手动方法虽然麻烦，但已“足够好”，并且对于市场来说是可接受的。RF设备持续保持具有多带、多标准以及经常在单个设备上具有多于20个RF端口的高度集成化。当前使用传统手动方式来匹配这样的设备所需的时间可能是两周或三周。将此与今天的ATE大规模并行测试能力(例如，x4、x8、甚至xl6)相结合，适当地匹配遍及多个站点的大约80个或更多的RF端口所需的时间能够轻松地超过几周。本专利技术的实施例消除了在电子制造业中无法维持的传统手工匹配方式。本专利技术的实施例解决了电子制造业中的若干问题。一个这样的问题是“负上市周期”问题。随着上市周期预期缩减到只有几个月，行业不能维持如此高的TTM开销。另一这样的问题是“高产损耗”问题。遍及多个站点和多个测试者的多个端口的手动调谐导致关联问题，该关联问题导致产量损失并且增加开销。本专利技术的实施例的自动化RF匹配过程避免了这些问题。图1示出了说明本专利技术的实施例所使用的无线标准的速度/距离覆盖的图。WiFi和VoIP企业服务的爆炸性增长正向目前的情形挑战。LTE的推出正在进行中，并且对于更多服务、更高速度以及更低开销的需求生成了大量标准，如图1所示。移动通信市场是在产品和服务方面世界上最快增长的市场之一。手机市场在世界范围内有多于40亿用户。因此，净结果是多带、多标准无线设备的快速演进。随着频率带的数量、RF端口的数量、以及站点的数量的增长，载荷板复杂度以指数方式增长。尽管在ATE硬件和软件中进行了重大改进，载荷板到ATE接口的传统RF匹配在几十年中基本保持不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在测试设备中用于实现自动RF端口测试的方法，包括：将具有多个RF引脚的被测设备附接到载荷板；将所述载荷板的多个RF端口动态调谐到所述多个RF引脚；针对阻抗将所述多个RF端口自动匹配到所述多个RF引脚；以及在所述被测设备上实现RF端口测试过程。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：曾辛平，于晖，基思·肖布，葛樑，吴兴发，
申请(专利权)人：爱德万测试公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP