半导体制造设备的状态控制系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体制造设备的状态控制系统及方法。其中方法包括对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤；所述对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤具体包括对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；对所划分出的一级状态类型的优先权级别进行设置；对所划分出的一级状态类型下的半导体制造设备状态再次进行分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。所设置的塔灯状态通过半导体制造设备中的控制系统发送到塔灯，控制塔灯按当前的设备状态进行显示。增加了塔灯状态设定的灵活性，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体自动控制领域，尤其涉及一种。
技术介绍
半导体制造业是个复杂的领域，在刻蚀机进行硅片加工的过程中，机台操作人员一般不会一刻不离的在机台旁观察整个硅片传输及工艺过程，他们需要并行的进行很多其他工作或操作其他机台。这时如果某个机台发出了某些关键信号需要及时通知机台操作人员，则需要一种简单快捷的通知方式，以便他们能第一时间针对机台给出的关键信号进行相应的处理，以提闻制造效率。塔灯的作用就是在机台需要给操作人员某些信号的时候，按预定的设置进行闪烁或者蜂鸣，方便操作人员及时发现机台发出的信号，并根据发出的信号做相应的处理。塔灯所能显示的颜色一般分为红色、黄色、绿色、蓝色以及蜂鸣，针对四种颜色显示及蜂鸣器，需要在控制软件中硬性设置五种机台的状态来与其一一对应，比如红色设置为机台抛出报警、黄色表示工艺腔开始工艺等。对于各个颜色的显示，在设备开始运行之前即通过在代码中指定或者在配置文件中配置加以设定。上述塔灯状态显示的设置方法能够实现针对机台的某些状态设置塔灯相应的颜色，来提示机台操作人员机台当前的状态。其缺点是灵活性不够，当在机台进行跑片的过程中，操作人员需要将塔灯的颜色指示进行变动时，只能更新代码重新编译后重新启动控制软件或者修改配置文件后重新启动控制软件来实现。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种，其包括半导体制造设备状态显示控制子系统，及与其控制子系统所对应的控制方法，可在控制软件系统中对塔灯各颜色及蜂鸣进行灵活设置。为实现本专利技术目的提供的一种半导体制造设备的状态控制系统包括设备状态显示控制子系统；所述设备状态显示控制子系统用于对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置；所述设备状态显示控制子系统，包括第一分类模块、优先权设置模块、第二分类模块以及塔灯状态设置模块，其中:所述第一分类模块，用于对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；所述优先权设置模块，用于设置所述第一分类模块划分的各个一级状态类型的优先权级别；所述第二分类模块，用于对所述第一分类模块所划分的各个一级状态类型进行再次分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；所述塔灯状态设置模块，用于设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。较佳地，作为一种可实施方式，所述一级状态类型，包括ALARM、FA、JOB以及T00LSTATE四种半导体制造设备状态类型。较佳地，作为一种可实施方式所述四种半导体制造设备状态类型中，ALARM状态类型包括 Fatal、Error、Problem、Event、Notice 五种二级状态类型；所述四种半导体制造设备状态类型中，FA状态类型包括Disable、Enable、0FFLINE_EQUIP、0FFLINE_ATTMPT、0FFLINE_H0ST、0NLINE_L0CAL、0NLINE_REM0TE 七种二级状态类型；所述四种半导体制造设备状态类型中，JOB状态类型包括Processing、Inputffafer > OutPutffafer 三种二级状态类型；所述四种半导体制造设备状态类型中，T00LSTATE状态类型包括Aborting、Aborted、Halting、Halted、Pausing、Paused、Idle 七种二级状态类型；较佳地，作为一种可实施方式，所述二级状态类型的优先权级别与其在一级状态类型下排列顺序一致。较佳地，作为一种可实施方式，所述塔灯状态，包括红灯开、关或者闪烁，和/或黄灯开、关或者闪烁，和/或绿灯开、关或者闪烁，和/或蓝灯开、关或者闪烁，和/或蜂鸣器开或者关。基于同一专利技术构思的一种半导体制造设备的状态控制方法，包括对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤；所述对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤，包括以下步骤:对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；对所划分出的一级状态类型的优先权级别进行设置；对所划分出的一级状态类型下的半导体制造设备状态再次进行分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。较佳地，所述一级状态类型，包括ALARM、FA、JOB以及T00LSTATE四种半导体制造设备状态类型，其中:ALARM 状态类型包括 Fatal、Error、Problem、Event、Notice 五种二级状态类型；FA 状态类型包括 Disable、Enable、0FFLINE_EQUIP、0FFLINE_ATTMPT、OFFLINE,HOST、0NLINE_L0CAL、0NLINE_REM0TE 七种二级状态类型；JOB 状态类型包括 Processing、Inputffafer> OutPutffafer 三种二级状态类型；T00LSTATE 状态类型包括 Aborting、Aborted、Halting、Halted、Pausing、Paused、Idle七种二级状态类型。所述二级状态类型的优先权级别与其在一级状态类型下排列顺序一致。作为一种半导体制造设备的状态控制方法的可实施方式，所述塔灯状态显示，包括塔灯各颜色的灯的亮或者灭或者闪烁，以及蜂鸣器是否进行蜂鸣。本专利技术的有益效果包括:本专利技术提供的一种，其包括半导体制造设备状态显示控制子系统，及与其控制子系统所对应的控制方法。本专利技术可在控制软件系统中对塔灯各颜色及蜂鸣进行灵活设置，避免了在设备工作过程中对塔灯进行设置之后重启控制软件，从而操作人员可随时根据需要对设备不同状态对应的塔灯显示进行设置，并后续根据塔灯的显示进行操作，提高了工作效率。【附图说明】图1为本专利技术一种半导体制造设备的状态控制系统的一具体实施例的设备状态显示控制子系统的结构示意图；图2为本专利技术一种半导体制造设备的状态控制系统的一具体实施例的塔灯状态设置不意图；图3为本专利技术一种半导体制造设备的状态控制系统的另一具体实施例的设备状态显示控制子系统的结构示意图；图4为本专利技术一种半导体制造设备的状态控制方法的一具体实施例的对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置流程示意图。【具体实施方式】为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本专利技术实施例的的【具体实施方式】进行说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术实施例的半导体制造设备的状态控制系统，包括设备状态显示控制子系统100 ；所述设备状态显示控制子系统用于对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置。此处需要说明的是，所述设备状态显示控制子系统在半导体制造设备的状态控制系统之中，通过所述半导体制造设备的状态控制系统的其他部分接收制造设备所处的状态信息，并通过所述半导体制造设备的状态控制系统的另一部分将所述设备状态显示控制子系统所置的塔灯显示效果发送到塔灯，控制塔灯按当前设备状态进行显示，从而达到对塔灯进行实时设置。较佳地，作为一种可实施方式，所述设备状态显示控制子系统，如图1所示，包括第一分类模块110、优先权设置模块120、第二分类模块130以及塔灯状态设置模块140，其中:当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体制造设备的状态控制系统，其特征在于，包括设备状态显示控制子系统；所述设备状态显示控制子系统用于对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置；所述设备状态显示控制子系统，包括第一分类模块、优先权设置模块、第二分类模块以及塔灯状态设置模块，其中：所述第一分类模块，用于对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；所述优先权设置模块，用于设置所述第一分类模块划分的各个一级状态类型的优先权级别；所述第二分类模块，用于对所述第一分类模块所划分的各个一级状态类型进行再次分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；所述塔灯状态设置模块，用于设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振华，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11