可剥胶组合物及可剥胶带制造技术

一种可剥胶组合物，其包括：(A)丙烯酸酯系共聚合物、(B)辐射固化寡聚物、辐射固化单体或其组合以及(C)光引发剂，其中所述(C)光引发剂为胺酮系光引发剂且以所述(B)辐射固化寡聚物、辐射固化单体或其组合的总量为100重量份计，所述(C)光引发剂的用量为1～30重量份。另提出一种包括可剥胶组合物的可剥胶带。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可剥胶组合物及可剥胶带，且特别涉及一种紫外线硬化型可剥胶 组合物及包括上述可剥胶组合物的可剥胶带。
技术介绍
在半导体工艺中，将晶圆上的元件制作完成之后，需对晶圆进行切割W形成多个 晶片。切割胶带于此工艺中将晶圆牢固地固定于承载装置上，并于晶圆切割后，使晶片可轻 易地从胶带上被拾起。 紫外线硬化型可剥胶带（UV州r油lepeel油lea化esivetape)为半导体产业的 常见的一种切割胶带。所述紫外线硬化型可剥胶带需满足W下几点需求。首先，胶带具有 强粘着力W固定晶圆，即使是小尺寸晶圆也不会发生位移或剥除的问题，使切割作业能确 实进行。其二，紫外线扣V)照射后粘着力可大幅降低，并于晶圆切割后，即使是大尺寸晶片 也能轻松地拾起。其H，胶带不会对晶圆造成污染。其四，不会因紫外线照射造成胶带伸缩 性不佳的问题，亦即胶带需具有充分地延展性能够防止晶片因接触而破损的问题发生。其 五，胶带适用于高速切割技术。因此，半导体业者积极寻求各种可剥胶的配方，W满足上述 种种需求。
技术实现思路
本专利技术提出一种可剥胶组合物及包括所述可剥胶组合物的可剥胶带，所述胶带在 UV照射前粘着力高，即接着性佳，并于UV照射后粘着力低且剥除后不产生残胶，亦即剥离 性佳。[000引本专利技术提出一种可剥胶组合物，其包括；(A)丙帰酸醋系共聚合物 (acirlic-based copolymer)，具有选自由丙帰酸醋单体单元及甲基丙帰酸醋单体单元所 组成的族群中的至少一种单体单元、炬）福射固化寡聚物（radiation州r油le oligomer)、 福射固化单体或其组合W及（C)光引发剂，其中所述（C)光引发剂为胺丽系光引发剂 (aminoketone-based photoinitiator)且W所述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其 组合的总量为100重量份计，所述（C)光引发剂的用量为1~30重量份。 在本专利技术的一实施例中，上述似光引发剂选自由2-苯甲基-2-二甲基胺 基-1-(4-吗晰基苯基）-下丽-1、2-甲基-1-2-吗晰基丙-1-丽及 2- (4-甲基予基）-2-(二甲基胺基）1- (4-吗晰-4基-苯基）-1-下丽所组成的族群中的至 少一种。 在本专利技术的一实施例中，W上述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合的 总量为100重量份计，所述似光引发剂的用量为5~20重量份。 在本专利技术的一实施例中，还包含值）架桥剂，W上述（A)丙帰酸醋系共聚合物为 100重量份计，所述做架桥剂的用量为等于或小于5重量份。 在本专利技术的一实施例中，上述（A)丙帰酸醋系共聚合物中，丙帰酸醋单体单元的 丙帰酸醋单体包含；丙帰酸甲醋、丙帰酸己醋、2-羟基己基丙帰酸醋、丙基庚基丙帰酸醋、 丙帰酸苯醋、丙帰酸下醋、丙帰酸-4-羟基下醋、丙帰酸-2-己基己基醋、异冰片丙帰酸醋、 其衍生物或其组合；甲基丙帰酸醋单体单元的甲基丙帰酸醋单体包含：甲基丙帰酸甲醋、 甲基丙帰酸己醋、甲基丙帰酸-2-轻己醋、甲基丙帰酸下醋、甲基丙帰酸-2-己基己基醋、甲 基丙帰酸苯醋、异冰片甲基丙帰酸醋、其衍生物或其组合。 在本专利技术的一实施例中，上述（A)丙帰酸醋系共聚合物的重量平均分子量为 2. OXl〇5 至 10. 〇Xl〇5。 在本专利技术的一实施例中，上述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合包含 炬1)福射固化寡聚物，所述炬1)福射固化寡聚物包括具有胺基甲酸醋、聚醋、聚離、聚碳酸 醋或聚下二帰骨架化ac化one)的丙帰酸醋寡聚物，且所述炬1)福射固化寡聚物的重量平 均分子量为100至30, 000。 在本专利技术的一实施例中，上述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合包含 炬1)福射固化寡聚物，所述炬1)福射固化寡聚物为重量平均分子量为2, 000至10, 000的 尿素-丙帰酸醋寡聚物。 在本专利技术的一实施例中，上述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合包含 炬2)福射固化单体，所述炬2)福射固化单体包括；多元醇（甲基）丙帰酸醋，其包含H轻 甲基丙焼H (甲基）丙帰酸醋（TMPT(M)A)、四轻甲基丙焼四（甲基）丙帰酸醋、季戊四醇H (甲基）丙帰酸醋、季戊四醇四（甲基）丙帰酸醋、二季戊四醇单羟基五（甲基）丙帰酸醋、 二季戊四醇六（甲基）丙帰酸醋、1,4-了二醇二甲基丙帰酸醋炬孤A)、四己二醇二甲基丙 帰酸醋、1，6-己二醇（甲基）丙帰酸醋或新戊二醇二（甲基）丙帰酸醋；醋类丙帰酸醋寡 聚物；或异氯尿酸类化合物，其包含2-丙帰基-3-下帰氯尿酸醋或H (甲基丙帰酸己基） 异氯酸醋。在本专利技术的一实施例中，上述炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合，包 括：炬1)福射固化寡聚物W及炬2)福射固化单体，W上述炬）福射固化寡聚物、福射固化 单体或其组合的总量为100重量份计，所述炬2)福射固化单体的用量范围为5重量份至80 重量份。在本专利技术的一实施例中，W上述（A)丙帰酸醋系共聚合物为100重量份计，上述 炬）福射固化寡聚物、福射固化单体或其组合的总量范围为50重量份至200重量份。本专利技术提出一种可剥胶组合物，其包括；(A)丙帰酸醋系共聚合物，具有选自由丙 帰酸醋单体单元及甲基丙帰酸醋单体单元所组成之群组中的至少一种单体单元；W及炬） 福射固化寡聚物及福射固化单体或的组合，包括：炬1)福射固化寡聚物W及炬2)福射固化 单体，所述炬2)福射固化单体的用量占所述炬）福射固化寡聚物及福射固化单体的组合的 总量的5%~80%且所述炬）福射固化寡聚物及福射固化单体的组合的总量与所述（A)丙 帰酸醋系共聚合物的比值范围为0. 5~2。在本专利技术的一实施例中，上述炬2)福射固化单体的用量占所述炬）福射固化寡聚 物及福射固化单体的组合的总量的5%~60%。在本专利技术的一实施例中，还包含（C)光引发剂，W上述炬）福射固化寡聚物及福射 固化单体的组合的总量为100重量份计，上述（C)光引发剂的用量为1~30重量份。 在本专利技术的一实施例中，上述（C)光引发剂选自由苯基丽系光引发剂及胺丽系光 引发剂所组成的群组中的至少一种。 在本专利技术的一实施例中，上述胺丽系光引发剂选自由2-苯甲基-2-二甲基胺 基-1-(4-吗晰基苯基）-下丽-1、2-甲基-1-2-吗晰基丙-1-丽及 2- (4-甲基予基）-2-(二甲基胺基）1- (4-吗晰-4基-苯基）-1-下丽所组成的群组中的至 少一种。 在本专利技术的一实施例中，上述苯基丽系光引发剂为1-羟基环己基苯基丽。 在本专利技术的一实施例中，上述（A)丙帰酸醋系共聚合物的重量平均分子量为 2. OXl〇5 至 10. 〇Xl〇5。 本专利技术另提出一种可剥胶带，其包括支持层W及粘着层。粘着层位于支持层上方， 其中所述粘着层包括如上所述的可剥胶组合物。 在本专利技术的一实施例中，上述支持层的材料选自玻璃、金属铅片、塑胶及硅胶其中 之一。 在本专利技术的一实施例中，上述支持层的材料为塑胶，所述塑胶包含聚帰姪类、聚醋 类、聚亚醜胺或聚氯己帰。 基于上述，在本专利技术的可剥胶组合物中，控制（A)丙帰酸醋系共聚合物、做福射 固化寡聚物、福射固化单体或其组合、W及（C)光引发剂的用量范围，可使胶带在UV照射前 粘着力局而UV照射后粘着力低。 为让本专利技术的上述特征和优点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可剥胶组合物，其特征在于，包括：(A)丙烯酸酯系共聚合物，具有选自由丙烯酸酯单体单元及甲基丙烯酸酯单体单元所组成的族群中的至少一种单体单元；(B)辐射固化寡聚物、辐射固化单体或其组合；以及(C)光引发剂，其中所述(C)光引发剂为胺酮系光引发剂且以所述(B)辐射固化寡聚物、辐射固化单体或其组合的总量为100重量份计，所述(C)光引发剂的用量为1～30重量份。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朱品茜，李中斌，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71