石英坩埚切割装置制造方法及图纸

技术编号:11615858 阅读:143 留言:0更新日期:2015-06-17 15:32
本实用新型专利技术公开了一种用于切割碳/碳复合材料坩埚内石英坩埚的切割装置,其特征是它包括安装在碳/碳复合材料坩埚开口端面的环形定位座,环形定位座上安装有导轨支座,导轨支座上设有与碳/碳复合材料坩埚内壁形状一致的弯曲导轨,导轨支座上设有可在弯曲导轨上移动的移动组件,所述移动组件上设有包括至少1片圆盘锯片的切割机,所述圆盘锯片的轴心运行轨迹与弯曲导轨的中心线相同,本实用新型专利技术结构简单,操作方便,通过锯片将石英坩埚切割出一条贯通坩埚端口至坩埚底部中心的槽,切割完成以后只要轻轻敲打石英坩埚,就能够将石英坩埚打碎并使之掉落,大大减轻了操作人员的劳动强度,有效地减轻了去除石英埚残体时对碳/碳复合材料坩埚的损伤,延长了碳/碳复合材料坩埚的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种高温炉用工装,具体地说是一种石英坩祸切割装置,特别是涉及一种用于切割碳/碳复合材料坩祸内石英坩祸的切割装置。
技术介绍
单晶炉拉制单晶硅棒时,由于炉内温度高达1500°C左右,放置于碳/碳复合材料坩祸内的石英坩祸变软,要靠外面的碳/碳复合材料坩祸承托。由于石英坩祸是一次性工装,必须逐炉更换,当碳/碳复合材料坩祸为整体或整圆结构时,拉晶时的整棒率和成晶率较高,但是,出炉冷却以后,石英坩祸与碳/碳复合材料坩祸的内壁贴得很紧,破碎非常困难,如去除方法不当,甚至损坏碳/碳复合材料坩祸。为此,专利号为201120281366.2,专利技术名称为方便清理石英坩祸残体的碳/碳复合材料坩祸的专利公开了一种在碳/碳复合材料坩祸的祸体上开设有导热冷却槽,导热冷却槽为通槽。导热冷却槽的设立在加热时有利于热的传导,在冷却时又有利于石英坩祸的局部裸露部位冷却较快而脆化,以方便对石英坩祸的去除。但由于单晶炉冷却时是密封的,炉膛冷却速度本来就很慢,开槽对石英坩祸冷却加快的作用非常有限。在实际应用中,效果并不理想。专利号为201120182570.9,专利技术名称为炭素材料组合坩祸的专利公开了一种包括由碳/碳复合材料或石墨材料制备的祸体,所述的祸体包括祸筒、祸碗,所述的祸筒为圆筒状,所述的祸碗为2瓣?4瓣,使用时,吊起祸筒,使祸筒与祸碗分离,因祸碗由多瓣组成,很容易的将祸碗与石英坩祸残体分离。但其多瓣结构仅靠其底锥面与祸托的内锥面配合而成为一体,多瓣结构坩祸的圆度不佳,且在使用过程中,其圆度还有可能发生变化,影响拉晶环境的稳定,整棒率和成晶率均受到影响,导致企业生产成本增加。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于切割碳/碳复合材料坩祸内石英坩祸的切割 目.ο本技术是采用如下技术方案实现其专利技术目的的,一种石英坩祸切割装置,它包括安装在碳/碳复合材料坩祸开口端面的环形定位座,环形定位座上安装有导轨支座,导轨支座上设有与碳/碳复合材料坩祸内壁形状一致的弯曲导轨,导轨支座上设有可在弯曲导轨上移动的移动组件,所述移动组件上设有包括至少I片圆盘锯片的切割机,所述圆盘锯片的轴心运行轨迹与弯曲导轨的中心线相同。为方便调节圆盘锯片的径向、轴向的切割深度,以弥补圆盘锯片的磨损,本技术环形定位座上安装有水平导轨,水平导轨上设有可在水平导轨上滑动的轴向调节滑块、径向调节滑块,导轨支座通过轴向调节螺母、轴向调节螺杆与轴向调节滑块连接,径向调节滑块通过径向调节螺母、径向调节螺杆与环形定位座连接;所述导轨支座与径向调节滑块通过垂直导轨连接,导轨支座与径向调节滑块均可在垂直导轨上滑动。本技术的另外一种调节方式,是在环形定位座上安装有水平导轨,水平导轨上设有可在水平导轨上滑动的径向调节滑块,径向调节滑块通过径向调节螺母、径向调节螺杆与环形定位座连接;径向调节滑块上设有轴向调节安装板,导轨支座通过轴向调节螺母、轴向调节螺杆与轴向调节安装板连接;所述导轨支座与径向调节滑块通过垂直导轨连接,导轨支座与径向调节滑块均可在垂直导轨上滑动。本技术的另外一种调节方式,是在环形定位座上安装有连接件,导轨支架上设有支架连接件,连接件与支架连接件上设有相互对应的调节孔,所述调节孔的中心线与水平面成45°角,带有调节螺母的调节螺杆安装在导向孔中,与支架连接件固定连接,与连接件滑动配合。为使调节准确,本技术连接件与支架连接件上设有相互对应的导向孔,所述导向孔的中心线与水平面成45°角,导向轨安装在导向孔中,与连接件固定连接,与支架连接件滑动配合。为确保移动组件在弯曲导轨上滑动,本技术所述移动组件上设有用于卡在弯曲导轨上的卡槽,所述移动组件的卡槽可在弯曲导轨上滑动。为减少移动组件滑动时的摩擦,本技术所述卡槽上安装有滚珠轴承,使卡槽与弯曲导轨的接触面之间的摩擦为滚动摩擦。本技术所述环形定位座上设有与碳/碳复合材料坩祸开口端面配合的台阶,环形定位座通过锁紧螺栓安装在碳/碳复合材料坩祸上。为环保,防止切割时产生的粉尘污染环境,本技术所述环形定位座上设有密封盖。由于采用上述技术方案,本技术较好的实现了专利技术目的,其结构简单,操作方便,通过锯片将石英坩祸切割出一条贯通坩祸端口至坩祸底部中心的槽,同时,由于能够准确控制切割深度,能切穿石英坩祸而不伤及碳/碳复合材料坩祸,切割完成以后只要轻轻敲打石英坩祸,就能够将石英坩祸打碎并使之掉落,大大减轻了操作人员的劳动强度,有效地减轻了去除石英祸残体时对碳/碳复合材料坩祸的损伤,延长了碳/碳复合材料坩祸的使用寿命。【附图说明】图1是本技术实施例1的结构示意图;图2是图1的俯视图;图3是本技术实施例3的结构示意图;图4是图3的俯视图;图5是本技术实施例5的结构示意图;图6是图5的俯视图;图7是本技术实施例7的结构示意图;图8是图7的俯视图。【具体实施方式】下面结合附图及实施例对本技术作进一步说明。实施例1:由图1、图2可知,一种石英坩祸切割装置,它包括安装在碳/碳复合材料坩祸11开口端面的环形定位座8,环形定位座8上安装有导轨支座7,导轨支座7上设有与碳/碳复合材料坩祸11内壁形状一致的弯曲导轨13,导轨支座7上设有可在弯曲导轨13上移动的移动组件9,所述移动组件9上设有包括至少I片圆盘锯片10的切割机,所述圆盘锯片10的轴心运行轨迹与弯曲导轨13的中心线相同。为确保移动组件9在弯曲导轨13上滑动,本技术所述移动组件9上设有用于卡在弯曲导轨13上的卡槽,所述移动组件9的卡槽可在弯曲导轨13上滑动。为减少移动组件9滑动时的摩擦,本技术所述卡槽上安装有滚珠轴承,使卡槽与弯曲导轨13的接触面之间的摩擦为滚动摩擦。本技术所述环形定位座8上设有与碳/碳复合材料坩祸11开口端面配合的台阶,环形定位座8通过锁紧螺栓15安装在碳/碳复合材料坩祸11上。为环保,防止切割时产生的粉尘污染环境,本技术所述环形定位座8上设有密封盖。本实施例环形定位座8上设有与碳/碳复合材料坩祸11开口端面和外圆面配合的台阶,导轨支座7通过连接块17固定安装在环形定位座8上,所述导轨支座7为“匚”形,移动组件9通过卡槽安装在导轨支座7的两根弯曲导轨13之间;为简单,切割机采用单片圆盘锯片10的手持切割机。工作时,先将移动组件9移动到弯曲导轨13的上端并固定,将已经去掉残余硅料、内部附有石英坩祸12,且开口朝上的碳/碳复合材料坩祸11平稳放置于工作台或者地面,将环形定位座8通过与碳/碳复合材料坩祸11开口端面和外圆面配合的台阶,安装在碳/碳复合材料坩祸11上,拧紧锁紧螺栓15 ;然后,接通手持切割机的电源,轻轻放下移动组件9,手持切割机开始切割石英坩祸12,再盖上密封盖;移动组件9在自身重力的作用下沿弯曲导轨13自动向下移动,将石英坩祸12切出一条贯通碳/碳复合材料坩祸11开口至底部中心的长槽。待切到碳/碳复合材料坩祸11的祸底时,关掉电源,卸掉环形定位座8,轻轻敲打石英坩祸12使之碎裂,并倒出碎裂的石英坩祸12残体。本技术结构简单,操作方便,减轻了工人的劳动强度,同时有效地减轻了去除石英祸残体时对碳/碳复合材料坩祸的损伤,延长了碳/碳复合材料坩祸的使用寿命。实施例2:为更好地去除石英祸本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种石英坩埚切割装置,其特征是它包括安装在碳/碳复合材料坩埚开口端面的环形定位座,环形定位座上安装有导轨支座,导轨支座上设有与碳/碳复合材料坩埚内壁形状一致的弯曲导轨,导轨支座上设有可在弯曲导轨上移动的移动组件,所述移动组件上设有包括至少1片圆盘锯片的切割机,所述圆盘锯片的轴心运行轨迹与弯曲导轨的中心线相同。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:廖寄乔刘学文李军王跃军
申请(专利权)人:湖南金博复合材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:湖南;43

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