卧式旋转柱靶制造技术

一种卧式旋转柱靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动，新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。

【技术实现步骤摘要】

本技术主要涉及一种玻璃镀膜设备，尤其是一种卧式旋转柱靶。
技术介绍
传统镀膜机，磁控溅射多使用平面靶和立式旋转柱靶。平面靶的优点在于设计安装相对简单，属于固定式安装。但其靶材浪费较严重，一般平面靶材的利用率仅有30%左右。立式旋转柱靶可极大的提高靶材的利用率，但由于涉及到传动机构和动密封，设计安装相对复杂一些。对于中高温太阳能集热管，由于需要镀膜的管子长4m以上，为保证镀膜质量，镀制所需要的靶长至少需要5~6m。这样长的靶如采用传统的立式旋转结构，受设备和厂地限制，很难实现，只有采用卧式。而卧式靶如果不旋转，就类似于普通的平面靶，不可避免地造成平面靶材的浪费。对于中高温太阳能集热管来说，靶材直接关系到其吸收率发射率指标，是决定最终使用性能的关键因素之一。加之靶材本身价格较昂贵，因此采用合理的结构，最大限度地提高靶材的利用率，就要采用旋转柱状靶。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料的卧式旋转柱靶。为解决上述技术问题，本技术提供一种卧式旋转靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。本技术改进有，所述主动轴通过第一齿轮副带动同步轴转动。本技术改进有，所述同步轴通过第二齿轮副带动靶材转动。本技术改进有，所述支撑件包括支撑架及支撑轮，所述支撑架为V形，支撑轮可转动的设置在V形的两边。本技术改进有，所述所述支撑轮的材质为陶瓷。本技术改进有，所述磁流体靠进靶材端部位置设置有冷水套。本技术的有益效果具体如下：新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。附图说明附图1为本技术的卧式旋转靶的结构示意图；附图2为本技术的卧式旋转靶的支撑件的结构示意图。标号说明：1-真空腔体；    2-电机；    3-主动轴；    4-动密封件；    5-第一齿轮副；    6-第二齿轮副；    7-同步轴；    8-磁流体；    9-靶材；    10-支撑件；    101-支撑架；    102-支撑轮。具体实施方式为详细说明本技术的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。请参阅附图1，附图所示本技术提供一种卧式旋转靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体1及电机2，所述电机2固定在真空腔体1外，电机2的主动轴3伸入真空腔体1，并通过动密封件4与真空腔体1相连，所述真空腔体1内设置有同步轴7、靶材9、支撑件10及磁流体8，所述靶材9的两端分别于磁流体相连，所述靶材9的中部由支撑件10支撑，所述同步轴7由主动轴3带动转动，同步轴7的转动带动靶材9转动。正常使用时，首先启动电机2，电机2在本实施例中不做限制，可以是步进电机、伺服电机等，电机2在转动时，带动主动轴3转动，电机2的驱动轴与主动轴3之间通过联轴器相连，其是绝缘连接，主动轴3通过密封件与真空腔体1的侧壁相连，保证了主动轴3在转动的过程中也不会有空气从主动轴3与侧壁的连接处进入真空腔体1内。主动轴3通过第一齿轮副5带动同步轴7转动，第一齿轮副5包括第一主动轮及第一从动轮，所述第一主动轮与第一从动轮啮合，第一主动轮固定在主动轴3上，第一从动轮固定在同步轴7上，具体的，通过键连接实现两者的固定，当主动轮转动时，带动第一主动轮同步转动，通过第一从动轮带动同步轴7转动，主动轴3与第一齿轮副5保持绝缘。所述同步轴7通过第二齿轮副6带动靶材9转动，第二齿轮副6包括两对第二主动齿轮及第二从动齿轮，具体的，第二主动齿轮设置在同步轴7的两端，第二从动齿轮设置在靶材9的两端，当电机2带动同步轴7转动时即会带动第二主动齿轮的转动，同时带动靶材9的转动，靶材9的长度在5-6m，旋转速度一般控制为0.25转/分～2转/分，通过将第二齿轮副6将主动力同步传动到靶的两端，保证两端同步。由于靶材9的长度较长，为了解决长靶的挠度问题，本实施例中设置有支撑件10，所述支撑件10包括支撑架101及支撑轮102，所述支撑架101为V形，支撑轮102可转动的设置在V形支撑架的两边，这种结构是因为支撑的那部分靶材9也需要溅射，所以支撑件10必须是开放式的，不能遮挡靶材9的溅射部分。又因靶本身是带电的，支撑件10需要与其绝缘，本设计中在靶材9的下部采用一对耐高温陶瓷滚珠，可随靶材9的旋转一起旋转，减少摩擦的同时，也不影响靶材9溅射，当然，其他实施例中，所述支撑轮也可以是橡胶轮等，同样能实现靶材的转动。靶材9的两端采用磁流体8密封，磁流体8采用的是真空动密封（磁流体8的支撑通过陶瓷件与真空腔体1绝缘），磁流体8密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体8注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。磁流体8密封装置的功能是把旋转运动传递到密封容器内，磁流体8为较好的真空动密封件4，其漏率可达1×10-10Pa·L/s，无磨损，长寿命，极限真空度10-6Pa，只是其工作温度不能太高。一般情况下为保证磁流体8正常工作，温度不能超过80℃。而靶由于进行磁控溅射，瞬间温度可达1000℃以上，因此必须对磁流体8进行冷却，本实施例中，在磁流体8靠近靶材9端部的位置加冷水套，对磁流体8进行冷却。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卧式旋转柱靶，其特征在于，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。

【技术特征摘要】
1.一种卧式旋转柱靶，其特征在于，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。
2. 根据权利要求1所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述主动轴通过第一齿轮副带动同步轴转动。
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【专利技术属性】
技术研发人员：王静，朱磊，杨兴，张磊，安德吉，曹明刚，
申请(专利权)人：沧州天瑞星光热技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13