公开一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括炉膛和炉膛顶部进行密封的上炉盖，所述的上炉盖的中心设置上炉盖口，所述的上炉盖口设置磁流体，所述的磁流体的内径设置与所述的上炉盖口的内径相同，所述的磁流体通过法兰与所述的上炉盖口固定，设置籽晶杆穿过所述的磁流体和上炉盖口并伸入所述的炉膛，所述的籽晶杆设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带与晶转电机连接，设置可以上下运动的晶升机构，所述的晶升机构上设置通孔，在所述的通孔周围对称布置至少两个的称重传感器，所述的籽晶杆安装在所述的称重传感器上，并穿过所述的通孔，所述的晶升机构设置晶升电机和晶升丝杆，所述的晶升电机带动所述的晶升丝杆旋转，从而带动所述的晶升机构升降。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及泡生法蓝宝石晶体制造领域，尤其涉及一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，同时可适用于其他相似领域。
技术介绍
由于蓝宝石晶体的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度激光镜片材料及掩模材料上。目前超尚壳度白/蓝光LED的品质取决于氣化嫁外延(GaN)的材料品质，而氣化嫁外延品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3)C面II1- V和I1- VI族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN外延工艺中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。目前最成熟的生长大尺寸低应力无缺陷蓝宝石晶体的技术仍然还是泡生法。泡生法蓝宝石长晶炉发展比较成熟，从设备结构到控制方法都发展完备，但是还存在晶体重量测量不准的弊端，其误差来源就在于上炉盖的开口的气密结构。目前上炉盖的开口的气密采用的是波纹管结构。波纹管结构即能够保证气密的可靠性，又能够在籽晶杆上下运动过程随之上下伸缩，因此是目前长晶炉普遍采用的结构方式。但是由于波纹管的上下伸缩，导致拉伸力的变化，给称重带来误差。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利主要目的在于提供一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，去除晶体称重环节中的误差。(二)技术方案为达到上述目的，本专利提供一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括用于设置热场和坩祸的炉膛，所述的炉膛顶部设置密封的上炉盖，所述的上炉盖的中心设置上炉盖口，所述的上炉盖口设置磁流体，所述的磁流体的内径设置与所述的上炉盖口的内径相同，所述的磁流体通过法兰与所述的上炉盖口固定，设置籽晶杆穿过所述的磁流体和上炉盖口并伸入所述的炉膛，所述的籽晶杆末端设置籽晶夹头，所述的籽晶杆设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带与晶转电机连接，设置可以上下运动的晶升机构，所述的晶升机构上设置通孔，在所述的通孔周围对称布置至少两个的称重传感器，所述的籽晶杆安装在所述的称重传感器上，并穿过所述的通孔。所述的晶升机构设置晶升电机和晶升丝杆，所述的晶升电机带动所述的晶升丝杆旋转，从而带动所述的晶升机构升降。(三)有益效果从上述技术方案可以看出，本专利具有以下有益效果:1、实现炉膛与外界的真空密封；2、允许籽晶杆上下运动，并且不增加晶体称重误差。【附图说明】图1为泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统的结构示意图。【具体实施方式】下面结合具体的实施实例对本技术作进一步展开说明，但需要指出的是，本技术所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本专利技术所要求保护的范围之内。请参阅图1，一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括用于设置热场2和坩祸的炉膛1，所述的炉膛I设置为圆筒形，顶部设置密封的上炉盖4，所述的上炉盖4的中心设置上炉盖口 3。为了能够将三氧化二铝原料熔化，需要在所述的炉膛I内制造出接近2100°C的高温环境，并且为了保证蓝宝石晶体的质量需要在所述的炉膛I内形成高真空环境。因此，在所述的上炉盖口 3设置磁流体5，所述的磁流体5的内径设置与所述的上炉盖4 口 3的内径相同，所述的磁流体5通过法兰与所述的上炉盖4 口 3固定，设置籽晶杆6穿过所述的磁流体5和上炉盖口 3并伸入所述的炉膛I，所述的籽晶杆6末端设置籽晶夹头。所述的籽晶夹头可用于绑定籽晶，用于生长蓝宝石晶体。所述的籽晶杆6设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带8与晶转电机7连接。所述的晶转电机7旋转可带动所述的籽晶杆6旋转，用于控制晶体的生长。设置可以上下运动的晶升机构11。所述的晶升机构11设置晶升电机10和晶升丝杆12，所述的晶升电机10带动所述的晶升丝杆12旋转，从而带动所述的晶升机构11升降。所述的晶升机构11上设置通孔13，在所述的通孔13周围对称布置至少两个的称重传感器12，所述的籽晶杆6安装在所述的称重传感器12上，并穿过所述的通孔13。在蓝宝石晶体生长过程中，所述的籽晶杆6作为基础负载，再加上晶体重量均匀的分布在所述的称重传感器12上，将每个称重传感器12测得的重量相加，并减去所述的籽晶杆6的重量就可以获得晶体的实际重量。综上所述，在所述的上炉盖口 3设置进行气密作用的磁流体5，即实现炉膛I与外界的真空密封，又允许籽晶杆6的上下运动，去除了传统的波纹管结构，避免了晶体称重的额外误差。【主权项】1.泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括用于设置热场和坩祸的炉膛，所述的炉膛顶部设置密封的上炉盖，所述的上炉盖的中心设置上炉盖口，其特征在于:所述的上炉盖口设置磁流体，所述的磁流体的内径设置与所述的上炉盖口的内径相同，所述的磁流体通过法兰与所述的上炉盖口固定，设置籽晶杆穿过所述的磁流体和上炉盖口并伸入所述的炉膛，所述的籽晶杆末端设置籽晶夹头，所述的籽晶杆设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带与晶转电机连接，设置可以上下运动的晶升机构，所述的晶升机构上设置通孔，在所述的通孔周围对称布置至少两个的称重传感器，所述的籽晶杆安装在所述的称重传感器上，并穿过所述的通孔。2.根据权利要求1所述的泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，其特征在于:所述的晶升机构设置晶升电机和晶升丝杆，所述的晶升电机带动所述的晶升丝杆旋转，从而带动所述的晶升机构升降。【专利摘要】公开一种泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括炉膛和炉膛顶部进行密封的上炉盖，所述的上炉盖的中心设置上炉盖口，所述的上炉盖口设置磁流体，所述的磁流体的内径设置与所述的上炉盖口的内径相同，所述的磁流体通过法兰与所述的上炉盖口固定，设置籽晶杆穿过所述的磁流体和上炉盖口并伸入所述的炉膛，所述的籽晶杆设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带与晶转电机连接，设置可以上下运动的晶升机构，所述的晶升机构上设置通孔，在所述的通孔周围对称布置至少两个的称重传感器，所述的籽晶杆安装在所述的称重传感器上，并穿过所述的通孔，所述的晶升机构设置晶升电机和晶升丝杆，所述的晶升电机带动所述的晶升丝杆旋转，从而带动所述的晶升机构升降。【IPC分类】C30B17-00, C30B29-20【公开号】CN204385327【申请号】CN201520000306【专利技术人】刘瑜, 邢明, 杜慧江 【申请人】杭州晶一智能科技有限公司【公开日】2015年6月10日【申请日】2015年1月3日本文档来自技高网...
【技术保护点】
泡生法蓝宝石自动长晶设备的精确称重系统，包括用于设置热场和坩埚的炉膛，所述的炉膛顶部设置密封的上炉盖，所述的上炉盖的中心设置上炉盖口，其特征在于：所述的上炉盖口设置磁流体，所述的磁流体的内径设置与所述的上炉盖口的内径相同，所述的磁流体通过法兰与所述的上炉盖口固定，设置籽晶杆穿过所述的磁流体和上炉盖口并伸入所述的炉膛，所述的籽晶杆末端设置籽晶夹头，所述的籽晶杆设置皮带轮，所述的皮带轮通过皮带与晶转电机连接，设置可以上下运动的晶升机构，所述的晶升机构上设置通孔，在所述的通孔周围对称布置至少两个的称重传感器，所述的籽晶杆安装在所述的称重传感器上，并穿过所述的通孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑜，邢明，杜慧江，
申请(专利权)人：杭州晶一智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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