【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板剥离装置,其特征在于,包括:本体;所述本体具有一抽气面和一用于吸附待剥离基板的弧形吸附面;所述本体上具有贯穿所述抽气面和吸附面的互不连通的气体流通通道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:贾倩,铃木照晃,黄华,张雨,杨爱军,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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