一种精确控制多指型半导体器件参数波动的制造方法技术

技术编号:11540172 阅读:122 留言:0更新日期:2015-06-03 14:18
本申请公开了一种精确控制多指型半导体器件参数波动的制造方法,包括:首先,在多指型半导体器件中形成所有的指状连线。然后,对各多指型半导体器件进行测试获取目标参数初始值。对于目标参数初始值大于目标参数要求范围的最大值的多指型半导体器件,减少这些多指型半导体器件的指状连线数量以使这些多指型半导体器件的目标参数实测值落在目标参数要求范围内。本申请可以使多指型半导体器件的目标参数较为精确地落在要求范围内,从而提高指定规格器件的可重复生产性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种精确控制多指型半导体器件参数波动的制造方法,其特征是:包括如下步骤:第1步,在多指型半导体器件中形成所有的指状连线;第2步,对各多指型半导体器件进行测试获取目标参数初始值,对于目标参数初始值大于目标参数要求范围的最大值的多指型半导体器件,减少这些多指型半导体器件的指状连线数量以使这些多指型半导体器件的目标参数实测值落在目标参数要求范围内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李昊
申请(专利权)人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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