【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种测量微电子机械系统(MEMS)中的可移动质量的位移的方法，所述方法包括：将所述可移动质量移动至第一位置中，在所述第一位置中，所述可移动质量与第一位移停止表面基本静态接触；使用控制器，在所述移动质量处于所述第一位置的同时自动测量两个间隔开的感测电容器的各自电容之间的第一差，其中，所述两个感测电容器中的每个包括附接至所述可移动质量并且可与所述可移动质量一起移动的各自的第一板和基本固定在适当的位置的各自的第二板；将所述可移动质量移动至第二位置中，在所述第二位置中，所述可移动质量与第二位移停止表面基本静态接触，所述第二位移停止表面与所述第一位移停止表面间隔开；使用所述控制器，在所述可移动质量处于所述第二位置的同时自动测量所述各自电容之间的第二差；将所述可移动质量移动至参照位置，在所述参照位置中，所述可移动质量与所述第一位移停止表面和所述第二位移停止表面基本间隔开，其中，所述第一位置和所述参照位置之间的第一距离不同于所述第二位置和所述参照位置之间的第二距离；使用所述控制器，在所述可移动质量处于所述参照位置的同时自动测量所述各自电容之间的第三差；使用所述控制器，使用所测量到的第一差、所测量到第...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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