一种检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,包括安装在基板玻璃成型设备箱体两侧的激光发生器和激光接收装置,激光接收装置外接信号处理器;激光发生器发射的光束穿过箱体内的空气进入激光接收装置,激光接收装置将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器,信号处理器将检测信号转化为检测值进行显示。本实用新型专利技术当箱体内空气中的微粉尘浓度较大时,激光在传输过程中会受到较大衰减;当箱体内空气中的微粉尘浓度较小时,激光在传输过程中衰减量较小,因此激光接收装置由激光强度转化出的信号值间接反映了光路上的微粉尘的浓度。本实用新型专利技术结构简单,能够有效可靠的测出基板玻璃成型设备内部空间的微粉尘浓度。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及基板玻璃加工领域,具体涉及一种检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置。
技术介绍
光电平板显示器件用基板玻璃是平板显示器件中的重要组成部分,平板显示器件的其余各部分均需附着在基板玻璃上。平板显示器件随着尺寸的不断增大以及显示质量的不断提升,在生产及使用中,对于基板玻璃的表面光洁度要求也越来越高。在溢流下拉法生产过程中,熔融玻璃经过处理,引流至溢流砖上,熔融玻璃翻越溢流砖两边的堰,沿溢流砖的楔形外表面向下流动,并在底部汇合,然后继续向下流动并向下拉伸,得到平面基板玻璃。由于在此过程中,接触过溢流砖表面的玻璃被埋入玻璃板内部,玻璃板的外表面除空气外,未接触任何其他物质,因此采用溢流下拉法生产平面基板玻璃,可以保证得到的玻璃外表面质量良好。马弗炉是熔融拉制工艺制造平板玻璃的成型设备,后续玻璃的冷却及硬化需要在马弗炉内部完成,在这一过程中,如果马弗炉的内部空间气氛中含有较多的微粉尘,就会粘结在热态玻璃的表面形成产品缺陷,造成产品表面光洁度不合格,而且该缺陷无法在后工序中通过清洗等方法去除掉。因此,马弗炉内部空间气氛中的微粉尘浓度需要进行在线连续检测,以便生产人员能够随时掌握情况,当微粉尘浓度达到一定的值后,及时采取清理措施。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述现有技术中的缺陷,提供一种结构简单,能够有效可靠的测出基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的检测装置。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案为:包括安装在基板玻璃成型设备箱体两侧的激光发生器和激光接收装置,激光接收装置外接信号处理器;激光发生器发射的光束穿过箱体内的空气进入激光接收装置,激光接收装置将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器,信号处理器将检测信号转化为检测值进行显示。所述的激光接收装置为CXD镜头。所述激光发生器安装在用于调整光束方向的线性平台上。所述的激光发生器发射的光束为细长型或圆形。所述的光束为细长型时的长宽比为(I?1000):1 ;所述的光束为圆形时的直径为0.01 ?1000mm。 所述的激光发生器和激光接收装置外部设置冷却套。所述的信号处理器至少包括一个窄带通滤波器。所述的信号处理器以空气中的微粉尘浓度值为0.01mg/m3为检测基准,检测上限为 100mg/m3。所述的激光接收装置检测范围为0.01mg/m3?100mg/m 3;激光光路距离成型设备内部基板玻璃表面的垂直距离为O?1000mm。所述的信号处理器将检测值在现场显示仪表进行显示或传送至计算机控制系统进行集中显示并记录。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:激光发生器发射的光束穿过基板玻璃成型设备箱体内的空气进入激光接收装置,激光接收装置将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器,信号处理器将检测信号转化为检测值进行显示。当箱体内空气中的微粉尘浓度较大时,激光在传输过程中会受到较大衰减;当箱体内空气中的微粉尘浓度较小时,激光在传输过程中衰减量较小。因此激光接收装置接收到的激光强度与微粉尘浓度成反比例关系,激光接收装置由激光强度转化出的信号值间接反映了光路上的微粉尘的浓度。本技术结构简单,能够有效可靠的测出基板玻璃成型设备内部空间的微粉尘浓度。本技术同时适用于制造和处理诸如有源电子器件、光伏器件以及生物序列器件之类的其他需要表面非常平坦的大材料板。进一步的,本技术激光发生器安装在用于调整光束方向的线性平台上,线性平台能在多个方向上调整光束角度,从而使光束准确照射至激光接收装置。进一步的,本技术激光发生器和激光接收装置外部设置冷却套,冷却套能够防止激光发生器和激光接收装置在高温环境下发生故障或损坏。进一步的,本技术的信号处理器至少包括一个窄带通滤波器,减少了来自反射光束的背景照明引起的噪声,从而改善激光接收装置的测量质量。【附图说明】图1本技术的整体结构示意图;附图中:1_箱体;2_激光发生器;3_C⑶镜头;4_信号处理器;5_基板玻璃。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。参见图1,本技术的整体结构包括安装在基板玻璃成型设备箱体I两侧的激光发生器2和CXD镜头3,激光发生器2和CXD镜头3外部设置冷却套。激光发生器2安装在用于调整光束方向的线性平台上,CXD镜头3外接信号处理器4。激光发生器2发射的光束为细长型或圆形,光束为细长型时的长宽比为(I?1000):1,光束为圆形时的直径为0.01?1000mm。激光发生器2发射的光束穿过箱体I内的空气进入CXD镜头3,CXD镜头3将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器4,信号处理器4将检测信号转化为检测值进行显示。信号处理器4至少包括一个窄带通滤波器,信号处理器4以空气中的微粉尘浓度值为0.01mg/m3为检测基准,检测上限为100mg/m 3。激光接收装置检测范围为0.01mg/m3?100mg/m3;激光光路距离成型设备内部基板玻璃5表面的垂直距离为O?100mmo信号处理器4将检测值在现场显示仪表进行显示或传送至计算机控制系统进行集中显示并记录。本技术的工作原理为:激光发生器2发射的激光穿过箱体I内的空气进入CCD镜头3,如图中箭头实线,CCD镜头3将激光光线的强度转化为检测信号,信号处理器4将检测信号转化为检测值进行显示。当基板玻璃成型设备箱体I内空气中微粉尘浓度较大时,激光在传输过程中会受到较大衰减;当基板玻璃成型设备箱体I内空气中微粉尘浓度较小时,激光在传输过程中衰减量较小。因此CCD镜头3接收到的激光的强度与微粉尘浓度成反比例关系,CCD镜头3由接收到的激光强度转化出的信号值间接反映了光路上的微粉尘的浓度。本技术的结构简单,能够有效可靠的测出基板玻璃成型设备内部空间的微粉尘浓度,该装置还包括被配置成接收关于光源入射强度信息的数据采集设备,以及被配置成将入射强度与箱体内部空间气氛中粉尘浓度相关联的数据分析设备。本技术同时适用于制造和处理诸如有源电子器件、光伏器件以及生物序列器件之类的其他需要表面非常平坦的大材料板。【主权项】1.一种检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:包括安装在基板玻璃成型设备箱体(I)两侧的激光发生器(2)和激光接收装置,激光接收装置外接信号处理器(4);激光发生器(2)发射的光束穿过箱体(I)内的空气进入激光接收装置,激光接收装置将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器(4),信号处理器(4)将检测信号转化为检测值进行显示。2.根据权利要求1所述的检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:所述的激光接收装置为CCD镜头(3)。3.根据权利要求1所述的检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:所述激光发生器(2)安装在用于调整光束方向的线性平台上。4.根据权利要求1或3所述的检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:所述的激光发生器(2)发射的光束为细长型或圆形。5.根据权利要求4所述的检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:所述的光束为细长型时的长宽比为(I?1000):1 ;所述的光束为圆形时的直径为0.01 ?1000mm。6.根据权利要求1所述的检测本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种检测基板玻璃成型设备内部空间微粉尘浓度的装置,其特征在于:包括安装在基板玻璃成型设备箱体(1)两侧的激光发生器(2)和激光接收装置,激光接收装置外接信号处理器(4);激光发生器(2)发射的光束穿过箱体(1)内的空气进入激光接收装置,激光接收装置将激光光线的强度转化为检测信号传输至信号处理器(4),信号处理器(4)将检测信号转化为检测值进行显示。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘建斌,
申请(专利权)人:彩虹显示器件股份有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西;61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。