玻璃基板制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供能够减少铂族金属的挥发物凝集的玻璃基板制造装置。本实用新型专利技术的玻璃基板制造装置具有熔融玻璃处理装置，熔融玻璃处理装置具有包含所述熔融玻璃的液相空间、及被所述液相空间的液面和内壁包围的气相空间，与所述气相空间接触的内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，玻璃基板制造装置的特征在于，熔融玻璃处理装置包括：不活泼气体供给装置，将相对于熔融玻璃以及铂族金属不活泼的气体供给至气相空间；以及气体温度调节装置，在供给至气相空间之前调节不活泼气体的温度，以减少存在于气相空间的铂族金属的挥发物凝集。

【技术实现步骤摘要】

本技术有关一种玻璃基板制造装置。
技术介绍
熔融玻璃是通过熔解玻璃原料而生成的，其后，在成形步骤中直至成形为平板玻璃为止的期间，通常会进行澄清、搅拌等处理步骤。在处理步骤中，还包括向用于进行澄清、搅拌、成形的各装置供给熔融玻璃。熔融玻璃由于温度极高，因此，作为进行澄清、搅拌、供给等的装置的材料，已知的是使用含有耐热性高的铂族金属的材料(例如，技术文献1)0但是，由于铂族金属在高温下容易挥发，因此，由含有铂族金属的材料构成的装置暴露于高温气氛中的话，铂族金属容易挥发。另一方面，在装置内挥发的铂族金属会在温度低的部分凝集而容易在装置的内壁等析出，有时会落入熔融玻璃中。如此混入熔融玻璃中的铂族金属的凝集物往往也会残留于经成形、切断步骤而得到的玻璃基板内，产生产品缺陷。特别是，对于被称为无碱玻璃或者微碱玻璃的碱成分少的玻璃，由于与碱性玻璃相比，玻璃粘度高，因此，需要以更高温度进行澄清、搅拌等。因此，在制造这些种类的玻璃时，铂族金属更容易在装置内挥发，铂族金属的凝集物混入熔融玻璃中的可能性变得更高。为了抑制这种铂族金属在装置内的挥发，已知的是将不活泼气体供给至装置内，降低装置内气氛中的氧浓度。通过供给不活泼气体而降低氧浓度，从而能够抑制铂族金属在高温下氧化挥发。现有技术文献技术文献技术文献1:日本特开2010-111533号公报
技术实现思路
(技术要解决的技术问题)但是，周知的是，当供给至装置内的不活泼气体的温度低时，在流有不活泼气体的装置内的部分及其附近的部分，气氛温度会降低，出现存在于气氛中的铂族金属的挥发物发生凝集的情况。本技术的目的在于，提供一种能够减少铂族金属的挥发物凝集的玻璃基板制造装置。(解决技术问题的方案)本技术提供以下⑴?(14)。(I) 一种玻璃基板制造装置，具有熔融玻璃处理装置，所述熔融玻璃处理装置具有包含熔融玻璃的液相空间、及被所述液相空间的液面和内壁包围的气相空间，与所述气相空间接触的所述内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，所述玻璃基板制造装置的特征在于，所述熔融玻璃处理装置包括:不活泼气体供给装置，将相对于所述熔融玻璃及所述铂族金属不活泼的气体供给至所述气相空间；以及气体温度调节装置，在将所述不活泼气体供给至所述气相空间之前调节所述不活泼气体的温度，以减少存在于所述气相空间的铂族金属的挥发物凝集。(2)根据上述(I)所述的玻璃基板制造装置，所述熔融玻璃处理装置是边使所述熔融玻璃流动、边进行所述熔融玻璃的澄清的澄清装置，所述澄清装置的温度分布沿着所述熔融玻璃的流动方向而形成。(3)根据上述(2)所述的玻璃基板制造装置，所述澄清装置包括:包含铂或铂合金等的长条状的澄清管；以及经由设置于所述澄清管的端部的凸缘而设置的电极板，所述不活泼气体供给装置包括将所述不活泼气体导入所述气相空间内的气体导入管，所述气体温度调节装置为设置于所述不活泼气体供给装置的外周的加热装置。(4)根据上述(3)所述的玻璃基板制造装置，所述气体导入管与设置于所述澄清管的内壁的气体导入口连接，所述不活泼气体通过所述气体导入口而被导入所述气相空间，所述气体导入口设置于设有所述凸缘的部分，并被配置成从所述气体导入口导入的所述不活泼气体朝向所述透气管流动。(5)根据上述(3)所述的玻璃基板制造装置，所述气体温度调节装置为设置于所述气体导入管的外周的耐火砖。(6)根据上述(3)所述的玻璃基板制造装置，所述气体温度调节装置为设置于所述气体导入管的外周的加热器，所述玻璃基板制造装置还包括控制所述加热器的温度的控制装置。(7)根据上述(6)所述的玻璃基板制造装置，所述不活泼气体的温度被调节为使所述熔融玻璃处理装置的温度被保持在能够减少所述铂族金属的挥发物凝集的温度以上。(8)根据上述(6)所述的玻璃基板制造装置，所述不活泼气体的温度被调节为使所述熔融玻璃处理装置的呈现最高温度的部分和呈现最低温度的部分的温度差保持在150°C以内。(9)根据上述(6)所述的玻璃基板制造装置，所述不活泼气体的温度被调节为所述熔融玻璃处理装置的最高温度以下。(10)根据上述(I)所述的玻璃基板制造装置，所述不活泼气体供给装置调节所述不活泼气体的流量，使所述熔融玻璃处理装置的温度被保持在能够减少所述铂族金属的挥发物凝集的温度以上。(11)根据上述(I)所述的玻璃基板制造装置，还包括:气体温度确定装置，用于确定所述不活泼气体的目标温度，所述气体温度调节装置将所述不活泼气体的温度调节为由所述气体温度确定装置确定的所述目标温度。(12)根据上述(11)所述的玻璃基板制造装置，所述气体温度确定装置基于所述熔融玻璃处理装置的温度确定所述目标温度。(13)根据上述(12)所述的玻璃基板制造装置，所述气体温度确定装置基于所述熔融玻璃处理装置的最高温度与最低温度的温度差确定所述目标温度。(14)根据上述(11)所述的玻璃基板制造装置，所述气体温度确定装置基于所述气相空间内的铂蒸汽压确定所述目标温度。此外，作为使用上述玻璃基板制造装置制造玻璃基板时的制造步骤，包括:熔解步骤，熔解玻璃原料而生成熔融玻璃；以及处理步骤，在熔融玻璃处理装置中处理所述熔融玻璃，所述熔融玻璃处理装置具有:液相，包含所述熔融玻璃；以及气相空间，被所述液相的液面与内壁包围，所述熔融玻璃处理装置中与所述气相空间接触的内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，在所述处理步骤中，将相对于所述熔融玻璃及所述铂族金属不活泼的气体供给至所述气相空间，并将被调节为降低存在于所述气相空间中的铂族金属的挥发物凝集的温度的所述不活泼气体供给至所述气相空间。此外，在所述处理步骤中，将所述不活泼气体的温度调节为使所述熔融玻璃处理装置的温度被保持在能够减少所述铂族金属的挥发物凝集的温度以上。进而，将所述不活泼气体的温度调节为使所述熔融玻璃处理装置的呈现最高温度的部分和呈现最低温度的部分的温度差保持在150°C以内。另外，将所述不活泼气体的温度调节为所述熔融玻璃处理装置的最高温度以下。在所述处理步骤中，进一步调节所述不活泼气体的流量，以使所述熔融玻璃处理装置的温度被保持在能够减少所述铂族金属的挥发物凝集的温度以上。(技术的效果)根据本技术的玻璃基板制造装置，能够减少铂族金属的挥发物凝集。【附图说明】图1为示出使用本实施方式的玻璃基板制造装置制造玻璃基板时的制造方法的步骤的一例的图。图2为示意性示出进行本实施方式中的熔解步骤?切断步骤的装置的一例的图。图3(a)为说明本实施方式的澄清槽的立体图，图3(b)为说明本实施方式的澄清管内部的不活泼气体的流动的一例的图。图4(a)为示出用于不活泼气体的温度调节的加热单元的一例的图。图4(b)为示出用于不活泼气体的温度调节的加热单元的另一例的图。图5为示出本实施方式的澄清管的内壁的长度方向的一例温度分布的图。【具体实施方式】以下，对本实施方式的玻璃基板制造装置进行说明。首先，图1为使用本技术的玻璃基板制造装置制造玻璃基板时的制造方法的步骤的一例的示意图。以后所说明的铂或铂合金等为铂族金属，包括铂、钌、铑、钯、锇、铱及这些金属的I=I O玻璃基板的制造方法主要包括熔解步骤(ST1)、澄清步骤(ST2)、均质化步骤(ST3)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板制造装置，具有熔融玻璃处理装置，所述熔融玻璃处理装置具有包含熔融玻璃的液相空间、及被所述液相空间的液面和内壁包围的气相空间，与所述气相空间接触的所述内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，所述玻璃基板制造装置的特征在于，所述熔融玻璃处理装置包括：不活泼气体供给装置，将相对于所述熔融玻璃及所述铂族金属不活泼的气体供给至所述气相空间；以及气体温度调节装置，在将所述不活泼气体供给至所述气相空间之前调节所述不活泼气体的温度，以减少存在于所述气相空间的铂族金属的挥发物凝集。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：铃木谅，北本健二郎，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP