多探针时序测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多探针时序测试系统，包括测试仪表和点测机，所述点测机包括点测机座和设于点测机座上的测试探针；所述点测机座上设有多个测试探针，还包括有时序控制器和测试电路切换装置，所述时序控制器分别通过第一线组、第二线组和第三线组与点测机座、测试仪表以及测试电路切换装置连接，所述测试电路切换装置还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表和各个测试探针。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体测试、LED测试、集成电路测试领域，尤其涉及一种点测机测试系统。
技术介绍
点测机是一种用于集成电路、LED晶圆、二极管晶圆等半导体电性测试设备。点测机测试电性是半导体制造工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电，半导体产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，在晶圆大批量生产中，往往在一片晶圆同时制作成百上千个芯片，通过点测机进行晶圆切割前的电性测试。随着技术的发展，晶圆的尺寸也越来越大，同时一片晶圆内所集成的芯片也越来越多，这就需要更多的测试时间来完成一片晶圆的测试。传统的测试方式是使用I台点测机+测试仪表，点测机负责测试机构的机械运动，外接仪表负责所需的电性测试，但是由于目前传统点测机测试探针只有一根，故每次机械部分移动结束，只能测试一颗芯片，然后就再次进行机械部分的移动，这就致使整个测试效率比较低下，导致机械部分磨损较大，寿命相对较短。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，提供一种多探针时序测试系统，以克服现有技术存在的不足。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案:一种多探针时序测试系统，包括测试仪表和点测机，所述点测机包括点测机座和设于点测机座上的测试探针，其特征在于包括:所述点测机座上设有多个测试探针，还包括有时序控制器和测试电路切换装置，所述时序控制器分别通过第一线组、第二线组和第三线组与点测机座、测试仪表以及测试电路切换装置连接，所述测试电路切换装置还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表和各个测试探针。还包括有标识机构，所述时序控制器通过第六线组连接所述标识机构。所述点测机座由Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上Z轴组件以及设于Z轴组件上的Θ轴组件构成。所述第一线组由第一连接线、第二连接线、第三连接线以及第四连接线组成。所述第二线组由第五连接线、第六连接线和第七连接线组成。所述第三线组由第八连接线和第九连接线组成。所述第四线组仅包括第十连接线，所述第五线组由第十一连接和第十二连接线组成。点测机在进行测试时:通常仪表测试时间只有几十毫秒，机械移动时间占据大部分。本技术由于同时采用了多个测试探针，相对安装测试探针数量，每增加I根测试探针，机械机构减少I次移动，故测试时减少了机械的移动时间，大幅度提高了测试效率，同时又延长机械机构的使用寿命，在原点测机设备上直接外挂改造，能够提高设备的测试效率，同时延长设备使用寿命的目的，市场前景广阔。【附图说明】下面结合附图和【具体实施方式】本技术进行详细说明(以下说明测试探针和标识机构仅以2点测试为例，但本专利不限制为2点；点测机仅以I台为例，但本专利不限制为I台；测试仪表仅以I台为例，但本专利不限制为I台):图1为本技术的方框示意图。【具体实施方式】如图1所示，本技术的多探针时序测试系统，包括点测机和测试仪表102，点测机由点测机座100和设于点测机座100上的多个测试探针构成。在点测机座100与测试仪表102之间的增加部分，包括时序控制器101、测试电路切换装置103、标识机构。点测机座100由Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上Z轴组件以及设于Z轴组件上的Θ轴组件构成。X轴组件与Y轴组件分别提供晶圆片左右、前后的移动，Θ轴组件提供晶圆片的旋转，Z轴组件提供晶圆片上下移动时序控制器101分别通过第一线组、第二线组、第三线组和第六线组与点测机座100、测试仪表102、测试电路切换装置103以及标识机构连接，测试电路切换装置103还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表101、各个测试探针。其中，第一线组由第一连接线110、第二连接线111、第三连接线112以及第四连接线123组成。第一连接线110用于传输点测机座100通知时序控制器101测试开始的信号:SOTo第二连接线111用于传输指时序控制器101通知点测机座100测试完成的信号:EOT。第三连接线112用于传输时序控制器101通知点测机座100的结果信号:BIN。可以理解，该第三连接线112可以为多根。第四连接线123用于传输点测机座100通知时序控制器101的标识信号:BIN。可以理解，该第四连接线123可以为多根。第二线组包括由第五连接线113、第六连接线114和第七连接线115组成。第五连接线113用于传输时序控制器101通知测试仪表102开始测试的信号:SOT ；第六连接线114用于传输测试仪表102通知时序控制器101测试完成的信号:EOT ；第七连接线115用于传输测试仪表102通知时序控制器101的结果信号:BIN。可以理解，该第七连接线115可以为多根。所述第三线组由第八连接线118和第九连接线119组成。第八连接线118用于传输时序控制器101给测试切换装置103的切换控制信号:Klo第九连接线119用于传输时序控制器101给测试切换装置103的切换控制信号:K2o所述第四线组仅包括第十连接线120。该第十连接线120用于测试仪表102给测试切换装置103的测试信号:TEST。第五线组由第十一连接线121和第十二连接线122组成。第十一连接线121用于传输测试切换装置103给第一个测试当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多探针时序测试系统，包括测试仪表和点测机，所述点测机包括点测机座和设于点测机座上的测试探针，其特征在于包括：所述点测机座上设有多个测试探针，还包括有时序控制器和测试电路切换装置，所述时序控制器分别通过第一线组、第二线组和第三线组与点测机座、测试仪表以及测试电路切换装置连接，所述测试电路切换装置还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表和各个测试探针。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁波，李轶，陈瀚，侯金松，
申请(专利权)人：上海微世半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31