物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法制造方法及图纸

将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含：使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法
本专利技术是关于物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法，更具体的，是关于保持于物体保持装置中的物体的交换方法及系统、具备所述物体交换系统的曝光装置、使用所述曝光装置的平面显示器及组件的制造方法。
技术介绍
以往，于用以制造液晶显示组件、半导体组件等电子组件的光刻工艺中使用曝光装置，该曝光装置是使用能量束将形成于掩膜(或标线片)上的图案转印至玻璃基板(或晶圆)上。作为此种曝光装置，已有一种使用既定基板搬送装置将基板载台装置上的曝光完毕的玻璃基板搬出后，通过使用上述基板搬送装置将其他玻璃基板搬入基板载台装置上，依序交换保持于基板载台装置中的玻璃基板，以对多个玻璃基板连续进行曝光处理者(参照例如专利文献1)。此处，在对多个玻璃基板连续进行曝光时，为了整体产能的提升，最好是迅速地交换基板载台装置上的玻璃基板。先前技术文献专利文献专利文献1：美国专利第6,559,928号说明书
技术实现思路
用以解决课题的手段本专利技术是有鉴于上述情事而完成者，从第1观点来看，为一种物体交换方法，是将配置于既定的物体交换位置的物体交换成其他物体，其包含：使保持有第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作；使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作；使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作；将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间，而将所述第2物体移交至所述物体保持装置的动作；以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后，使所述第1物体相对所述支撑装置移动，以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。藉此，以第1物体悬垂支撑于支撑装置的状态将第2物体移交至物体保持装置，其后，第1物体从物体交换装置被搬出。亦即，由于第2物体对物体保持装置的搬入较保持于物体保持装置的第1物体的搬出动作的结束还优先进行，因此，能迅速地进行物体保持装置上的物体的交换动作。本专利技术从第2观点来看，为一种物体交换系统，是将配置于既定的物体交换位置处的物体交换成其他物体，其具备：物体保持装置，能保持所述物体；支撑装置，设于所述物体交换位置、能悬垂支撑所述物体；驱动系，以保持有所述物体的所述物体保持装置位于所述物体交换位置处且所述物体被悬垂支撑于所述支撑装置中的状态，以及使所述物体从所述物体保持装置离开；以及物体交换装置，通过在所述物体保持装置与所述物体离开的状态下，将其他物体插入该物体保持装置与该物体之间，而将该其他物体移交至所述物体保持装置，且通过在将所述其他物体移交至所述物体保持装置后，使所述物体相对所述支撑装置移动，以将所述物体从所述物体交换位置搬出。藉此，以物体悬垂支撑于支撑装置的状态将其他移交至物体保持装置，其后物体从物体交换装置被搬出。亦即，由于其他物体对物体保持装置的搬入较保持于物体保持装置的物体的搬出动作的结束还优先进行，因此能迅速地进行物体保持装置上的物体的交换动作。本专利技术从第3观点来看，为一种曝光装置，具备：本专利技术的第2观点的物体交换系统；以及使用能量束于保持于所述物体保持装置的所述物体，形成既定图案的图案形成装置。本专利技术从第4观点来看，为一种平面显示器的制造方法，其包含：使用本专利技术的第3观点的曝光装置使所述物体曝光的动作；以及使曝光后的所述物体显影的动作。本专利技术从第5观点来看，为一种组件制造方法，其包含：使用本专利技术的第3观点的曝光装置使所述物体曝光的动作；以及使曝光后的所述物体显影的动作。附图说明图1为概略显示第1实施形态的液晶曝光装置的构成的图。图2为图1所示的液晶曝光装置(一部分省略)的俯视图。图3(A)为图2所示的液晶曝光装置所具有的基板交换装置的前视图，图3(B)为其变形例的示意图。图4(A)～图4(C)为图1所示的液晶曝光装置所具有的基板搬入装置的动作示意图(其1～其3)。图5(A)～图5(C)为第1实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的一示意图(其1～其3)。图6(A)～图6(C)为第1实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的另一示意图(其4～其6)。图7(A)～图7(C)为第1实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的再一示意图(其7～其9)。图8(A)及图8(B)为第1实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的又一示意图(其10及其11)。图9为第2实施形态的基板载台装置的基板交换装置的俯视图。图10(A)为第2实施形态的基板载台装置的侧剖面图，图10(B)为其变形例的示意图。图11(A)～图11(C)为第2实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的一示意图(其1～其3)。图12(A)～图12(C)为第2实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的另一示意图(其4～其6)。图13(A)～图13(C)为第3实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的再一示意图(其1～其3)。图14(A)为第3实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的一示意图(其4)，图14(B)为其变形例的示意图。图15(A)～图15(C)为第4实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的一示意图(其1～其3)。图16(A)～图16(C)为第4实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的另一示意图(其4～其6)。图17(A)及图17(B)为第4实施形态的液晶曝光装置的基板交换动作的再一示意图(其7及其8)。附图标号说明10液晶曝光装置20基板载台装置26基板保持具30基板交换装置36基板驱动装置38空气导引装置44吸附垫50悬垂支撑装置52非接触夹具装置P基板具体实施方式《第1实施形态》以下，使用图1～图8(B)说明第1实施形态。图1中，概略的显示了第1实施形态的液晶曝光装置10的构成。液晶曝光装置10是以用于例如液晶显示设备(平面显示器)等的矩形(角型)玻璃基板P(以下单称为基板P)作为曝光对象物的步进扫描方式的投影曝光装置，所谓扫描仪。液晶曝光装置10，具有照明系12、保持掩膜M的掩膜载台14、投影光学系16、保持于表面(图1中为朝向+Z侧的面)涂布有抗蚀剂(感应剂)的基板P的基板载台装置20、基板交换装置30、悬垂支撑装置50、以及此等的控制系等。以下说明中，是设曝光时使掩膜M与基板P相对投影光学系16分别被扫描的方向为X轴方向、在水平面内与X轴正交的方向为Y轴方向、与X轴及Y轴方向正交的方向为Z轴方向。又，将在X轴、Y轴、以及Z轴方向的位置分别设为X位置、Y位置、以及Z位置来进行说明。照明系12，是与例如美国专利第5,729,331号说明书等所揭示的照明系同样的构成。亦即，照明系12是将从未图示的光源(例如水银灯)射出的光，分别经由未图示的反射镜、分光镜(dichroicmirror)、遮帘、波长选择滤波器、各种透镜等，作为曝光用照明光(照明光)IL照射于掩膜M。照明光IL，是使用例如i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)等的光(或上述i线、g线、h线的合成光)。掩膜载台14，例如以真空吸附方式吸附保持有其掩膜M。掩膜载台14通过例如包含线性马达的掩膜载台驱动系(未图标)以既定长行程驱动于扫描方向(X轴方向)。掩膜载台14于XY平面内的位置信息是通过包含未图标本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物体交换方法，是将配置于既定的物体交换位置处的物体交换成其他物体，其包含：使保持有第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作；使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作；使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作；将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间，而将所述第2物体移交至所述物体保持装置的动作；以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后，使所述第1物体相对于所述支撑装置移动，以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.08.08 JP 2012-1757781.一种物体交换方法，是将配置于既定的物体交换位置处的第1物体交换成第2物体，其特征在于，其包含：使保持有所述第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作；使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作；使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作；沿通过所述物体保持装置与设于所述物体保持装置的外部的外部导引构件而形成的搬入用导引面将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间，而使所述第2物体移动搬入至所述物体保持装置的动作；以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后，使所述第1物体相对于所述支撑装置移动，以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。2.如权利要求1所述的物体交换方法，其特征在于，所述第1物体在保持于所述物体保持装置的状态下其一面对向于该物体保持装置；所述支撑的动作，是使所述第1物体的另一面以非接触状态悬垂支撑于所述支撑装置。3.如权利要求2所述的物体交换方法，其特征在于，所述支撑的动作，是通过使气体高速通过所述支撑装置与所述第1物体之间，以使重力方向往上的力作用于所述第1物体。4.如权利要求3所述的物体交换方法，其特征在于，所述搬入的动作，是使所述第2物体悬浮于所述搬入用导引面上。5.如权利要求1所述的物体交换方法，其特征在于，所述搬出的动作，是沿通过所述支撑装置与所述外部导引构件而形成的搬出用导引面，使所述第1物体移动。6.如权利要求1至5任一项所述的物体交换方法，其特征在于，所述搬入的动作及所述搬出的动作，是使用共同的驱动装置使所述第1和第2物体移动。7.如权利要求6所述的物体交换方法，其特征在于，在所述搬出的动作中，所述第1物体的动作路径与在所述搬入的动作中的所述第2物体的动作路径相同。8.如权利要求5所述的物体交换方法，其特征在于，所述搬入的动作包含使所述搬入用导引面相对水平面倾斜，通过所述第2物体的自重使该第2物体移动的动作；所述搬出的动作包含使所述搬出用导引面相对水平面倾斜，通过所述第1物体的自重使该第1物体移动的动作。9.一种物体交换系统，是将配置于既定的物体交换位置的第1物体交换成第2物体，其特征在于，其具备：物体保持装置，能保持所述第1物体；支撑装置，设于所述物体交换位置、能悬垂支撑所述第1物体；驱动系，在保持有所述第1物体的所述物体保持装置位于所述物体交换位置且所述第1物体被悬垂支撑于所述支撑装置的状态下，使所述第1物体从所述物体保持装置离开；以及物体交换装置，具有设于所述物体保持装置的外部、与所述物体保持装置一起形成搬入用导引面的外部导引构件，通过在所述物体保持装置与所述第1物体离开的状态下，沿所述搬入用导...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP