一种晶圆动态对中方法技术

本发明专利技术涉及LED及IC行业，具体为一种晶圆搬运过程中，动态测量晶圆中心，并辅助机器人进行中心对准的方法。本发明专利技术采用两个激光传感器采集晶圆边缘信号，读取机器人电机编码器信号，采集晶圆移动距离的数据，通过计算机进行数据计算，确认晶圆中心，该数据实时传送给机器人，机器人即可做出对应动作，将晶圆中心与理论中心对准，实现动态对中。本发明专利技术方法可实现在晶圆运动过程中完成对中，结构简单，精度高于机械对中，成本大大低于通过CCD成像，可减少对中工位，提高机器人使用效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶圆动态对中方法，其特征在于，包括以下步骤：将晶圆平边（1）转动到机械手运动的正前方，在晶圆（3）运动的路径上设置两个由传感器构成的第一感测点（4）、第二感测点（11）；晶圆（3）经过第一感测点（4）、第二感测点（11）时，第一感测点（4）、第二感测点（11）发出电信号；晶圆（3）离开第一感测点（4）、第二感测点（11）时，第一感测点（4）、第二感测点（11）发出的电信号消失；计算终点圆心（8）的坐标与设定圆心（9）的坐标的偏差，将该偏差返回给机器人，对机器人存储的设定圆心（9）进行修订。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21