【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高精度微小型空气静压转台,包括:转台基座(1)、锥形气浮轴套(2)、主轴系统(3)和转台电机(4) ,所述转台基座(1)包括基座(1‑1)、进气阀(1‑2)、编码器盖板(1‑3)和密封环(1‑4);所述锥形气浮轴套(2)包括节流器(2‑1)和气浮轴套(2‑2);所述主轴系统(3)包括下锥形气浮主轴(3‑1)、间隙调整垫(3‑2)、上锥形气浮主轴(3‑3)和工作台(3‑4);所述转台电机(4)包括电机座(4‑1)、电机定子(4‑2)、电机转子(4‑3)、转子锁紧环(4‑4)、电机轴(4‑5)、圆光栅(4‑6)和读数头(4‑7);其特征在于,所述基座(1‑1)上设有通气孔,进气阀(1‑2)与所述通气孔螺纹连接,基座(1‑1)内部设有两个环形槽,两个环形槽内均安装有密封环(1‑4),编码器盖板(1‑3)与电机座(4‑1)采用螺钉连接;基座(1‑1)顶端用于气浮轴套(2‑2)的轴向定位,气浮轴套(2‑2)的底部通过电机座(4‑1)夹紧,电机座(4‑1)与基座(1‑1)之间采用螺栓连接;所述气浮轴套(2‑2)内部气孔内安装有节流器(2‑1);所述下锥形气浮主轴(3‑1)、间隙调整垫(3‑2) ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李增强,闫永达,曹永智,胡振江,国树森,詹东平,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江;23
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