一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于单片清洗工艺的技术领域，具体地说是一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。包括风刀喷嘴、氮气加热装置和氮气供应系统，所述风刀喷嘴通过供气管路与氮气供应系统连接，所述氮气加热装置设置于风刀喷嘴和氮气供应系统之间的供气管路上；由所述氮气供应系统供应的氮气经过氮气加热装置加热、并由所述风刀喷嘴形成热风幕吹扫晶圆的表面，实现晶圆的快速干燥。本发明专利技术可以降低甩干时对电机转速的要求，由于自身的风刀喷嘴效果，又可以极大限度地节省氮气。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：包括风刀喷嘴(4)、氮气加热装置(10)和氮气供应系统，所述风刀喷嘴(4)通过供气管路与氮气供应系统连接，所述氮气加热装置(10)设置于风刀喷嘴(4)和氮气供应系统之间的供气管路上；由所述氮气供应系统供应的氮气经过氮气加热装置(10)加热、并由所述风刀喷嘴(4)形成热风幕(5)吹扫晶圆(2)的表面，实现晶圆(2)的快速干燥。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张杨，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21