【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
硅片清洗机溢流纯水循环系统，包括四个漂洗槽，其特征在于：四个漂洗槽的上端由高到低依次排列，在四个漂洗槽的下方设置同一蓄水槽，蓄水槽内设置加热管和水泵；在四个漂洗槽中上端最低的漂洗槽的一侧竖向设置第一循环水道，第一循环水道的上端设置进水口，上端最低的漂洗槽的水溢流从进水口流入至第一循环水道，第一循环水道的出水口与蓄水槽连通；四个漂洗槽中上端最高的漂洗槽的一侧竖向设置第二循环水道，第二循环水道的进水口与所述水泵的输出端连接，第二循环水道的上端设置出水口，第二循环水道的水从出水口流入上端最高的漂洗槽内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，
申请(专利权)人：江苏金晖光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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