【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机械高精度固支梁式微波功率检测系统，其特征在于：所述系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有共面波导传输线、固支梁耦合器，校正电极和热电式微波功率传感器组成；所述固支梁耦合器是在中心信号传输线上设有固支梁，当微波信号从中心信号传输线端口(A)向端口(B)传输时，固支梁会耦合出微波信号；所述的校正电极，当工艺制作后的固支梁弯曲，当固支梁处于上翘状态，就在压焊块上加正电压，反之，当固支梁处于下拉状态时，在压焊块上加负电压，使固支梁恢复平整；所述的热电式微波功率传感器是由共面波导传输线、并联电阻、热电堆、输出电压端口和稳定热电堆冷端温度的金属块组成。
【技术特征摘要】
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