一种透射电子显微镜用镍钛非晶合金载网支持膜制造技术

本发明专利技术公开了一种透射电子显微镜用镍钛非晶合金载网支持膜及其制备方法。本发明专利技术所采用的导电薄膜为镍钛合金纳米薄膜。镍钛合金是形状记忆合金，具有良好的弹性和机械强度，同时又是电和热的良导体，在医疗器械等方面有广泛的应用。现在镍钛合金已经形成了规模庞大的产业，是一种非常容易获得合金材料。用镍钛合金材料制备载网支持膜，可以充分利用形状记忆合金的超弹性、高机械强度和优良的导电性，来解决碳支持膜存在的机械强度低和荷电严重的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种透射电子显微镜用镍钛非晶合金载网支持膜，其特征在于，所述镍钛非晶合金载网支持膜自下向上依次为载网和非晶合金薄膜层，所述非晶合金薄膜层中含有镍元素和钛元素。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张雷，尹长城，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：北京;11