PECVD涂层的检查方法技术

提供了一种用于检查涂覆过程的产品的方法。在某些实施例中，测量了至少一种挥发性物种从该涂覆表面到与该涂覆表面邻近的气体空间中的释放并将该结果与对于在相同试验条件下测量的至少一个参比物体的结果相比较。还披露了微量天平称量方法来检测并区分PECVD涂层。因此，可以确定该涂层的存在或不存在和/或该涂层的物理和/或化学特性。该方法对于检查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。还披露了它在由有机硅前体制成的PECVD涂层(尤其是阻挡涂层)的检查方面的应用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于确定通过化学气相沉积施用到基底的表面上的小于1000nm厚的涂层的厚度的方法，该方法包括：(a)在一个涂覆过程之前称量该基底以确定一个涂覆前重量；(b)在将一个涂层有效施用到该基底的预定区域的条件下使该基底经受一个涂覆过程；(c)在该涂覆过程之后称量该基底以确定一个涂覆后重量；(d)通过确定该涂覆前重量与该涂覆后重量的差值来确定该涂层的重量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·T·费尔特斯，T·E·费斯克，R·S·阿伯拉姆斯，J·弗古森，J·R·弗里德曼，R·J·潘格伯恩，P·J·萨高纳，C·维卡特，
申请(专利权)人：SIO二医药产品公司，
类型：发明
国别省市：美国;US