【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于太阳能电池基板的金属化的方法
本专利技术涉及用于太阳能电池基板、特别是太阳能硅基板的金属化的方法。
技术介绍
太阳能电池基板,例如掺杂的硅基板,包括附着到基板表面的一侧或两侧的金属特征,例如导电线、接触焊盘和焊料焊盘。这种金属特征是将外部电路电耦合到太阳能电池基板的掺杂区所需的。优选地,接触线、接触焊盘和焊料焊盘由于高电导率而由铜制成。可以通过气相沉积方法(例如物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD))、包含金属的导电膏的丝网印刷或者借助湿法化学沉积(例如电镀)来沉积这种金属特征。将金属或金属合金选择性沉积在太阳能电池基板上在所有情况下都是必要的。因此,在金属或金属合金沉积期间应用不同种类的掩模,例如在电镀的情况下是聚合物抗蚀剂材料。近来的太阳能电池基板在厚度上非常薄,例如小于200µm或者甚至小于100µm,并且非常脆。因此,在金属和金属合金沉积期间基板处理是麻烦的,尤其是当通过电镀沉积金属或金属合金时,该电镀要求将基板与夹具电接触等。此外,要求沉积在硅基板上的金属或金属合金特征的窄厚度分布。在US7,339,110B1和US7,388,147B2中公开了一种用于将金属选择性电镀在太阳能电池基板上的方法。其中公开的方法在图1中被示出。通过物理气相沉积将镀敷基底(102)沉积在太阳能电池基板(101)的背面上(图1a)。镀敷基底可以是提供几个功能(例如光反射、抵抗不希望有的原子扩散的屏障)的多层堆叠,以及提供可镀敷表面的一层。优选的镀敷基底(在多层堆叠的情况下是最外层)优选是薄铜层。接着,光致抗蚀剂(103)被附着到镀敷基底(102)并被图案化( ...
【技术保护点】
一种用于太阳能电池基板(201)的金属化的方法,该方法以该次序包括以下步骤:(i) 提供太阳能电池基板(201),所述太阳能电池基板具有在所述基板(201)的一个表面的至少一部分上的镀敷基底(202),(ii) 在所述太阳能电池基板(201)的至少一个面上形成第一抗蚀剂层(203)并且图案化所述第一抗蚀剂层(203),并由此形成暴露所述镀敷基底(202)的至少一部分的第一开孔(204),(iii) 在图案化的第一抗蚀剂层(203)的顶部上以及所述镀敷基底的被所述第一开孔(204)暴露的那些部分上形成导电籽晶层(205),(iv) 将第一金属或金属合金层(206)电镀在于步骤(iii)中形成的所述导电籽晶层(205)上,(v) 从图案化的第一抗蚀剂层(203)刻蚀掉足以去除第一金属或金属合金层(206)的量的第一金属或金属合金层(206),留下在所述第一开孔(204)中的图案化的第一金属或金属合金层(206),(vi) 从图案化的第一抗蚀剂层(203)刻蚀掉所述导电籽晶层(205),以及(vii) 去除图案化的第一抗蚀剂层(203)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.14 EP 12184514.31.一种用于太阳能电池基板(201)的金属化的方法,该方法以该次序包括以下步骤:(i)提供太阳能电池基板(201),所述太阳能电池基板具有在所述基板(201)的一个表面的至少一部分上的镀敷基底(202),(ii)将第一抗蚀剂层(203)沉积在包括所述基板(201)的边缘和侧壁的整个基板(201)上,并且图案化所述第一抗蚀剂层(203),并由此形成暴露所述镀敷基底(202)的至少一部分的第一开孔(204),(iii)在图案化的第一抗蚀剂层(203)的顶部上以及所述镀敷基底的被所述第一开孔(204)暴露的那些部分上形成导电籽晶层(205),(iv)将第一金属或金属合金层(206)电镀在于步骤(iii)中形成的所述导电籽晶层(205)上,(v)从图案化的第一抗蚀剂层(203)刻蚀掉足以去除第一金属或金属合金层(206)的第一金属或金属合金层(206)的量,留下在所述第一开孔(204)中的图案化的第一金属或金属合金层(206),(vi)从图案化的第一抗蚀剂层(203)刻蚀掉所述导电籽晶层(205),以及(vii)去除图案化的第一抗蚀剂层(203)。2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池基板(201)的金属化的方法,其中在规定是仅选择用于硅基太阳能电池基板的金属硅化物的情况下,所述镀敷基底(202)选自包括下述的组:掺杂的硅、金属硅化物、一个或多个薄金属或金属合金层、以及透明导电氧化物。3.根据权利要求1或2所述的用于太阳能电池基板(201)的金属化的方法,其中所述第一抗蚀剂层(203)包括下述中的一个或多个:丙烯酸酯、乙烯/丙烯酸乙酯共聚物、乙烯/甲基丙烯酸酯共聚物、乙烯/丙烯酸共聚物、乙烯/丙烯酸丁酯共聚物、聚甲基戊烯和聚甲基丙烯酸甲酯。4.根据权利要求3所述的用于太阳能电池基板(201)的金属化的方法,其中所述第一抗蚀剂层(203)还包括选自包括下述的组的填充物:硼酸铝、氧化铝、三水合氧化铝、无烟煤、锑酸钠、五氧化二锑、三氧化锑、磷灰石、硅镁土、偏硼酸钡、硫酸钡、硫酸锶、钛酸钡、膨润土、氧化铍、氮化硼、碳酸钙、氢氧化钙、硫酸钙、炭黑、粘土、方英石、硅藻土、白云石、铁氧体、长石、玻璃珠、石墨、水合硅酸钙、氧化铁、锌钡白、氧化镁、云母、二硫化钼、珍珠岩、聚合物填充物、浮...
【专利技术属性】
技术研发人员:T福斯,KJ马特雅特,J施佩林,S兰普雷希特,C舍嫩贝格尔,
申请(专利权)人:安美特德国有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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