【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高硅超硬PVD涂层制备工艺,其特征在于,包括以下具体步骤:(1)工件表面的预处理:利用喷砂及酒精对工件表面进行除锈、除油、除杂清洗后,再将工件放入有碱性金属清洗液的超声波清洗机中自动清洗、烘干;(2)装夹及载入工件:将表面预处理后的工件装夹在转炉架上,并装进镀膜炉腔内;(3)炉腔抽真空:将炉腔抽成真空,使镀膜炉腔内的压强P<0.006mbar;(4)工件加热:通过真空炉腔内的加热管对工件进行梯度升温加热,加热至450℃,加热时间为1.5h;(5)靶材及工件的刻蚀清洗:炉腔内通入氩气(Ar),设置偏压为800V,氩气被电离产生等离子场,利用离子刻蚀对靶材表面进行清洗,清洗时间为300s;继续向炉腔内通入氩气,通入氩气流量为180‑230sccm,设置偏压为700‑950V,启动Ti靶和TiSi靶,从靶材上溅射出来的Ti离子和Si离子在电场作用下轰击工件表面,与高能离子共同作用清洗刻蚀工件表面,清洗时间为720‑1080s;(6)高硅涂层的制备:清洗工序完成后,偏压电压降为40‑120V,停止向炉腔中通入氩气,并向腔体内通入反应气体氮气,控制真空度范围为0.005‑0.060mbar, ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张而耕,陈强,张体波,王琴雪,
申请(专利权)人:上海应用技术学院,
类型:发明
国别省市:上海;31
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