基板清洗装置和使用其清洗基板的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板清洗装置和使用其清洗基板的方法。该基板清洗装置包括护罩，其包括顶板和从顶板向下延伸的侧壁，设置在护罩内的喷水器。护罩和喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁延伸到基板表面附近。在使用根据本发明专利技术的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并且由此避免了液晶面板出现不可修复的斑点的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板清洗装置，包括：护罩，所述护罩包括顶板和从所述顶板向下延伸的侧壁，设置在所述护罩内的喷水器，其中，所述护罩和所述喷水器的宽度覆盖了所述基板的宽度，并且所述侧壁延伸到所述基板表面附近。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓海峰，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44