一种紧凑型带电粒子探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种紧凑型带电粒子探测器。其中，屏蔽电极，微通道板组、电子收集极和电子收集极屏蔽筒依次装配在装配法兰上，电路分压系统对微通道板组供电，完成微通道板组对信号的放大作用。所述的质谱探测器可用于飞行时间质谱仪中作为探测器，具体来说，带电粒子轰击微通道板组，带电粒子信号被放大后被电子收集极接受，该信号可直接被外界的数据采集系统读取，从而获得相应的质谱信息。本发明专利技术结构简单、构型紧凑，可以根据需要实现微型化。该紧凑型带电粒子探测器在拥有高灵敏度的同时，可以对探测到的高速信号进行非常高质量的阻抗匹配输出从而为设计微型化高灵敏度的质谱仪提供高质量的硬件支持。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种紧凑型带电粒子探测器，其特征在于：包括屏蔽电极（1）、微通道板组（2）、电子收集极（3）、电子收集极屏蔽筒（4）、电路分压系统（5）以及装配法兰（6）；其中，屏蔽电极（1）、微通道板组（2）、电子收集极（3）、电子收集极屏蔽筒（4）依次平行并且同轴的装配在装配法兰（6）上；（a）屏蔽电极（1）用于屏蔽施加在探测器一侧的电场对所要进行探测的离子在飞行过程中的时间所带来的影响；（b）微通道板组（2）起到对所要探测的离子信号进行放大的作用；（c）电子收集极（3）和电子收集极屏蔽筒（4）用于接收经过微通道板组（2）放大后的电子信号并转化为能够直接测量的电子信号输出给外界采集系统；（d）电路分压系统（5）为微通道板组（2）和各级电极提供可供工作的电压；（e）装配法兰（6）为一可装配在质谱仪的用于承载屏蔽电极（1）、微通道板组（2）、电子收集极（3）、电子收集极屏蔽筒（4）和电路分压系统（5）的经过改造的标准法兰。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘本康，王利，王艳秋，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21