【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅电容麦克风，其特征在于，包括：基板，其上具有一声腔；振膜，设置于所述声腔上部并与所述基板固连，被声压波激发时实现机械振动；背极，位于所述振膜上部，其上具有多个开孔；所述背极与所述振膜上分别设置有用于引出电极的焊盘，所述背极与所述振膜之间设置有固定的气隙，所述背极、所述气隙与所述振膜构成一个电容器，其中，所述振膜的中心区域设置有多个宽度渐变的、与所述振膜的中心不相连且互不相交的线段形非贯穿性褶皱。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：万蔡辛，杨少军，
申请(专利权)人：北京卓锐微技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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