分析用除电部件制造技术

本发明专利技术提供一种分析用除电部件，在使用原子间力显微镜的分析等的精密分析中，能够充分贴合在分析对象试样周边，不会污染分析对象试样和周边环境，能够抑制分析对象试样周边的带电，即使在分析对象试样周边存在金属，也不会产生火花，能够用腔室覆盖进行分析，在高温环境下、真空环境下的分析也能够没有问题地进行。本发明专利技术的分析用除电部件包括具备多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种分析用除电部件，其特征在于：包括具备多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：前野洋平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP