一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置制造方法及图纸

技术编号:11403836 阅读:68 留言:0更新日期:2015-05-03 19:56
本实用新型专利技术涉及单晶硅技术领域,旨在提供一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置。该用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置包括驱动单元、驱动电机、联轴器、移动座、支撑臂、传感器压盖、封板、保护罩、传感器、探测头、数据处理及控制单元和电线。本实用新型专利技术能够准确的测量出圆晶棒的实际直径、方晶棒对边距离以及晶棒棱线突起高度,然后根据测量值计算出进刀量及进刀次数;还具有结构简单、检测精度高、检测速度快、自动检测和智能计算等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置
本技术是关于单晶硅
,特别涉及一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶 棒尺寸检测装置。
技术介绍
在太阳能电池组件生产过程中,用单晶硅作为太阳能电池组件的原材料因其具有 光电转换效率高的特点而得到越来越多的应用。 在生产太阳能电池片时,首先要将单晶生长炉生长的单晶硅棒切割成一定长度的 短圆棒,然后再把短圆棒经过切方、磨削工序后加工成四角为圆弧的方棒,最后再将方棒切 成薄片,这些薄片经过后续处理后就成了太阳能电池片。在晶棒加工流水线车间中,所有工 序全部自动完成,单晶硅棒切磨一体机是自动完成晶棒切方、磨削工序的集成式加工中心。 由于单晶生长设备生长出来的同一规格的单晶棒直径也各不相同,尤其是晶棒上四条棱线 突起的高度不一,如何自动地、准确地将尺寸不一的晶棒加工到同一目标尺寸是单晶硅棒 切磨一体机的首要任务。在加工过程中,如何精确地测量出待加工晶棒的具体尺寸以及确 定加工进刀量是最为关键的技术问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种用于单晶硅棒切磨 一体机的晶棒尺寸检测装置,该装置能够准确的测量出圆晶棒的实际直径、方晶棒对边距 离以及晶棒棱线突起高度,然后根据测量值计算出进刀量及进刀次数。为解决上述技术问 题,本技术的解决方案是: 提供一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置,用于对晶棒的尺寸数据 进行测量,所述用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置包括驱动单元、驱动电机、联 轴器、移动座、支撑臂、传感器压盖、封板、保护罩、传感器、探测头、数据处理及控制单元和 电线; 所述数据处理及控制单元通过电线连接到驱动电机的输入端,驱动电机的输出端 通过联轴器与驱动单元输入端相连,驱动单元上设有滑动平台;所述移动座安装在驱动单 元的滑动平台上,支撑臂的一端固定在移动座的头部;所述传感器通过传感器压盖设置在 支撑臂的另一端,封板和保护罩固定安装在传感器压盖上;所述探测头依次贯穿通过保护 罩和封板,并与传感器一端相连,传感器另一端通过电线与数据处理及控制单元相连;数据 处理及控制单元采用可编程逻辑控制器,用于控制驱动电机的启停以及将探测头移动的距 离转化为被测单晶棒的尺寸。 作为进一步的改进,所述驱动单元采用日本THK精密直线滚动导轨智能组合单 元,型号为KR45型。 作为进一步的改进,所述驱动电机采用伺服电机。 作为进一步的改进,所述传感器采用直动单方向式传感器,其行程3mm、精度 0? 001mm〇 作为进一步的改进,所述用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置还包括底 座,驱动单元安装在底座的上平面。 作为进一步的改进,晶棒尺寸检测装置检测出晶棒尺寸后,可确定加工刀具首次 进刀量和进刀次数;首次进刀量Si和进刀次数n满足公式:本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置,用于对晶棒的尺寸数据进行测量,其特征在于,所述用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置包括驱动单元、驱动电机、联轴器、移动座、支撑臂、传感器压盖、封板、保护罩、传感器、探测头、数据处理及控制单元和电线;所述数据处理及控制单元通过电线连接到驱动电机的输入端,驱动电机的输出端通过联轴器与驱动单元输入端相连,驱动单元上设有滑动平台;所述移动座安装在驱动单元的滑动平台上,支撑臂的一端固定在移动座的头部;所述传感器通过传感器压盖设置在支撑臂的另一端,封板和保护罩固定安装在传感器压盖上;所述探测头依次贯穿通过保护罩和封板,并与传感器一端相连,传感器另一端通过电线与数据处理及控制单元相连;数据处理及控制单元采用可编程逻辑控制器,用于控制驱动电机的启停以及将探测头移动的距离转化为被测单晶棒的尺寸。

【技术特征摘要】
1. 一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置,用于对晶棒的尺寸数据进行测 量,其特征在于,所述用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置包括驱动单元、驱动电 机、联轴器、移动座、支撑臂、传感器压盖、封板、保护罩、传感器、探测头、数据处理及控制单 元和电线; 所述数据处理及控制单元通过电线连接到驱动电机的输入端,驱动电机的输出端通过 联轴器与驱动单元输入端相连,驱动单元上设有滑动平台;所述移动座安装在驱动单元的 滑动平台上,支撑臂的一端固定在移动座的头部;所述传感器通过传感器压盖设置在支撑 臂的另一端,封板和保护罩固定安装在传感器压盖上;所述探测头依次贯穿通过保护罩和 封板,并与传感器一端相连,传感器另一端通过电线与数据处理及控制单元相连;数据处理 及控制单元采用可编程逻辑...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱亮叶欣石刚沈文杰孙明周建灿杨奎
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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