【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种方法,包括:在衬底上形成至少一层Si材料;形成与所述至少一层Si相邻的至少一层碳基材料;将所述至少一层Si材料和所述至少一层碳基材料中的至少一个构图;以及在构图后的碳基材料上形成石墨烯。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:E·阿尔普泰金,V·Y·萨德塞,R·A·维加,
申请(专利权)人:国际商业机器公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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