【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种工件台接片手装置，其特征在于，包括安装基座、支撑组件、驱动组件、测量单元、气控单元以及辅助支撑组件，其中，所述支撑组件安装于所述安装基座上，用于承载并吸附工件；所述驱动组件安装在所述安装基座上，驱动所述支撑组件垂向运动；所述测量单元固定于所述安装基座与所述支撑组件之间，测量所述支撑组件垂向运动的位移；所述气控单元固定于所述安装基座上为所述工件提供辅助支撑以及掉电保护；所述辅助支撑组件固定于所述安装基座上，并与所述支撑组件连接，二者同步运动为所述工件提供支撑。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戴乐薇，贾海立，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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